Токопроводящий материал для изготовления металлопленочных сопротивлений

 

ОПИСАН ИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 08.1.1964 (№ 875492!26-9) с iiplicoe.»,III»c.пнем заявки ¹ 3 1г(К Н 01С

I1ðèoðèTåò

Оп 3бликовано 18.Х11.1965. Бюллетень ¹ 1

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.316.86.002.2 (088.8) Дата опубликования описания 8.11.1966

Авторы изобретения

Б. А. Бочкарев и В. А. Бочкарева

3 11 я 13 и т е л ь

ТОКОПРОВОДЯЩИЙ МАТЕРИАЛ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

МЕТАЛЛОПЛЕНОЧНЬ1Х СОПРОТИВЛЕНИЙ

Известны rolsoïðoâoäÿlöèå материалы для изl отовления мсталлопленочных сопротивлений испарением в вакууме, состоящие из сплава никеля с кремнием. Однако они не позволяют изготовлять сопротивления, обладающие требуемой термостабильностью.

В предлагаемом токопроводящсм материале повышение тсрмостабильностн сопротивлений после их термообработки достип1уто благодар» тому, что в сплаве используют 20 — 30";;> никеля и 70 — 80", „кремния.

На чертеже изображен график зависимости температурного коэффициента электрического сопротивления (ТКС) никельсилициевых пленок, полученных испарением в вакууме.

Кривая 1 характеризует поведение сплава

СОдсржаНИЕМ 50 п НИ1 СЛЯ H 50,> КрЕМ11ня, кривая 2 — с содержанием 30,, никеля и

70ф) кремния, кривая 8 — с содержанием

20",,, никеля и 80"„кремния и кривая 4 — с содержанием IOiо никеля и 90",, „кремния.

Из приведенного графика видно, что известные никельсилициевые пленки с содержанием никеля в количестве меньшем 20,, > (кривая 4) не представляют практического интереса для создания прецизионных сопротивлений, так как при л1обой температуре термообработки их ТКС имеет неприсмлено большое отрицательное значение. Тогда как для пле1юк ннкель — си.»пцн3113 оольшом интервале сплавов с содержанием никеля от 20 до 50"„(крнвые

1, 2, у) подбором величины Tc» Iicp I Typi тсрмообработки можно получить нулевые значения ТКС. 11ри этом существенна разница в уходе приведенных кривых для области величин ТКС, близких к нулевому значеншо. Если

II.»CIII I«I Cll,;1»I3cl C CO»,C13жанисм llIIIiCCIsI 50",„

flмc1oT сильную зависимость ТКС от темпера10 rx рь1 термоо бра ботки (к1п1вая 1 ), To i »»». Icllol c соде13:кaIIIIC31 IIIII c»si oT 30",,, (кр1113ая 2) до 2C"„(кривая ."3) в области малых значений

ТКС эта зависимость весьма слабая.

15 Пленки, выполненные нз последних двух

cll 1313013, д»si достн "кс1!11я. нулевого ТКС нс т))ебу1от трудноосущсcTIÇIIM010 на н13акт11кс весьма точного поддерж III»si »elia ieIIIIOII температуры термообработки, как это нсобходи20 мо для пленок нз сплава другого состава (кривая 1).

Плавный подход к нулевой гелнчннс ТКC

11нкель-cll.»IILLèål3oé пленки можно ооеспсчить, 25 если взЯть д1Я ее термообработкн несколько меньшую температуру, чем это необходимо по кривой 8, а точную подгонку ТКС к нуле»3ому значению осуществлять за счет увеличения

;1литсльности термообработки плепкll нр11 взяЗО той температуре.

177506

IT P е 1 м е 1 и 3 О 0 Р е т е II 11 и

ТКС- 10 Å тс!

300 500

700

800

Составитель Г. Фридолин

Текред Т. П. Курилко Корректоры: Л. Е. Марисич и Т. В. Муллина

Редак!ор В. Ф. Чулкова

Заказ 8/16 Тираж 1450 Формат бум. 60,"901, и Обьсм О,!6 изд. л. Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр, Серова, д. 4.

Типография, пр. Сапунова, д. 2.

Испо !!зов!1ине пленок сплавов никель —силицня с содержанием 20 — ЗО никеля позволяет изготавливать высокостабильные высокоомные неироволочные прецизионные сопротивления с толп!иной проводящего слоя примерно на порядок большей, чем у известных металлонленочнык сопротивлений и ооеспсчива1ет и: ; более высОку!О экснлуать1 пион ну!0 наде е IiocTh.

Токонроводящий материал для изготовления металлопленочнык сопротивлений испаре5 нием в вакууме, состоящий из сплава никеля с кремнием, от,ггг!а!ощийся тем, что, с целью повышения термостабильности сопротивлений

1юсле ик термообработки, в сплаве используют 20- — ЗС!"„никеля и 70 — 80",, кремния.