Электростатический энергоанализатор

 

Изобретение относится к спектроскопии пучков заряженных частиц и может быть .использовано для создания электростатических энергоанализаторов с высокой светосилой , обладающих высокими 22 разрешающей способностью, чувствительностью и хорошей эффективностью работы в сверхвысоковакуумных электронных спектрометрах . Целью изобретения является повышение чувствительности, разрешающей способности и улучшение эффективности работы. Устройство содержит фланец 1, на котором установлены внутренний 4 и наружный 8 цилиндрические электроды. Электроны вылетают из точечного источника 2 и через приемную диафрагму 6 попадают в приемник 7. Торцовая пластина 10 и диафрагма 6 с приемником 7 выполнены подвижными и могут двигаться вдоль оси устройства. Передвигая торцовую пластину и диафрагму, можно подобрать нужный режим работы устройства. 1 ил. Ё ю со N3

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (st)s Н 01 J 49/48

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ.ЬЭ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (611 680534 (21) 4758323/21 (22) 09.11.89 (46) 07.02. 92. Бюл. М 5 (75) А.M.Èëüèí (53) 621.384 (088.&) (56) Зашквара В.В. и др. ЖТФ-1966; т.36, гЬ 1, с. 132.

Авторское свидетельство СССР

М 680534, кл. Н 01 5 49/44. 1979. (54) ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ ЭНЕРГО-

АНАЛИЗАТОР (57) Изобретение относится к спектроскопии пучков заряженных частиц и может быть использовано для создания электростатических энергоанализаторов с высокой светосилой, обладающих высокими-: (ЫЛ 1711263 А2 разрешающей способностью, чувствительностью и хорошей эффективностью работы в сверхвысоковакуумных электронных спектрометрах. Целью изобретения является повышение чувствительности, разрешающей способности и улучшение эффективности работы. Устройство содержит фланец 1, на котором установлены внутренний 4 и наружный 8 цилиндрические электроды. Электроны вылетают из точечного источника 2 и через приемную диафрагму 6 попадают в приемник 7. Торцовая пластина 10 и диафрагма 6 с и риемником 7 выполнены подвижйыми и могут двигаться вдоль оси устройства. Передвигая торцовую пластину и диафрагму, можно подобрать нужный режим работы устройства. 1 ил.

1711263

10

30 ми на пучок заряженных частиц, средняя 35

Изобретение относится к спектроскопии пучков заряженных частиц, может бысть использованодля создания электростатических энергоанализаторов с высокой разрешающей способностью, высокой чувствительностью, обладающих возможностью плавного изменения фокусного расстояния и разрешающей способности, и является усовершенствованием изобретения по авт.св. М 680534.

Известен электростатический энергоанализатор пучков заряженных частиц типа цилиндрического зеркала, Этот анализатор состоит из двух саосных цилиндрических электродов, Внутренний электрод имеет два окна, одно из которых предназначено для ограничения угловых размеров пучка и ввода его в анализирующее поле между электродами, а другое — для возвращения пучка из анализирующего поля в область.внутреннего электрода, где располагается приемник с приемной диафрагмой. При этом размеры обоих окон одинаковы. Внутренний цилиндрический электрод обычно заземляется, а к наружному прикладывается меняющийся потенциал того же знака, что и заряд анализируемых частиц, Точечный источник и его изображение находятся на оси симметрии и фокусное расстояние равно 6,13г1, где г1 — радиус внутреннего электрода. Процесс анализа частиц по кинетическим энергиям основан на фокусирующем и диспергирующем действии электростатического поля между электродатраектория которого наклонена на входе в поле под углом ао к оси симметрии . Разрешающую способность анализатора можно характеризовать отношением дисперсии к величине аберрационного размытия изображения. Чем больше это отношение, тем выше разрешающая способность анализатора. Для создания цилиндрического поля в области прохождения траекторий заряженных частиц требуются электроды большой длины, позволяющие устранить влияние краевых полей.

Такие анализаторы громоздкие. На практике в цилиндрических зеркалах анализирующее поле обычно ограничивают в направлении Оси симметрии, а на торцах цилиндрических электродов. располагают системы коаксиальных электродов, несущих корректирующие потенциалы. Применение таких громоздких и сложных защитных систем позволяет значительно сократить длину анализатора, избавившись в то же время от искажающего действия

55 краевых полей. При этом фокусировка анализатора не улучшается..

