Способ измерения толщины покрытия

 

Изобретение относится к неразру шающему контролю и может быть использовано измерения толщины покрытия, имеющего отличный о г основания коэффициент теплопроводности . Цель изобретения - расширение диапазона контролируемых толщин. Поверхность объекта контроля нагревают со стороны покрытия импульсным источником излучения, регистрируют изменение температуры во времени на заданном расстоянии от участка нагрева, при этом измеряют интервал времени от начала нагрева до момента достижения температурой поверхности максимального значения, а реги-. страцию температуры проводят на фиксированном расстоянии от участка нагрева . 2. ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)5 G 01 В 7/06

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ, /

1 (21) 4778073/28 (22) 05.0 1,90 (46) 30.06.92. Бюл. N. 24 (71) Московский энергетический институт (72) Ю.А. Плотников и Л.А. Чернов (53) 531.717.7 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

N. 1390554, кл. G 01 Й 25/18, 1986.

Авторское свидетельство СССР

N 1395939, кл. G 01 В 7/05; 1986. (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЯ (57) Изобретение относится к неразрушающему контролю и может быть использовано

Изобретение относится к неразрушающему контролю и может быть использовано для измерения толщины покрытия (напри; мер; гальванического), которое имеет коэффициент теплопроводности много больше, чем основани.е.

Известен способ определения коэффициента теплопроводности многослойнйх пластин, позволяющий по полученным данным судить о толщине покрытия. заключающийся в том, что через исследуемый образец пропускают тепловой поток вдоль границы слоев, имеющих различные коэффициенты теплопроводности, измеряют его. мощность и перепад температур на поверхности на заданном расстоянии от нагревающего элемента и по измеренным величинам рассчитывают искомый коэффициент. При этом расстояние выбирают таким, чтобы устранить погрешность, связанную с отличиями теплофизических характеристик слоев.и их толщиной, „S U,, 1744438 A l измерения толщины покрытия, имеющего отличный or основания коэффициент теплопроводности. Цель изобретения — расширение диапазона контролируемых толщин.

Поверхность объекта контроля нагревают со стороны покрытия импульсным источником излучения, регистрируют изменение температуры во времени на заданном расстоянии от участка нагрева, при этом измеряют интервал времени от начала нагрева до момента достижения температурой поверхности максимального значения, а реги-. страцию .температуры проводят на фиксированном расстоянии от участка нагрева. Г ил.

Таким образом, если выбрать соответствующее расстояние между нагревательным и измерительным элементами, то можно получить зависимость мощности стационарного теплового потока от толщины покры-. тия. Недостатками этого способа являетсл низкал производительность измерений, так как требуется создание режима стационарного теплового потока..

1- аиболее близким техническим решением к изобретению является способ измеренил толщины листового материала, при котором импульсно нагревают одну из его поверхностей, регистрируют переходной процесс изменения ее температуры во времени, при этом другая поверхность листа приведена в контакт с веществом, имеющим отличную от контролируемого материала теплопроводность. а о толщине материала судят по величине временного интервала между моментом достижения нагреваемой поверхностью максимального значения

1744438 температуры и последующим моментом, соответствующим перегибу на графике переходного процесса, который обусловлен достижением тепловым потоком внутренней поверхности листового материала.

Однако при малых толщинах листа или при высоких коэффициентах теплопровод ности материала интервал времени между характерными точками переходной характеристики мал, погрешность определения характерныхточек по абсолютной величине соизмерима с интервалом времени между ними и измерение этого интервала с удовлетворительной точностью невозможно.

Цель изобретения — расширение диапазона измеряемых толщин и контролируемых материалов покрытия, Это достигается тем, что осуществляют импульснь1й нагрев локального участка покрытия, регистрируют температуру покрытия и временной интервал, по величине которого судят о толщине покрытия, причем интервал времени измеряют между качалом нагрева и моментом достижения температурой покрытия максимальной величины, а регистрацию температуры проводят на фиксированном расстоянии от участка нагрева.

