Интерферометр для контроля асферических поверхностей второго порядка

 

Изобретение относится к измеритель^ ной технике и может быть использовано для технологического и аттестационного контроля вогнутых параболоидов и зллипсоидов, в том числе с большими относительными отверстиями, в оптическом приборостроении. Цель изобретения - повышение точности контроля. Оптическая система интерферометра позволяет направить а ра-бочую ветвь световой пучок после однократного отражения от контролируемой поверхности. Это дает возможность' исключить суммирование искажений волнового фронта, вносимых различными зонами контролируемой поверхности, возникающее при использовании интерферометров с автоколлимаЦйонным ходом лучей. Световой пучок от источника 1 монохроматического излучения разделяется светоделителем 2 на два пучка. Из прошедшей части пучка объектив 6 формирует плоский эталонный фр'онт, который после прохождения светоделителя 1 попадает в объектив В блока регистрации интерференционной картины. Отраженная светоделителем 2 часть пучка после отражения от зеркала 11 попадает на второй фокусирующий объектив 12 и после прохождения диафрагмы 13 попадает на контролируемую деталь 15, после отражения от детали 15 излучение падает на светоделитель 7, который совмещает эталонный и контролируемый волновые фронты до получения интерференционной картины, по которой судят о качестве контролируемой поверхности детали 15. 2 ил.Изобретение относится к измерительной технике и может быть использован4р для технологического и аттестационного контроля вогнутых параболоидов и эллипсоидов, в том числе с большими относительными Отверстиями, в оптическом приборостроении.Цель изобретения - повышение точности контроля.'Это достигается тем, что световой пучОк направляется на контролируемую пове|эхность дополнительными светоделителем ифокусирующим объективом с диафрагмой, установленной в его заднем фокусе. Это позволяет направить световой пучок после однократного отражения от контролируемой поверхности в рабочую ветвь интерферометра, что дает возможность исключить суммирование искажений волнового фронта, вносимых различными зонами поверхности, возникающее при использовании интерферометров с автоколлимационным ходом лучей.\^ VI ^С»Е

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)5 G 01 В 11/24

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯМИ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4797764/28 (22) 02.03.90 (46) 15.02.92. Бюл. hL 6 (71) Государственный институт прикладной оптики, (72) В.А.Феоктистов (53) 531.717,2 (088.8) (56) Пуряев Д.Т..Методы контроля оптических асферических поверхностей. М.: Машиностроение, 1976, с. 123, рис. 54.

Духопел Иг.И„ Качкин С.С., Чунин Б.А, Изготовление и методы контроля асферических поверхностей. Л.: Машиностроение, 1975, с, 80-82, рис. 64, 65. (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ

АСФЕРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ВТОРОГО ПОРЯДКА (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для технологического и аттестационного контроля вогнутых параболоидов и эллипсоидов, в том числе с большими относительными отверстиями, в оптическом приборостроении. Цель изобретения — повышение. точности контроля. Оптическая система интерферометра позволяет направить в раИзобретение относится к измерительной технике и может быть использоваНо для технологического и аттестационного контроля вогнутых параболоидов и эллипсоидов, в том числе с большими относительными отверстиями, в оптическом приборостроении.

Цель изобретения — повышение точности контроля.

Это достигается тем, что световой пучок направляется на контролируемую .поверхность дополнительными светоделителем и,, . Ж,, 1712778 А1 бочую ветвь световой пучок после однократного отражения от контролируемой поверхности. Это дает возможность исключить суммирование искажений волнового фронта, вносимых различными зонами контролируемой поверхности, возникающее при использовании интерферометров с автоколлимационным ходом лучей. Световой пучок от источника 1 монохроматического излучения разделяется светоделителем 2 на два пучка. Из прошедшей части пучка объектив 6 формирует плоский эталонный фронт, который после прохождения светоделителя 7 попадает в объектив 8 блока регистрации интерференционной картины, Отраженная светоделителем 2 часть пучка после отражения от зеркала 11 попадает на второй фокусирующий объектив 12 и после прохождения диафрагмы 13 попадает на контролируемую деталь 15, после отражения от детали 15 излучение падает на светоделитель 7, который совмещает эталонный и контролируемый волновые фронты до пол. учения интерференционной картины„по которой судят о качестве контролируемой поверхности детали 15. 2 ил. фокусирующим объективом с диафрагмой, установленной в его заднем фокусе. Это позволяет направить световой пучок после однократного отражения от контролируемой поверхности в рабочую ветвь интерферометра, что дает возможность исключить суммирование искажений волнового фрон-. та, вносимых различными зонами поверхности, возникающее при использовании интерферометров с автоколлимационным ходом лучей.