Наиболее близким является анализатор, состоящий из внутреннего цилиндрического электрода с двумя окнами одинакового размера, наружного электрода, точечного источника, приемника с диафрагмой., одной системы коаксиальных защитных электродов (на торце со стороны источника) и содержащий. в межэлектродном пространстве за выходным окном торцовую металлическую пластину, перпендикулярную оси симметрии и имеющую потенциал внутреннего электрода, с которым она соединена механически и электрически и которая является конструктивным элементов анализатора. Торцовая металлическая пластина, имеющая потенциал внутреннего электрода, создает нужный эффект изменения фокусирующего поля по сравнению с идеальным цилиндрическим, в результате которого разрешающая способность при регистрации пучков с большой угловой расходимостью в несколько раз выше, чем в случае цилиндрического поля в режиме угловой фокусировки второго порядка. При этом становится ненужной система коаксиальных защитных электродов— на торце со стороны приемника, так как область анализируемого поля ограничивается торцовой пластиной. Фокусное расстояние f анализатора, т.е, расстояние между источником и изображением, зависит от расстояния между торцовой пластиной и ис.точником д,.

Известный анализатор зачастую имеет разрешающую способность и чувствительность меньше расчетных для заданной конструкции анализатора, например, если фактическое расстояние между источником и диафрагмой приемника из-за погрешности изготовления не равно расчетному для данного д. При этом фокус пучка может располагаться ближе приемной диафрагмы или за ней. Это приводит к потере интенсивности пучка, проходящего через диафрагму в приемник, т.е. снижению чувствительности измерений и ухудшению разрешающей способности. Кроме того, ухудшение характеристик может произойти при наличии внешних возмущающих факторов — электростатических или рассеянных магнитных полей, деформации электродов при прогревах вакуумной системы и т.д. Кроме того, анализатор не позволяет изменить режим работы в зависимости от конкретной задачи иссле-. дования без изменения конструкции, что связано с нарушением вакуумных условий и

1711263 необходимостью значительной переделки прибора.

Цель изобретения — повышение чувствительности, разрешающей способности анализатора, а также улучшение эффектив- 5 ности его работы в сверхвысоковакуумных установках;

Предлагаемый анализатор содержит внутренний электрод с двумя окнами, наружный электрод, источник заряженных ча- 10 стиц, приемник с диафрагмой, систему защитных электродов со стороны источника, металлическую торцовую пластину со стороны приемника, имеющую потенциал внутреннего электрода. Длина выходного 15 окна 1г(фиг, 1) в направлении оси симметрии увеличина по сравнению с длиной !1 входного окна на величину Ь! = fM8Kc мин, где смаке и f

Выполнение выходного окна удлиненным по сравнению с входным, а торцовой 30 пластины и приемника подвижными вдоль оси симметрии позволяет производить плавное изменение фокусировки анализатора, добиваться перехода к нужному режиму работы с точной регулировкой 35 разрешающей способности и чувствительности, не меняя конструкцию анализатора и. не производя разгерметизацию высоковакуумной установки с прекращением ее работы. 40

На чертеже представлена конструктивная схема анализатора.

На базовом фланце 1 (фиг. 1) размещен анализатор, состоящий из точечного источника 2 заряженных частиц, входного-окна 3 45 длиной I>, которая определяется угловыми размерами анализируемого пучка по известному соотношению

It =r> (ctg (а, — Ьа/2)— ctg (а, + Ьа/2 ) ), 50 где Ьа — угол расходимости пучка; ао — угол наклона средней траектории пучка к оси симметрии, внутреннего цилиндрического электрода 4 с радиусом г, выходного окна 5 длиной tz = I, +!Ю где Ь I макс 1мин т макс и 1 мин экстремальные значения фокусных расстояний f для всех режимов работы, прием-. ной диафрагмы 6 на оси симметрии приемника 7 наружного электрода 8 с изоляторами 9, которыми он изолирован от внутреннего цилиндрического электрода 4, торцовой пластины 10. расположенной на покрытом резьбой участке 11 поверхности внутреннего цилиндрического электрода 4 и имеющей по периметру зубчатую насечку

12; находящуюся в зацеплении с шестеренкой 13 эксцентрикового ввода вращения, состоящего из поворотной ручки 14, веДущего эксцентрика 15, сйльфона 16, ведомого эксцентрика 17, вал которого расположен в подшипниках 18 и соединен с шестеренкой

13. Анализатор включает также ввод линейного перемещения, состоящий из микрометрической головки 19, сильфона 20 и штока 21, соединенного с приемником 7, а также систему защитных электродов 22 на торце анализатора со стороны источника.

