Патент ссср 173607

 

ОЛИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 01.1V.1964 (¹ 892122/26-10) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 21 VI1.1965. Бюллетень № 15

Дата опубликования описания 21.1Х.1965

Кл. 57с1, 5oz,ЧПК G 03f

УДК 778.111.(088 8) Государственный комитет по делам изобретений и открытий СССРАвторы изобретения

В. П, Неробков, Г. М. Белевич, Г. А. Шапкин, И. И. Ефименко и А. Р. Улицкий

Центральный научно-исследовательский институт техноло и организации производства

Заявитель

КОПИРОВАЛЬНАЯ ФОТОУСТАНОВКА

ДЛЯ КОНТАКТНОЙ ПЕЧАТИ КОПИЙ! J

Под гисная гру(та ¹ 285

Известны копировальные фотоустановки для контактной печати копий с разных негативов на одну общую подложку с оптическим совмещением по одной точке или с совмещением по механическим меткам при изготовлении совмещенных негативов или печатных схем.

Предложенная фотоустановка позволяет повысить производительность труда и улучшить качество продукции, причем все узлы для выполнения отдельных операций размещены в одном корпусе и связаны одним общим узлом управления. В корпусе описываемого устройства размещены узел установки негативов, выполненный в виде нескольких поворотных координатных столов, положение которых фиксируется в зоне узла совмещения и в зоне экспонирования, манипулятор, установленный на горизонтальной плите, перемещающейся в призматических направляющих в зону предварительной установки подложки, и снабженный перемещающимся в любом направлении координатно-поворотным столом, соединенным посредством шаровой опоры с магнитным столом, предназначенным для закрепления вспомогательного стола-спутника, узел предварительной установки, узел точного совмещения рельефа негатива и подложки и осветительный блок для экспонирования.

Узел точного совмещения снабжен двухканальной оптической системой, в поле зрения окуляра которой одновременно видны два различных участка совмещаемой поверхности и совмещение производится по двум удаленным точкам.

На чертеже дана схема описываемой фотоустановки.

Узел точного совмещения представляет собой оптическую систему, состоящую пз двух ооьективов 1, удаленных друг от друга на

25 — 30 и.1г, двух осветителей 2 отраженного света. двух преломляющих призм 8, складывающей призмы 4, окуляра б с разделенным полем зрения.

Узел установки негативов состоит из координатных столов б с негативами 7, закрепленными на поворотном диске 8, который через фрикциоиную муфту 9 и редуктор 10 приводится во вращение электродвигателем 11.

Фиксация положения столов б после поворота на 180 осуществляется клиновым фиксатором 12, ролик 18 которого обкатывается по кулачковому диску 14, сидящему на валу редуктора 15.

Вспомогательный стол-спутник 1б, предназначенный для грубой ориентации полупроводниковой пластины по рискам, для закрепления пластины при совмещении и прижима пластины к негативу после совмещения при

30 экспонировании, состоит пз стального основа173607 ния с рисками, имеющего канал вакуумного присоса пластины.

Манипулятор, предназначенный для перемещения вспомогательного стола-спутника относительно негатива, состоит из координатно-поворотного стола 17 с призматическими шариковыми направляющими и дифференциальными винтами 18, вертикально перемещающегося в призматических шариковых направляющих ползуна 19 (перемещение ползуна осуществляется с помощью винта 20), шаровой опоры 21 с зажимом 22 и электромагнитного стола 28 для закрепления стола-спутника (б при совмещении. Манипулятор установлен на горизонтально перемещающейся в призматических шариковых направляющих плите24, которая фиксируется конусными фиксаторами 25 с помощью ручки 26 в двух крайних положениях.

Осв=тительпый блок для экспонирования состоит из ультрафиолетовой лампы 27 с отражателем 28, вентилятора 29, конденсора 80, затвора I и зеркала 82.

Все узлы и механизмы размещены в I;opnyсе 88 и связаны между собой общей системой управления (на чертеже не показано).

На стол-спутник 16, установленный на магнитном столе 23:манипулятора и находящийся под лупой 3 и зеркалом 85 узла предварительного совмещения, помещают полупро- зс водниковую пластинку, покрытую светочувствительным слоем, и производят грубое совмещение пс рискам на спутнике и на пластине (получение первого рельефа на пластине производится без совмещения) . 35

С помощью ручки 26 передвигают манипулятор под негатив, в начале движения манипулятора автоматически включается вакуумный присос и пластинка закрепляется на сто- 4о ле-спутнике 16. В конце движения манипулятор фиксируется под негативом 7 поворотом ручки 26. Посредством вращения винта 20 ползун 19 со столом 28, столом-спутником 16 и установленной на нем пластинкой переме- 45 щается вверх <о полного контакта поверхностей пластины и негатива. Шаровая опора 21 обеспечивает параллельность поверхностей пластины и негатива, что фиксируется ручкой зажима 22. С помощью координатных дифференциальных винтов 18 и винта поворота 36 при наблюдении в оптическую систему узла точного совмещения перемещают пластину до точного совмещения установочных отметок на ней и негативе. Включают вакуумный присос для прижима стола-спутника 16 к негативу 7, при этом автоматически отключается магнит стола 28. Вращением винта 20 опускают магнитный стол с ползуном вниз до упора.

Нажатием кнопки включают электродвигатель 11 на поворот диска 8 узла негативов на экспонирование. При этом негатив 7 с совмещенной пластиной и столом-спутником 16 перемещается в зону экспонирования, а второй негатив поступает на манипулятор. При достижении конечного положения автоматически открывается затвор 31 узла экспонирования и включается магнитный стол манипулятора.

Величина экспозиции определяется реле времени. По окончании экспонирования затвор автс матически закрывается и загорается световое табло, разрешающее следующий поворот узла установки негативов.

Негатив со столом-спутником 16 и проэкспонированной пластиной после поворота останавливается над манипулятором. Вращением винта 20 сгсл 23 подии мают до соприкосновения со столом-спутником 16, отключают вакуумный присос и вновь опускают стол 23 со столом-спутником вниз до упора. Ручкой 26 перемещают манипулятор под лупу 34 узла предварительного совмещения. При этом вакуумный присос автоматически отключается.

Пластина снимается и передается на следующую операцию. Затем все операции повторяются.

Предм ет изобретен н я

1. Копировальная фотоустановка для контактной печати копий с разных негативов на одну оощую подложку при массовом изготовлении совмещенных негативов или печатных схем, or.ø÷àþùàÿñÿ тем, что, с целью повышения производительности труда и улучшения качества продукции, в одном корпусе размещены узел установки негативов, выполненный в виде нескольких поворотных координатных столов, положение которых фиксируется в зоне узла совмещения и в зоне экспонирования, манипулятор, установленный на горизонтальной плите, перемещающейся в призматических направляющих в зону предварительной установки подложки, и снабженный перемещающимся в любом направлении координатно-поворотным столом, соединенным посредством шаровой опоры с магнитным столом, предназначенным для закрепления вспомогательного стола-спутника, узел предварительной установки, узел точного совмещения рельефа негатива и подложки и осветительный блок для экспонирования, причем все узлы фотоустановки связаны с одним общим узлом управления.

2. Фстсустановка IIo п. 1, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности совмещения рельефа негатива и подло.кки и!ри минимальных затратах зремени по двум удаленным друг от друга точкам, узел точного совмещения снабжен двухканальной сптической системой, в поле зрения окуляра которой одновременно видны два различных участка ссвмещаемой поверхности.