На фиг. 1 изображена схема измерения толщины покрытия; на фиг. 2 — зависимости наступления максимума температуры от толщины покрытия для основания из текстолита.

Схема содержит покрытие 1, расположенное на основании 2. Сигнал теплового отклика от нагревателя 3 регистрируется преобразователем 4, установленном на заданном расстоянии l от нагревателя.

Закон изменения температуры в точке поверхности покрытия на фиксированном расстоянии от места нагрева описывается двухмерным нестационарным уравнением теплопроводности, поскольку распространекие тепла. происходит как вглубь изделия, так и вдоль границы основание-покрытие, При этом температура покрытия в точке измерения возрастает, достигает максимального значения и начинает убывать. Время достижения максимума характеризует теплопроводность покрытия, основания и толщину покрытия.

При большой толщине покрытия (б-у L) можно считать, что время достижения максимума t < температуры в точке измерения определяется только температуропроводностью покрытия, поскольку влияние основания сказывается позже. Поэтому первую часть переходного процесса рассмотрим в упрощенной системе: полупространство из материала покрытия. В этом случае время

10 О), когда она настолько мала, что не вносит заметных изменений в процесс распространения тепла, время максимума температуры

iM определяется величиной, аналогичной вы20

-)L к r м, определяемому температуропроd(JL VR/À

° гдеА = ар с- теплопроводность материа45 лов основания и покрытия;

К вЂ” коэффициент, зависящий от уровня минимальной чувствительности к толщине и конкретного материала. Для медного покрытия эксперементально найденное зна50 чение К = 0,21 при минимальном уровне 1 мс/мкм (фиг, 2).

35 максимума т м в точке поверхности на расстоянии L от мгновенного линейного источника определяется по формуле (3). г > = L /4à, (1) где а — температуропроводность материала покрытия.

При малой толщине покрытия (d 0, d/L численной по формуле, где а — температуропроводность основания. Учитывая, что температуропроводность у основания в

100 †10 раз меньше, чем у покрытия, это время должно возрасти в соответствующее число раз.

В некотором диапазоне толщин можно ожидать зависимость r (d) которая определяется переходом от т м, определяемому температуропроводностью покрытия при d водностью основания при d О.

Эксперименты, проведенные с использованием импульсного линейного электрического нагревателя (длительность импульса нагрева 0,1 с) на тонких (d < 0,02L) покрытиях подтверждают существование такой зависимости. Полученные экспериментальные зависимости наступления максимума температуры от толщины покрытия из меди(а =1,15:10 м /с) на основании из текстолита(а =1,4 10 м /с)толщиной 2 мм, для расстояния между нагревателем и приемником 6 мм (кривая а), 8 мм (кривая Ь) и

10 мм (кривая с

Диапазон чувствительности к толщине можно оценить по формуле:

Применение разнесенных в пространстве нагревателя и приемника, позволяет производить измерения на тонких покрытиях, так как в этом случае интервал между характерными моментами переходного процесса определяется не только толщиной покрытия, но и расстоянием от нагревателя до

1744438 приемника. Это расстояние может в сотни раз превосходить толщину покрытия, что приводит к увеличению измеряемого интервала времени и уменьшает относительную погрешность его измерения. Предположим, 5 что точность определения характерного момента времени осталась та же, что и для случая (2), а измеряемый интервал увеличился в 100 раз эа счет соответствующего увеличения расстояния от нагревателя до 10 приемника, тогда получим снижение относительной погрешности измерения временного интервала в 100 раз.

Расширение диапазона измеряемых

: материалов покрытия в сторону увеличения 15 теплопроводности (уменьшающего измеряемый временной интервал) обеспечивается установкой большего расстояния от нагревателя до измерителя. Способ также позволяет производить измерения при 20 отсутствии доступа к поверхности между нагревателем. и приемником.

