Способ изготовления интегральных микролинз

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5!)5 С 03 С 21/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4758286/33 (22) 14.11.89 (46) 30,11,91. Бюл. N 44 (71) Кубанский государственный университет (72) И.И.Горина, В.А.Никитин и Н.А.Яковенко (53) 666.1.053.65(088.8) (56) Брегеда И.Д. и др. Матрица градиентных микролинз, изготовленная методом электростимулированной диффузии. — Автометрия, 1985, N 6, с.31 — 33, (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОЛИНЗ (57) Изобретение относится к интегральной оптике и может быть использовано при изИзобретение относится к интегральной оптике, а именно к способам обработки стекла, и может быть использовано при изготовлении как единичных микролинз, так и матриц интегральных микролинз, предназначенных для устройств оптической обработки информации и волоконно-оптических систем связи.

Целью изобретения является улучшение сферичности и воспроизводимости микролинз.

Способ осуществляют следующим образом, На одной иэ поверхностей стеклянной подложки на местах будущих микролинз формируют алюминиевые диски диаметром, составляющим 0,1 — 0,2 диаметра изготавливаемых микролинз, а на противоположную сторону стеклянной подложки наносят сплошной слой алюминия, выполняющий в дальнейшем роль катода, В поверхность

„„5U„„ l 694502 А1 готовлении матриц и единичных интегральных микролинэ, предназначенных для устройств обработки и передачи оптической информации. С целью улучшения сферичности и воспроизводимости микролинз в способе изготовления интегральных микролинэ на поверхности стеклянной подложки формуют алюминиевые диски диаметром 0,1—

0,2 диаметра изготавливаемых микролинз, Затем осуществляют электростимулированную диффузию ионов рубидия в междисковые зоны подложки, удаление алюминиевых дисков и диффузию серебра в полученные матрицы на стеклянной подложке. Полученные микролинзы имеют высокую степень сферичности, без искривлений и других нарушений поверхности, подложки осуществляют электростимулиро- ванную диффузию ионов рубидия иэ расплава нитрата рубидия, анод при этом а погружен непосредственно в расплав. 3атем алюминиевые диски удаляют и в стеклянную подложку внедряют ионы серебра из расплава нитрата серебра поддействием внешнего стимулирующего поля. В резуль- (Л тате в стекле формируются микролинзы, C) имеющие хорошую сферичность, а в проме- (1Э .жутках между ними отсутствуют неконтролируемые зоны с повышенным показателем преломления. Для изготовления микролинз может быть использовано любое натрий-си- ъ ликатное стекло с содержанием Ка20 не ниже 7 ь,.

Ниже приведен конкретный пример осуществления способа.

Пример. На подложке стекла от фотопластин размером 30х30х1,25 мм при помощи термического вакуумного напыле1694502

Составитель T.Hèêóëüíèêoâà

Техред M.Moðãåíòàë Корректор М.Максимишинец

Редактор А.Маковская

Заказ 4123 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101 ния и фотолитографии создают алюминиевые диски диаметром 20 мкм и толщиной 1,5 мкм. На противоположную поверхность стеклянной подложки наносят сплошной слой алюминия толщиной 1,5 мкм, выполняющий в дальнейшем роль катода, Стеклянную подложку поверхностью с алюминиевыми дисками приводят в соприкосновение с расплавом нитрата рубидия, в который погружен платиновый электрод, выполняющий роль анода. К аноду и катоду прикладывают постоянное напряжение величиной 20 В, под действием которого в поверхность подложки осуществляется внедрение ионов рубидия при температуре 380 5 С в течение 3 мин. По окончании, диффузии алюминиевые диски удаляют пу тем травления в растовре КОН. По окончании травления подложку приводят в соприкосновение с расплавом нитрата серебра. Формирование микролинз осуществляют злектростимулированной диффузией ионов серебра из расплава нитрата серебра при температуре 260 5 С в течение 90 мин, при внешнем стимулирующем напряжении 50 В. В результате диффузии ионов серебра, на стеклянной подложке формируются мат,рицы микролинз, представляющие собой

,полусферу диаметром 160 мкм. Полученные микролинзы имеют высокую степень сфе( ричности, без искривлений и других нарушений поверхности, что обусловлено отсутствием неконтролируемых зон диффузии ионов серебра.

Для того, чтобы формируемые микролинзы имели сферическую форму, необходимо, чтобы диаметр алюминиевого диска равнялся 0,1 — 0,2 диаметра формируемой

5 микролинзы, Применение предлагаемого способа по сравнению с существующими обеспечивает: отсутствие искажений формы и улучше10 ние сферичности изготавливаемых микролинэ; отсутствие дефектных областей в промежутках между линзами; увеличение выхода годных иэделий за

15 счет повышения воспроизводимости микролинз, Формула изобретения

Способ изготовления интегральных микролинз путем нанесения на одну сторо20 ну стеклянной подложки сплошного алюминиевого покрытия, а на другую маскирующего слоя из алюминия с последующей электростимулированной диффузией в нее ионов серебра из расплава азотно25 кислого серебра, отличающийся тем, что, с целью улучшения сферичности и воспроизводимости микролинз, маскирующий слой выполняют из алюминиевых дисков диаметром, равным 0,1-0,2 диаметра микро30 линз, затем из расплава нитрата рубидия осуществляют электростимулированную диффузию ионов рубидия в свободные зоны стеклянной подложки, после чего удаляют алюминиевые диски и осуществляют диффу35 эию серебра.