Способ определения толщины изделия

 

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к определению толщин плит оптическими методами. Цельизобретения - повышение точности определения посредством учета наклонного положения изделия. Для этого источник света с помощью коллиматора и фокусирующей линзы создает конический луч, который на поверхности изделия создает световое изображение окружности или эллипса (наклонное положение изделия). Объектив проектирует изображение на мозаичный фотоприемник. Микропроцессорная система считывает электрический сигнал с фотоприемника и рассчитывает значение толщины изделия. Оптоэлектрическая система позволяет измерять расстояния между осью конусов и наиболее удаленными от нее двумя точками изображения и от третьей точки, лежащей на другой поверхности изделия напротив наиболее удаленной от оси точки изображения, по которым и определяют толщину изделия. 2 ил.

союз советских

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)э G 01 8 1 /06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4374755/28 (22) 09.02.88 (46) 23.02,92. Бюл, М 7 (71) Центральное конструкторско-технологическое бюро приборостроения с опытным производством (72) В.Я. Собашко (53) 531.715.27(088.8) (56) Устройство для измерения толщины древесно-стружечных плит с помощью лазерного луча. Фирма Сгесоп, Материалы выставки Лесдревмаш-84. — M.

Деревообрабатывающая и ромышленность, 1987, М 2, с.5. (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ

ИЗДЕЛИЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности к определению толщин плит оптическими методами, Цель

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к определению толщин нити оптическими методами.

Цель изобретения — повышение точности определения посредством учета наклонного положения изделия..

ka фиг. 1 показаны световые конусы, . фронтальное сечение; на фиг.2 — конструкция оптоэлектрического устройства, Световые конусы 1 и 2 имеют общую ось

3, через которую, а также через иэделие 4 проведено сечение плоскостью 5. Изделие 4- показано в двух положениях — под углами р <90 и р-0 . 8 сечении образовались два равнобедренных треугольника OKL u

O>KiL<, для которых основания 2r, высоты Ж 1714344 А1 изобретения — повышение точности определения посредством учета наклонного по"".0 е а изделия. Для этого источник света с помощью коллиматора и фокусирующей линзы создает конический луч, который на поверхности изделия создает световое изображение окружности или эллипса (наклонное положение изделия). Объектив проектирует изображение на мозаичный фотоприемник. Микропроцессорная система считывает электрический сигнал с фотоприемника и рассчитывает значение толщины изделия. Оптоэлектрическая система позволяет измерять расстояния между. осью конусов и наиболее удаленными от нее двумя точками изображения и от третьей точки, лежащей на другой поверхности из- Я делия напротив наиболее удаленной от оси . точки изображения, по которым и определяют толщину изделия, 2 ил, h и расстояния между основаниями Н заданы конструктивно, Устройство для создания конического фь луча содержит источник 6 света, кольцевой (,Д коллиматор 7, кольцевую фокусирующую фь, линзу 8, объектив 9, мозаичный фотоприем- д ник 10, микропроцессорную систему 11 и индикатор 12.

Способ осуществляется следующим образом.

Источник 6 света с помощью коллиматора 7 и фокусирующей линзы 8 создает конический луч 13, который на поверхности изделия 4 создает световое изображение окружности, если ф - О, или эллипса, если

Р ФО. Объектив 9 проектирует изображение на мозаичный фотоприемник 10, например

1714344

При этом

hu - Н вЂ” 2h+r1 — +Г2 =Н-2h+ — (r1 + Гг), (3)

h h h

r г Г

В качестве источника света может быть применена серийная. лампа накаливания.

Коллиматор может быть выполнен в виде пластины с кольцевой щелью. Для крепле10 ния деталей коллиматора между собой можно использовать тонкие перемычки, сечение которых в направлении хода лучей меньше сечения излучателя света. При этом линия, иэображения щели будет непрерывной. В

15 качестве фотоприемника целесообразно использовать серийные ПЗС мозаичного типа.

При контроле древесностружечнои плиты это может быть, например, ПЗС из 256х256 элементов, При этом дискретность д отсчета

20 будет достаточной для контроля древесностружечных плит;

hu FB - АВ сов Р.

Е О.