1712778

25

На фиг. 1 изображена оптическая схема интерферометра для контроля вогнутых параболоидов; на фиг. 2 — схема рабочей ветви интерферометра для контроля вогнутых эллипсоидов.

Интерферометр содержит источник 1 монохроматического излучения, светоделитель 2 для разделения излучения на две ветви — рабочую и эталонную, последовательно установленные по ходу прошедшего светоделитель 2 излучения фокусирующий объектив 3, диафрагму 4, плоское зеркало 5, объектив 6 для формирования плоского эталонного волнового фронта, светоделитель 7 для совмещения эталонного и контролируемого волновых фронтов, блок регистрации интерференционной картины, состоящий из объектива 8, диафрагмы 9 и фотоприемного устройства 10, и размещенные по ходу отраженного светоделителем 2 излучения плоское зеркало 11, второй фокусирующий объектив 12, диафрагму 13, установленную в заднем фокусе объектива

12, объектив 14, установленный с возможностью вывода из хода лучей.

Интерферометр работает следующим образом.

Световой пучок от источника 1 монохроматического излучения частично проходят светоделитель 2, частично им отражается, Прошедшая часть пучка направляется объективом 3 в диафрагму 4 и после отражения от зеркала 5 попадает в объектив 6, формирующий плоский эталонный волновой фронт, После прохождения светоделителя

7 эталонный волновой фронт попадает в объектив 8 блока регистрации интерференционной картины. Отраженная светоделителем 2 часть пучка после отражения от плоского зеркала 11 попадает на второй фокусирующий объектив 12 и после прохождения диафрагмы 13 падает на контролируемую деталь 15.

При контроле параболоидов объектив

14 выведен из рабочей ветви интерферометра. Контролируемый параболоид 15 установлен так, что его фокус F> совмещен с диафрагмой 13, а ось параболоида параллельна оптической оси рабочей ветви интерферометра. После отражения от контролируемого параболоида 15 волновой фронт падает на светоделитель 7, который совмещает эталонный и контролируемый волновые фронты. Интерферирующие волновые фронты попадают затем во входной объектив 8 блока регистрации, в котором по анализу интерференционной картины судят о качестве контролируемой поверхности 15.

При контроле эллипсоидов объектив 14 введен в рабочую ветвь интерферометра, Контролируемый эллипсоид 15 установлен так, что один из его фокусов Fz совмещен с диафрагмой 13, а другой фокус F< — с фокусом объектива 14. Далее контролируемый волновой фронт, пройдя объектив 14, падает на светоделитель 7 и интерферирует с эталонным волновым фронтом. Качество контролируемой поверхности определяется как и при контроле параболоидов, Формула изобретения

Интерферометр для контроля асферических поверхностей второго порядка, содержащий источник монохроматического излучения и последовательно установленные по ходу лучей фокусирующий объектив, диафрагму, объектив, предназначенный для формирования эталонного волнового фронта, размещенный так, что его передний фокус совмещен с диафрагмой, и светоделитель, предназначенный для совмещения эталонного и контролируемого волновых фронтов, и расположенный в выходном пучке блок регистрации интерференционной картины, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, он снабжен вторым светоделителем, установленным между источником излучения и фокусирующим объективом, и размещенными по ходу отраженных вторым светоделителем лучей вторым фокусирующим объективом и второй диафрагмой, установленной в заднем фокусе второго фокусирующего объектива, 1712778

/О

Составитель B. Феоктистов

Редактор Н. Федорова Техред M,Ìîðãåíòàë Корректор С. Шевкун

Заказ 528 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул,Гагарина, 101