Устройство для юстировки предмета с неплоскостной, различным способом отражающей поверхностью

 

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано для юстировки положения предмета с неплоскостной, различным способом отражающей поверхностью, Цель изобретения - повышение точности юстировки и расширение функциональных возможностей путем юстировки углового положения предмета. Изображение от точечных диафрагм 3 и 13 проецируется объективами 6 и 7 на поверхности юстируемого предмета 17, установленного на трех пьезокерамических столбиках 18-20. Изображение точечных диафрагм вторично переносится объективами 6 и 7 на фотоприемники 9 и 10. При равенстве сигналов с фотоприемников 9 и 10 предмет 17 съюстирован по высоте. Для угловой юстировки предмета, в передней фокальной плоскости объектива 6 установлена круглая диафрагма 5, изображение которой создается на квадрантном фотоприемнике 15, установленном в задней фокальной плоскости объектива 7. 2 з.п флы, 3 ил. (Л С

СО ОЗ СОМТСКИХ

СОЦИЮИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК ((9) (< <) ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (89) CS 261260 (48) 26,09,88 (21) 7774720/10 (22) 30.03.88 (31) РV3809-87 (32) 26.05.87 (33) CS (46) 30.12,91. Бюл. М 48 (71) Тесла, концерновы подник, Прага (С$) (72) Камил Такс(С$) (53) 535.818 (088,8) (56) Патент ФРГ

М 1772276, кл, 42 h 23/26, f8.01.70 (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЮСТИРОВКИ

ПРЕДМЕТА С НЕПЛОСКОСТНОЙ, РА3 ЛИЧНЫМ СПОСОБОМ ОТРАЖАЮЩЕЙ ПОВЕРХНОСТЬЮ (57) Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано для юстировки положения предмета с неплоскостной, различным способом отра(sI)s G 01 М 11/00, G 01 В 11/25 жающей поверхностью, Цель изобретения— повышение точности юстировки и расширение функциональных возможностей путем юстировки углового положения предмета.

Иэображение от точечных диафрагм 3 и 13 проецируется объективами 6 и 7 на поверхности юстируемого предмета 17, установленного на трех пьезокерамических столбиках 18-20. Изображение точечных диафрагм вторично переносится объективами 6 и 7 на фотоприемники 9 и 10. При равенстве сигналов с фотоприемников 9 и

10 предмет 17 съюстирован по высоте. Для угловой юстировки предмета, в передней фокальной плоскости объектива 6 установлена круглая диафрагма 5, иэображение которой создается на квадрантном фотоприемнике 15, установленном в задней фокальной плоскости объектива Y. 2 з,п флы, 3 ил.

1702210

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано для юстировки положения предмета с неплоскостной, различным способом отражающей поверхностью.

Известно устройство для юстировки предмета.

Недостатки такого устройс ва — низкая тоиность и невозможность угловой астировки предмета, Целью изобретения является повышение точности юстировки и расширение функциональных возможностей путем юстировки углового положения предмета.

На фиг.1 показана функциональная схема устройства; на фиг.2 — взаимное расположение пьезокерамических столбиков, на фиг.3 — схема соединения фотоприемников, Устройство для юстировки содержит оптически связанные первый источник 1 излучения, первый конденсор 2, первую точечную диафрагму 3, первый светоделитель 4, круглую диафрагму 5, первый и второй проекционные объективы 6 и 7, второй светоделитель 8, первый фотоприемник 9, С первым светоделителем 4 оптически связан второй фотоприемник 10, с вторым светоделителем 8 оптически связаны второй излучатель 11, второй конденсор 12 и вторая точечная диафрагма 13. Между вторым проекционным объективом 7 и вторым светоделителем 8 через третий светоделитель 14 введен квадрантный фотоприемник 15, Четвертый светоделитель 16 установлен для компенсации хода лучей в устройстве. Юстируемый предмет 17 расположен на трех пьеэокерамических столбиках 18, !9 и 20, ; Зеркала 21 — 24 введены для уменьшения габаритов устройства.

Устройство работает следующим образом, Первый (фиг.1) источник 1 излучения через первый конденсор 2 освещает первую точечную диафрагму 3. Первый проекционный объектив 6 создает изображение первой точечной диафрагмы 3 на юстируемом предмете 17. Второй проекционный объектив 7 создает изображение диафрагмы 3 через второй светоделитель 8 на первом фотоприемнике 9. Аналогично излучение от второго источника 11 излучения через конденсор 12 освещает вторую точечную диафрагму 13, затем второй проекционный объектив 7 создает ее изображение на юстируемом предмете 17, а первый проекционный объектив 6 через первый светоделитель 4 на втором фотоприемнике

10.

Первый и второй фотоприемники 9 и 10 соединены между собой по дифференциаль5

4ц

55 ной схеме (фиг,3), Если сигналы с фотоприемнйков 9 и 10 различны; что соответствует неточной юстировке предмета 17, при помощи трех пьезокерамических столбиков 18, 19 и 20 (фиг,2) перемещают юстируемый предмет 17 до тех пор, пока сигналы с фотоприемников 9 и 10 не сравняются. Этот случай соответствует продольной юстировке предмета 17.

Для установки предмета 17 перпендикулярно линии, проходящей через биссектрису угла, образованного оптическими осями проекционных объективов 6 и 7, в передней фокальной плоскости первого проекционного объектива 6 установлена круглая диафрагма 5. Ее изображение после отражения излучения от предмета 17 фокусируется вторым проекционным обьективом 7 через третий светоделитель на квадрантный фотоприемник 15. Угловое отклонение предмета соответствует перемещению изображения диафрагмы 5 по фотоприемнику

15, Наклон предмета 17 также устраняют путем его перемещения при помощи пьезокерамических столбиков 18, 19 и 20 до тех пор, пока изображение круглой диафрагмы

5 не окажется в центре квадрантного фотоприемника 15, Поворот предмета 17 осуществляют относительно двух взаимно перпендикулярных осей 25 и 26, Формула изобретения

1, Устройство для юстировки предмета с неплоскостной, различным способом отражающей поверхностью, содержащее оптически связанные первый источник излучения, первый конденсор, первую точечную диафрагму, первый проекционный объектив, второй проекционный объектив, первый приемник излучения, а также блок перемещения предмета, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что; с целью повышения точности юстировки, в устройство дополнительно введены оптически связанные второй источник излучения, второй конденсор, вторая точечная диафрагма, а также второй фотоприемник, первый и второй светоделители, причем вторая точечная диафрагма оптически связана с вторым объективом через пер1 вый светоделитель, второй фотоприемник оптически связан с первым объективом через второй светоделитель, а блок перемещения предмета выполнен в виде трех пьеэокерамических столбиков.

2, Устройство по п.1, отл и ча юще ес я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей путем юстировки углового положения предмета, в него дополнительно введены круглая диафрагма, установленная в переднем фокусе первого объектива, третий светоделитель и квадран1702210

Составитель Л.Перебейносова

Редактор M.Áàíäóðà Техред M.Ìîðãåíòàë Корректор Т.Палий

Заказ 4536 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r, Ужгород, ул,Гагарина, 101 тный фотоприемник, установленный в задней фокальной плоскости втОрого объектива и оптически связанный с ним третьим светоделителем.

3. Устройство по п.2, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что между вторым светоделителем и круглой диафрагмой введен четвертый светоделитель.