CD

ED = А101 = OA1 — 001 = — h — — h =

r1 г1

AB= ВОг — АОг, ВОг=В10г-В18; В10г=

- В101+010г;

В1В - гг . tgp;

ВОг - — h+M — h-Г219 р= 40

Г

- H htrt (-,— tgp);

АОг - 010г — D1A; D10z=h-010h — —. h;;

r1

Г

ОА2=Ь вЂ” h Г1 tg /3= г1

Г (h Г

=h-r1 (— +tgp1;

AB-Н-h+rt(— — tg Д-h+r1 (— + tgp) .

Таким образом. если Р Ф О, h„+H-2Ь+й (— +(ЯР)+ 2 (7 (9ф)М 55 х cos P). (2) прибор с зарядовой связью(ПЗС), в котором формируется скрытое электрическое изображение. Микропроцессорная система 11 считывает электрический сигнал из ПЗС и рассчитывает истинное значение толщины

hu, которое отражается индикатором 12. Оптоэлектрическая система позволяет замерять расстояния ЕА1 и С01, равные r1 и r1, соответственно. Вторая оптоэлектрическая система не показана. Она позволяет замерять расстояние CB1-rz на противоположной поверхности иэделия.

Истинное значение толщины hu - FB, а фактически замеряемое значение толщины равно:АВ, Из треугольника (tp)t) FBA:

hFBA подобен hCDE, так как у них стороны параллельны и углы равны. Поэтому

= — (г1 — r1 );

CD - r1+ г1, потому

tgp = — . (1)

h Г1 — Г1 г r1+ r1

Если плоскости изделия параллельны

I основаниям К1 и К1(1, то r1= r1 и р-О. д= 1 1— 4 1О = 0,4y

При толщине древесностружечных плит hu=20 мм, 6h=h д; hu=20 4.10 = з

=0,080 мм. Допуск на толщину древесностружечной плиты hh= +0,3 мм. При более высоких требованиях к точности измерения число элементов ПЗС должно быть больше.

В качестве микропроцессорной системы может быть использована любая серийная ЭВМ достаточной производительности, оснащенная программой опроса элементов

ПЗС. Быстродействие ЭВМ определяют, исходя из производительности труда на линии контроля древесностружечных плит, Формула изобретения

Способ определения толщины изделия, заключающийся в том, что проектируют на противоположные поверхности изделия изображения линий, измеряют расстояния между точками иэображений линий и используют эти расстояния при определении толщины, отл и ча ю щи и с я тем, что, с целью повышения точности, изображения линий на поверхности изделия получают путем проектирования круговых световых конусов, измеряют расстояния между осью конусов и наиболее удаленными от нее двумя точками изображения и от третьей точки, лежащей на другой поверхности изделия напротив наиболее удаленной от оси точки изображения, и определяют толщину h< иэделия по формуле

Ьй(Н-2h+r((— r +tgP)+rz (7-tgP)„ ! h к сов Р, 1714344

В h . г1-г1 где щ п.—

r r> + r>

Н вЂ” расстояние между основаниями ко; нусов;

h,r — высота и радиус основания светового конуса;

ri, rz — расстояния от оси конусов до наиболее отдаленных точек иэображения, лежащих на разных поверхностях изделия;

r< - расстояние от оси конусов до точки, 5 расположенной на освещенной линии напротив наиболее отдаленной от оси конуса точки иэображения;

Р- угол наклона изделия относительно оснований конусов.

1714344

Заказ 681 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Редактор И.Ванюшкина

Составитель Б.Евстратов

Техред M.Ìîðãåíòàë Корректор Т,Малец

Способ определения толщины изделия Способ определения толщины изделия Способ определения толщины изделия Способ определения толщины изделия 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к изготовлению многослойных оптических покрытий.наносимых путем осаждения веществ в вакууме

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам определения толщины прозрачных плоскопараллельных объектов

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к измерению толщины пленок

Изобретение относится к радиоэлектронной технике и может быть использовано при изготовлении микросхем, в лазерной технике при напылении материалов на кристаллы

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении линейных размеров объектов, в частности для бесконтактного определения смещений обьекта от номинального положения

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения толщины полупроводниковых и диэлектрических пленок

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в твердотельной электронике для измерения толщины диэлектрического слоя на поверхности полупроводника

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины пленок при производстве интегральных микросхем

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в технологии ионной и ионнохимической обработки материалов при производстве оптических деталей, элементов полупроводниковой микроэлектроники и интегральной оптики

Изобретение относится к технике измерений толщины футеровки металлургических агрегатов

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости
Наверх