Способ изготовления кварцевых резонаторов

Авторы патента:

ВАСИЛЬЕВ АЛЕКСАНДР МИХАЙЛОВИЧ

ЛЕБЕДЕВ ИГОРЬ АНАТОЛЬЕВИЧ

ПУГИН ВАЛЕНТИН ФЕДОРОВИЧ

ДОРОГАНЬ ИВАН ПРОХОРОВИЧ

ЛИТВИНОВ ВАЛЕНТИН ПЕТРОВИЧ

ВОРОНЦОВ ПАВЕЛ ИВАНОВИЧ

ФАЙЛЕР ЯКОВ ЕФИМОВИЧ

H03H3/02 - для изготовления пьезоэлектрических и электрострикционных резонаторов или цепей (схем) (H03H 3/08 имеет преимущество)

Изобретение относится к электронной технике, в частности к производству кварцевых резонаторов. Целью изобретения является повышение производительности за счет уменьшения объемов функциональной подгонки путем снижения дисперсии температурно-частотных характеристик резонаторов. Цель достигается тем, что изготовление держателей осуществляют методом двухсторонней фотолитографии с последующим травлением незащищенных участков материала держателя, причем нанесение фоторезиста, его экспонирование и проявление проводят до закрепления материала держателей на подложке, а травление незащищенных участков материала держателя - после закрепления.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

1674347 А1 (я)5 Н 03 Н 3/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОЫРЕтЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4480323/21 (22) 18.07.88 (46) 30.08.91. Бюл, ¹ 32 (71) Ярославское научно-производственное объединение "Электронприбор" и Научноисследовательский институт "Фонон" (72) А.М,Васильев, И,А.Лебедев, В.Ф.Пугин, И.П.Дорогань, В.П.Литвинов, П.И.Воронцов и Я.Е.Файлер (53) 621.372.412(088.8) (56) Глюкман Л. И. Пьезоэлектрические кварцевые резонаторы, Л.: Энергия, 1969, с. 198.

Заявка Японии № 59-23485, кл. Н 03 Н

9/05, 1984. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КВАРЦЕВЫХ

РЕЗОНАТОРОВ

Изобретение относится к электронной технике, в частности к производству кварцевых резонаторов.

Целью изобретения является повышение выхода годных за счет снижения дисперсии температурно-частотных характеристик резонаторов..

Способ осуществляют следующим образом.

Изготавливают диэлектрическую подложку с гнездами для пьезоэлементов и держатели. Закрепляют держатели пьезоэлементов на подложке путем двустороннего нанесения фотореэиста на заготовку держателей, двустороннего экспонирования и проявления фоторезиста, травления заготовки и удаления фоторезиста и устанавливают пьезоэлементы на держатели.

Пример. На пластину из никелевой фольги (HT-2 вЂ” Т вЂ” Н-0,05) толщиной 0,05 мм по защитной маске из фоторезиста Ф25, полученной методом двусторонней фотоли(57) Изобретение относится к электронной технике, в частности к производству кварцевых резонаторов. Целью изобретения является повышение производительности за счет уменьшения объемов функциональной подгонки путем снижения дисперсии температурно-частотных характеристик резонаторов.

Цель достигается тем, что изготовление держателей осуществляют методом двусторонней фотолитографии с последующим травлением незащищенных участков материала держателя, причем нанесение фоторезиста, его экспонирование и проявление проводят до закрепления материала держателей на подложке, а травление незащищенных участков материала держателя вЂ” после закрепления. тографии, электрохимическим наращиванием наносили слой золота толщиной 8 вЂ” 10 мкм на места. будущих держателей на обе стороны пластины. Керамическую подложку со сформированными гнездами под пьезоэлементы методом сверления (или пробивки) О" совмещали с пластиной из никелевой фольги с помощью базовых штифтов на основа- Дь нии и соединяли с помощью клея. После (д) склеивания основание удаляли и произво- ф, дили сквозное травление незащищенных участков фольги в водном растворе перекиси водорода, содержащем соляную кислоту, На изготовленные держатели с помощью токопроводящего клея монтировали пьезо- д, элементы, Формула изобретения

Способ изготовления кварцевых резонаторов, включающий изготовление диэлектрической подложки с гнездами для пьезоэлементов, изготовление держателей для пьезоэлементов из металлической

