Способ изготовления фотошаблона

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

K АВТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

177426

Оокта Советских

Социалистических

Республик г;Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 22.Х.1964 (М 926829 26-25) Кл. 15Ь, 4о, с присоединением заявки №

МПК В 41с

УДК 681.617: 621.3.032.

27.002.2 (088.8) Г1риоритет

Опубликовано 18.Х11,1965. Бюллетень ¹ 1

Дата опубликования описания 5.11.1966

Комитет пс делам каобретеиий M сткрытий при Совета Министров

СССР

Авторы изобретения

Е. И. Горгораки, Е, А. Ефимов, 3. В. Ильина и T. И. Пономарева

Заявитель

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОШАБЛОНА

Известен фотомеханический способ изготовления трафаретов на прозрачных основах путем металлизации поверхности подложки слоем хрома, копирования изображения, проявления его в соответствующих условиях и травления.

Предлагаемый способ состоит в том, что металлизацию стеклянной подлохкки производят слоем карбида хрома, получаемым методом термического разложения бис-этилбензохрома при разрехкении 10 — 1 лл рт. ст. прн температуре обрабатываемой подло«яки 500—

550 С.

Подложку помеща.от в пары кипящего «роморганического соединения прн разрежении

10 > лглг рт. ст. на 40 — 60 сек в зависимости от требуемой толщины наращиваемого покрытия. Это обеспечивает длительное использование фотошаблона.

5 Предмет изобретения

Способ изготовления фотошаблона на прозрачны«основах с металлизацией поверхности подложки и нанесением светочувствительного слоя с последующими стадиями формирования трафарета, от.гичающггйся тем, что, с целью улучшения механической и химической стойкости, металлизацию осуществляют слоем карбида крома, нагревая подложку до 500—

550=С и номешая ее в пары кипящего хроморганического соединения, например бис-этилбензо«рома прн разрежении 10 i лтлт рт. ст,