Анализатор устанавливается на базовом фланце 1 с помощью несущих стоек 23, соединенных с задней стенкой анализатора 24.

Анализатор работает следующим образом, В исходном состоянии базовый фланец анализатора размещается на фланце вакуумной камеры (не показаны). Расходящийся от точечного источника пучок заряженных: частиц вырезается входным окном 3 внутреннего цилиндрического электрода 4 и попадает в анализирующее поле. Центральная траектория пучка наклонена перед входом в поле под углом 42,3 к оси симметрии, Отраженные полем заряженные частицы выходят через окно 5 и попадают в отверстие приемной диафрагмы 6 приемника 7. Изменяя потенциал V на наружном электроде 8, получают спектр частиц по кинетическим энергиям.

При значении потенциала V в приемную диафрагму пройдут частицы с кинетическими энергиями, удовлетворяющими соотнош.е н и ю Е = V у, где ) — расчетный коэффициент. Чтобы изменить режим работы анализатора достаточно переместить торцовую пластину 10 в новое положение по резьбе I1. а приемник 7 — в новое положение вдоль оси симметрии. Это выполняется с помощью герметичных вводов движения извне камеры установки. ПОворачивая ручку

14 в нужном направлении и вращая тем самым ведущий эксцентрик 15, поворачивают изолированный от него сильфоном 16 ведомый эксцентрик 17 внутри вакуумной камеры, в результате чего вращается вал эксцентрика в подшипниках 18, вращая шестеренку 13. Благодаря тому, что участок с резьбой 1.1 так же, как и шестеренка 13 имеет длину 0,8г, торцовая пластина 10 при

1711263

Составитель А. Ильин

Редактор И.Шулла Техред М.Моргентал Корректор Н. Король

Заказ 345 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101 движении по резьбе. оставаясь в зацеплении с шестеренкой 13, может смещаться вдоль оси симметрии на это расстояние, что обеспечивает возможность охватить все расчетные режимы работы анализатора. 5

Смещение приемника вдоль оси симметрии производится вардом линейного перемещения, для чего требуется с помощью микрометрической головки 19, воздействуя, на сильфон 20, переместить шток 21, Точ- 10 ность настройки в новом положении контролируется по величине сигнала от приемника

7, который должен быть максимальным по сравнению с близкими положениями торцовой пластины 10 и приемника 7 вдоль оси 15

/ симметрии. При точном соответствии установленного положения торцовой пластины фактическому фокусному расстоянию чувствительность и разрешающая способность максимальные по сравнению с близкими по- 20 ложениями вдоль оси симметрии в обоих направлениях, Анализатор позволяет легко изменить режим работы в соответствии с конкретной исследователвской задачей. Например, для 25 перехода от режима с увеличенной разрешающей способностью к режиму идеального цилиндрического зеркала, используемому для калибровочных измере ний, достаточно сместить торцовую плести- 30 ну из положения с д- 5,8r1 в положение с д - 6,4r>, а приемник соответственно из положения с f 6,03г1 в положение с f 6,13r>, что выполняется без нарушения работы спектрометра и беэ разгерметизации его камеры.

Выполнение выходного окна удлиненным по сравнению с входным, а торцовой металлической пластины и приемника с диафрагмой подвижными вдоль оси симметрии позволяет производить плавное изменение фокусировки анализатора с помощью герметичных вводов извне вакуумной камеры, добиваясь максимально возможных чувствительности, разрешающей способности и эффективности работы анализатора в сверхвысоковакуумных спектрометрах.

Формул а изобретения

Электростатический энергоанализатор по авт.св. hh 680534, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности, разрешающей способности и улучшения эффективности его работы, торцовая пластина и приемник выполнены подвижными вдоль оси симметрии, а выходное окно внутреннего электрода имеет длину большую, чем входное, на величину Ь! макс мин где макс и мин экстремальные значения фокусных расстояний энергоанализатора для всех режимов работы,