1674347

Составитель В. Иовдальский

Техред M.Mîðãeíòàë Корректор M. Максимишенец

Редактор А. Лежнина

Заказ 2934 Тираж 434 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101 заготовки, закрепление держателей пьезоэлементов на подложке и установку пьезоэ-, лементов на держатели, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения выхода годных за счет снижения дисперсии тем- 5 пературно-частотных хара ктеристик резонаторов, для изготовления и закрепления держателей пьезоэлементов на подложке осуществляют двустороннее нанесение фоторезиста на заготовку держателей, двустороннее экспонирование и проявление фоторезиста, закрепление заготовки на подложке, травление заготовки и удаленИе фоторезиста,

Способ изготовления кварцевых резонаторов

Изобретение относится к радиоэлектронике

Кварцевый резонатор // 1560023

Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано при разработке пьезоэлектрических резонаторов

Способ изготовления кварцевых кристаллических элементов // 1552979

Изобретение относится к пьезотехнике и может использоваться для обработки различных кристаллических элементов

Кварцевый резонатор // 1524774

Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано в кварцевых генераторах для стабилизации частоты

Устройство для контроля качества электроакустических преобразователей // 1441462

Изобретение относится к ультразвуковой технике и может быть использовано при изготовлении, настройке и исследовании электроакустических преобразователей (ЭП), например для ультразвуковой микррсварки интегральных микросхем и микроэлектронных , преобразователей информации колебаниями широкого спектра частот

Пьезоэлемент с колебаниями сдвига по контуру // 1382368

Изобретение относится к области пьезотехники и может быть использовано в качестве пьезоэлектрической среды при создании резонаторов или фильтров

Способ определения знака направления кристаллографических осей в кварцевых пьезоэлементах двухповоротного y-среза // 1355080

Изобретение относится к радиоэлектронике

Модулятор дельта-сигма // 1336958

Способ контроля степени заполяризованности пьезокерамических элементов // 1138923

Способ изготовления дисковых кристаллических элементов // 1074367

Изобретение относится к радиоэлектронике и может использоваться при изготовлении кристаллических элементов для пьезоэлектрических устройств, т

Способ изготовления кварцевых кристаллических элементов ат- среза // 2117382

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для изготовления тонких кристаллических элементов (КЭ) высокочастотных пьезоэлектрических приборов, например, кварцевых резонаторов и монолитных фильтров

Способ изготовления кристаллических элементов // 2150172

Изобретение относится к пьезотехнике и может быть использовано на предварительных этапах обработки кварцевых пластин при изготовлении высокочастотных кварцевых резонаторов и монолитных фильтров

Способ изготовления пьезоэлектрических резонаторов и фильтров // 2154894

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в производстве монолитных пьезоэлектрических фильтров и резонаторов

Способ изготовления кристаллических элементов с линзообразными профилями и устройство для его осуществления // 2169985

Изобретение относится к пьезотехнике и может быть использовано для изготовления кристаллических элементов с выпуклым профилем, близким к линзообразному, для резонаторов и монолитных фильтров

Способ изготовления кварцевых резонаторов бт-среза // 2169986

Изобретение относится к пьезоэлектронике и может быть использовано для изготовления высокочастотных резонаторов и монолитных фильтров

Способ изготовления высокочастотного кварцевого резонатора с улучшенной линейностью // 2174736

Изобретение относится к области пьезотехники и может быть использовано при изготовлении высокочастотных кварцевых резонаторов и монолитных кварцевых фильтров

Способ изготовления микрорезонаторов крутильных колебаний // 2193274

Изобретение относится к электротехнике, к технологии изготовления пьезоэлектрических резонаторов и может быть использовано при изготовлении микрорезонаторов крутильных колебаний, применяющихся в различных радиоэлектронных устройствах и бытовой электронике

Способ изготовления фильтровых кварцевых резонаторов с улучшенной моночастотностью // 2197058

Изобретение относится к пьезотехнике и может быть использовано для изготовления высокочастотных кварцевых резонаторов

Способ изготовления кристаллических элементов и устройство для его осуществления // 2296417

Изобретение относится к области электротехники, в частности к пьезотехнике, и может быть использовано для изготовления кристаллических элементов (КЭ) высокочастотных резонаторов, включая и прецизионные

Способ изготовления кварцевых кристаллических элементов для пьезоустройств с пьезовибраторами срезов yx1/+45° и yx1/-45° // 2397605

Изобретение относится к области радиотехники, в частности к пьезотехнике, и может быть использовано при разработке кварцевых резонаторов, используемых в высокостабильных кварцевых генераторах, применяемых в связной аппаратуре и навигационной аппаратуре