Время максимума определяют по графику переходного процесса, который получают от термочувствительного элемента на 25 запоминающем осциллографе.

Градуировочные зависимости времени максимума от толщины покрытия получают экспериментальным путем на образцах из измеряемых материалов, измеряя толщину 30 покрытия любым известным способом.

Пример. Измерение толщины металлизации из меди на основании из текстолита, нанесенного гальваническим методом, Для этого импульсно нагревают линей- 35 ный участок поверхности электрическим. контактным нагревателем в течение 0,1 с.

На расстоянии 8 мм от линии нагрева регистрируют температуру с помощью пироприемника, сигнал от которого после усиления 40 подают на вход запоминающего осциллографа. Запуск горизонтальной развертки осциллографа осуществляют при включении нагревателя. По полученному графику

z. определяют интервал времени от начала импульса нагрева до точки максимума. Полученные значения временны интервалов непосредственно переводят в. значение толщины при помощи заранее полученного градуировочного графика для медного покрытия на текстолитовом основании при расстоянии между нагревателем и измерителем 8 мм (фиг. 2, крйвая.b).

Градуировочную зависимость получают по обычной методике, используя в качестве эталонного метода измерения толщины покрытия метод микрошлифов.

Формула изобретения

Способ измерения толщины покрытия, имеющего отличный ot основания коэффициент тепловой активйости, эаквочающийся в том. что импульсно нагревают локальный участок поКрытия,.измеряют характеристический интервал времени теплового переходного процесса изменения его температуры, по величине которого судят о толщине покрытия. отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых материалов и толщин, интервал времени измеряют между началом нагрева и моментом достижения температурой покрытия максимальной величины, а иэмере-, we температуры проводят в точке покрытия на расстоянии от участка нагрева, выбираемом из условия

> — где дм — верхняя граница диапазона измеряемых толщин; е„. и е,; — коэффициенты. тепловой активностй покрытия и основания соответственно;

К вЂ” коэффициент. зависящий от уровня минимальной чувствительности измерителя временного интервала, выбираемый экспериментально.

1744438 гаО

Л?О

2дд

Составитель Л.Чернов

Редактор Л.Народная Техред М.Моргентал Корректор Н.Ревская

Заказ 2185 . Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113О35, Москва, Ж-35, Раушская нар., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина.. 101

Способ измерения толщины покрытия Способ измерения толщины покрытия Способ измерения толщины покрытия Способ измерения толщины покрытия 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерениях толщины парогазовой оболочки

Изобретение относится к измерительной технике и может найти применение при поверке и градуировке любых типов толщиномеров

Изобретение относится к измерительной технике

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к способам измерения и контроля толщины пленочных покрытий бесконтактными, в частности термометрическими методами

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения и контроля толщины ферромагнитных лент и листов

Изобретение относится к средствам неразрушающего контроля и может быть использовано для измерения толщины защитных покрытий различных изделий, выполненных из ферромагнитных материалов

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения линейных размеров изделий и малых изменений этих размеров

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины тонких диэлектрических пленок

Изобретение относится к измерительной технике и может найти широкое применение в системах неразрушающего контроля и измерений толщины пленочных покрытий

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля толщины металлических покрытий в процессе их образования, например, на металлических деталях, в частности, при нанесении покрытий из паровой фазы пиролитическим способом

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений в поверхностном слое изделий из металлов и сплавов с различными электромагнитными свойствами

Изобретение относится к неразрушающим методам контроля качества и геометрических размеров изделий и может быть использовано для измерения толщины проводящих покрытий
Изобретение относится к электронной технике и электротехнике и может быть использовано, в частности, в качестве датчиков магнитного поля или тензодатчиков

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины различных покрытий на цилиндрических металлических основах

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно к методам и техническим средствам для контроля толщины твердых и полутвердых защитных покрытий, изоляционных слоев, жировых отложений, смазочных и лакокрасочных пленок на электропроводящей, в частности, металлической основе
Наверх