Сканирующий туннельный микроскоп

Авторы патента:

H01J37/26 - электронные или ионные микроскопы, трубки с дифракцией электронов или ионов

Изобретение относится к электронной микроскопии и может быть использовано при исследованиях свойств и поверхности при низких температурах. Целью изобретения является расширение функциональных возможностей микроскопа за счет проведения измерений в среде жидкого гелия путем повышения собственной частоты механических колебаний. Микроскоп содержит вертикально ориентированный полый цилиндрический корпус, в котором коаксиально расположены и жестко соединены по нижним смежным торцам внешний и внутренний трубчатые пьезоэлемечты (И), Измерительная игла закреплена на верхнем торце внутреннего П. Верхний торец внешнего ГТ жестко зафиксирован относительно корпуса, а нижняя часть соединенных П установлена ь корпусе с возможностью вертикального упруго регулируемого скольжения по сг внутренней поверхности. При этом лераатель образца выполнен в я где ьстко закрепленного по .RM подпружиненного упругого диска, J ил„ S

Изобретение относится к области электроннолучевой техники и может быть использовано в растровой электронной микроскопии

Устройство для исследования полупроводниковых пластин в электронном микроскопе // 1619356

Изобретение относится к электронной микроскопии и может быть использовано для локального количественного контроля и анализа параметров сверхбольших интегральных схем при их изгртовлении„ Цель изобретения - упрощение конструкции и повышение надежности о Устройство содержит зондовую карту 5, в которой установлено кольцо 6 с зондирующими иглами 7„ Подъемник выполнен в виде кольцевого элемента 9 с гофрированными стенками, наполненного жидкостью или газом, соединенного с терморегулирующим элементом 10„Элемент 9 может быть выполнен в виде полого кольца из материала, обладающего термомеханической памятью, стенки которого имеют по крайней мере один гофр

Устройство для зондирования микросхем в растровом электронном микроскопе // 1615822

Изобретение относится к устройствам для исследования микроструктуры и топографии твердых тел

Устройство для контроля поверхностных микропотенциалов // 1582226

Изобретение относится к области микрозондовой техники и может быть использовано в электронной микроскопии

Способ локального катодолюминесцентного анализа твердых тел и устройство для его осуществления // 1569910

Изобретение относится к области электронной микроскопии и может быть использовано для микроанализа поверхности твердых тел методом катодолюминесценции

Сканирующий туннельный микроскоп // 1564702

Изобретение относится к электронным приборам, предназначенным для исследования физических свойств поверхностей твердых тел с разрешающей способностью порядка размеров атома

Перемагничивающее устройство для термомагнитных исследований в просвечивающем электронном микроскопе // 1531182

Изобретение относится к электронной микроскопии и может быть использовано для исследования доменной структуры и измерения статических магнитных характеристик тонких магнитных пленок

Растровый туннельный микроскоп // 1471232

Изобретение относится к технике измерений и может использоваться для контроля структуры поверхностей

Счетчик аэроионов // 1469433

Изобретение относится к приборам для измерения концентрации легких ионов в воздухе производственных или общественных помещений и может быть применено в медицине, а также в различных отраслях народного хозяйства

Сканирующий туннельный микроскоп // 1453475

Изобретение относится к электронным приборам для исследования физических свойств поверхностей твердых тел

Зондирующий эмиттер для сканирующего туннельного микроскопа // 2117359

Способ и устройство для анализа состава дна углублений // 2123178

Сверхвысоковакуумная транспортная система для сканирующих зондовых микроскопов // 2158454

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим транспортировку и установку зондов и образцов в позиции измерения и функционального воздействия

Способ и устройство контроля и исследования поверхности внутри ядерных и термоядерных установок // 2169954

Изобретение относится к ядерной технике, в частности к исследованию материалов, подвергающихся воздействию радиации

Способ получения панорамного изображения в растровом электронном микроскопе // 2181515

Изобретение относится к способам получения изображений в растровой электронной микроскопии

Устройство управления скоростью сканирования туннельного микроскопа // 2269803

Изобретение относится к сканирующей туннельной спектроскопии и может быть использовано в зондовых микроскопах и приборах на их основе

Наконечник держателя и сетка для электронной томографии // 2300822

Изобретение относится к области научного приборостроения и может быть использовано при выпуске просвечивающих электронных микроскопов

Нанотехнологический комплекс // 2308782

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию и предназначено для замкнутого цикла производства новых изделий наноэлектроники

Электронный микроскоп // 2313850

Изобретение относится к микробиологии и может применяться при профилактике инфекционных болезней

Сверхвысоковакуумная транспортная система // 2380785

Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для проведения операций по перемещению объектов внутри вакуумных систем