Многожильный вакуумный электроввод

 

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для подвода электроэнергии внутрь вакуумных камер. Целью изобретения является повышение надежности при .одновременном расширении области применения за счет возможности использования коротких жестких токовводов, их герметизации и упрощения процесса сборки. Изобретение позволяет повысить надежность многожильного вакуумного электроввода и упростить его эксплуатацию. Кроме того, предусматривается возможность увеличения количества токовводов при сохранении габаритов устройства. 2 ил.

союз советских

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (и)ю Н 01 J 5/46

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4779387/21 (22) 08.01.90 (46) 07.02.92. Бюл. М 5 (71) Научно-исследовательский институт точной механики (72) В.П.Иванов (53) 621.3.032.531 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

hh 1140187, кл, Н 01 J 5/46, 1983. (54) МНОГОЖИЛЬНЫЙ ВАКУУМНЫЙ

ЭЛ ЕКТРОВВОД (57) Изобретение относится к вакуумной: технике и может быть использовано для

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для подвода электроэнергии внутрь вакуумных камер.

Целью изобретения является повышение надежности при одновременном рас.ширении области применения за счет возможности использования коротких жестких токовводов.

На фиг. 1 изображен многожильный вакуумный электроввод, разрез; на фиг. 2— разрез А-А на фиг. 1.

Многожильный вакуумный электроввод содержит корпус 1 с осевым отверстием в дне корпуса 1 и внутренней полостью, выполненной ступенчатой.

В первой ступени полости с большим диаметром выполнена резьба, а вторая ступень имеет диаметр, равный диаметру упругого уплотнительного элемента 2, при этом на образующих цилиндрической части второй ступени выполнены не менее двух диа,, Я2„, 1711256 А1 подвода электроэнергии внутрь вакуумных камер. Целью изобретения является повышение надежности при,одновременном расширении области применения за счет возможности использования коротких жестких токовводов, их герметизации и упрощения и роцесса сборки. Изобретение позволяет повысить надежность многожильного вакуумного электроввода и упростить его эксплуатацию. Кроме того, предусматривается возможность увеличения количества токовводов при сохранении габаритов устройства. 2 ил, l метрально противоположных радиусных выборок глубиной, не превышающей диаметр резьбы первой ступени. Расстояние от этих выборок до отверстия в дне корпуса не меньше суммарной толщины уплотнительного элемента 2 и цилиндрической части обжимной шайбы 3, прилегающей к дну корпуса 1. Поверхности обжимных шайб 3 и 4 ЬЭ со стороны упругого уплотнительного эле- Ql мента 2 выполнены.с кольцевой канавкой 0с (одной или несколькими) с профилем поперечного сечения в виде равнобедренного греугольникв с углом при вершине a= 100—

° еевеВ

1500. В уплотнительном элементе 2 и отверстиях обжимных шайб 3 и 4 равномерно расположены тововводы 5. Обжимные шайбы 3 и 4 снабжены выступами 6 и 7, повторяющими форму отверстия в дне корпуса 1.

Фиксирующая шайба 8 резьбового кольца 9 выполнена с отверстием, повторяющим форму выступа 7 обжимной шайбы 4, и выступами 10 на наружной поверхности, !

1711256

10

25

35

50

ro элемента. гювторяющими форму радиусных выборок в корпусе 1, Упругий уплотнительный элемент 2 установлен между обжимными шайбами 3 и 4, через которые проходят токовводы 5. Внутренний диаметр резьбового кольца 9 выбран не меньшим диаметра окружности, описанной вокруг выступа 7 обжимной шайбы 4, а диаметр кольцеообразной ступени кольца 9 выбран не превышающим диаметр уплотнительного элемента.

Корпус 1 имеет фланец 11 и прокладку

12, служащие для установки устройства на вакуумную камеру. Обжимная шайба 4 выполнена, например, из текстолита, а обжимная шайба 3, контактирующая с вакуумом,— из фторопласта, Многожильный вакуумный электроввод работает следующим образом, Между двумя обжимными шайбами 3 и

4 помещают упругий уплотнительный элемент 2 и пропускают через отверстия в них токовводы 5, после чего вставляют их в корпус 1 выступом 6 обжимной шайбы 3 в отверстие в дне корпуса 1. На выступ 7 другой обжимной шайбы 4 надевается фиксирующая шайба 8, выступы 10 которой вводятся в радиусные выборки корпуса 1. После этого все элементы, размещенные во внутренней полости корпуса, поднимаются резьбовым кольцом 9. При сближении обжимных шайб

3 и 4 за счет затягивания резьбового кольца

9 происходит сжатие упругого уплотнительного элемента 2 и герметизация токовводов

5, после чего устройство крепится фланцем

11 на стенке вакуумной камеры, и на электровводы подается напряжение, Многожильный вакуумный злектроввод позволяет повысить надежность вследствие устранения возможности изгиба и скру ивания токовводов и, как следствие; устраняет возможность их замыканий на корпус или обрыв, так как устраняется возможность проворота токовводов при стягивании.

Одновременно расширяется область применения устройства, так как появляется возможность герметизировать короткие жесткие токовводы из-за упрощения сборки, в процессе которой отпадает необходимость в использовании специального инструмента и, как следствие, необходимость в достаточно большой рабочей зоне для работы с этим инструментом. Повышаются надежность многожильного вакуумного электроввода и удобство его эксплуатации. Кроме того, появляется возможность увеличить количество токовводов при сохранении габаритов устройства.

Формула изобретения

Многожильный вакуумный электроввод, содержащий цилиндрический корпус с осевым отверстием в дне корпуса, стяжной элемент, упругий уплотнительный элемент, установленный. между двумя обжимными шайбами, на поверхности каждой из которых со стороны упругого уплотнительного элемента выполнена канавка с профилем поперечного сечения в виде равнобедренного треугольника с углом при вершине, равным 100-1500, и проходящие через обжимные шайбы токовводы, о т л и ч аю шийся тем, что, с целью повышения надежности при одновременном расширении области применения за счет возможнбсти использования коротких жестких токовводов, внутренняя полость корпуса выполнена ступенчатой с резьбой в первой ступени большего диаметра и диаметром второй ступени, равным диаметру уплотнительного элемента, при этом на образующих внутренней цилиндрической части второй ступени выполнены не менее двух диаметрально противоположных радиусных выборок глубиной, не превышающей внутреннего диаметра резьбы первой ступени, а расстояние от этих выборок до отверстия в дне корпуса выбрано не меньшим суммарной толщины уплотнительного элемента и цилиндрической части обжимной шайбы, прилегающей к дну корпуса, при этом каждая обжимная шайба со стороны, противоположной уплотнительному элементу, снабжена выступом, повторяющим форму отверстия в дне корпуса, в котором размещены токоввады, а стяжной элемент выполнен в виде резьбового кольца с фиксирующей шайбой, форма отверстия которой выбрана повторяющей форму выступа обжимной шайбы, и снабженной боковыми выступами, повторяющими форму радиусных выборок sкорпусе,,при этом внутренний диаметр резьбового кольца выбран не меньшим диаметра окружности, описанной вокруг выступа обжимной шайбы, а наружная боковая поверхность резьбового кольца со стороны уплотнительного элемента выполнена с кольцаобразной ступенью, диаметр боковой поверхности которой выбран не превышающим диаметр уплотнительно1711256

Составитель ВЯсаломщиков

Техред М;Моргентал Корректор О. Кундрик

Редактор И,Шулла

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 345 Тираж Подписное

8НИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5