Линия литья керамической пленки

 

Использование: при изготовлении многослойных металлокерамических корпусов интегральных схем. Сущность изобретения: линия содержит литьевую фильеру, стол формирования и сушки пленки, сушильную камеру с воздуховодами, нагреватели, механизмы размотки рулона технологической подложки, ее протяжки и намотки в рулон отлитой пленки,,осевые вентиляторы, холодильник воздуха с фильтром, напорный бачок с механизмом его.вертикального перемещения. Заключение сушильной камеры , воздуховодов и нагревателей в единый теплоизоляционный кожух позволяет выдерживать стабильный температурный режим сушки пленки. Перфорированная перегородка , установленная в верхней части камеры с рассекателями горячего воздуха, обеспечивает равномерный поток воздуха, направленного перпендикулярно к площади отливаемой пленки. 1 з.п. ф-лы, 3 ил. И с

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)5 В 28 В 1/26

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕ (ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 4836792/ЗЗ (22) 11.06.90 (46) 15.07.92. Бюл, 3Ф 26 (7)) Конструкторское бюро Гюйс (72) А.Н.Жуковский и М.С.Виноградов (53) 666.97.033(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР ЬЬ. 1335470, кл. B 28 В 1/26, 1986.

Авторское свидетельство:СССР

hL 1283104, кл, В 28 В 1/26, 1985, (54) ЛИНИЯ ЛИТЬЯ КЕРАМИЧЕСКОЙ

ПЛЕНКИ (57) Использование: при изготовлении многослойных металлокерамических корпусов интегральных схем. Сущность изобретения: линия содержит литьевую фильеру, стол Изобретение относится к оборудованию для изготовления керамических пленок способом литья шликеров на технологическую подложку и предназначенных для изготовления многослойных металлокерамических корпусов интегральных схем..

Известна линия литья керамическОй пленки, содержащая стол формирования и сушки пленки, отсек сушки, механизмы размотки бобины с подложкой и ее намотки в рулон вместе с отлитой на нее пленкой, и . литьевую фильеру, Наиболее близкой к предлагаемой является линия литья керамической пленки, со. держащая литьевую фильеру, стол формирования и сушки пленки, сушильную камеру с воздуховодами, нагреватели, механизм размотки рулона технологической подложки, ее протяжки и намотки в рулон отлитой пленки.

„„ЯЦ„, 1747275 А1 формирования и сушки пленки, сушильную камеру с воздуховодами, нагреватели, механизмы размотки рулона технологической подложки, ее протяжки и намотки в рулон отлитой пленки. осевые вентиляторы, холодильник воздуха с фильтром, напорный бачок с механизмом его вертикального перемещения. Заключение сушильной камеры, воздуховодов и нагревателей в единый теплоизоляционный кожух позволяет выдерживать стабильный температурный режим сушки пленки. Перфорированная перегородка, установленная в верхней части камеры с рассекателями горячего воздуха, обеспечивает равномерный поток воздуха; направленного перпендикулярно к площади отливаемой пленки. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.

Недостатком известной линии является отсутствие системы сушки горячим воздухом и:интенсивного отсоса паров растворителя керамического шликера.

Криволинейная поверхность стола сушки ведет к растяжению пленки и появлению внутренних напряжений в ней, а отсутствие в линии холодильника не позволяет вести отделение керами . еской пленки от технологической .подложки, так как недостаточно охлажденная пленка плохо отсоединяется от подложки.

Указанные выше недлостатки не позволяют получить качественную пленку толщиной 0,5 — 1,5 мм и повысить интенсивность данного процеса.

Цель изобретения — повышение качест; ва пленки и интенсификации процесса сушки.

Указанная цель достигается тем, что в линии литья керамической пленки, включа1747275

30

40

50

Изобретение относится к оборудованию для изготовления керамических пленок способом литья шликеров на технологическую подложку и предназначенных для изготовления многослойных металлокерамических корпусов интегральных схем.

Известна линия литья керамической пленки. содержащая стол формирования и сушки пленки, отсек сушки, механизмы размотки бобины с подложкой и ее намотки в рулон вместе с отлитой на нее пленкой, и литьевую фильеру., Наиболее близкой к предлагаемой, является линия литья керамической пленки, содержащая литьевую фильеру, стол формирования и сушки пленки, сушильную камеру с воздуховодами, нагреватели, механизм размотки рулона технологической подложки, ее протяжки и намотки в рулон отлитой оленки.

Недостатком известной линии является отсутствие системы сушки горячим воздухом и интенсивного отсоса паров раствори,теля керамического шликера.

Криволинейная поверхность стола сушки ведет к растяжению пленки и появлению внутренних напряжений в ней, а отсутствие в линии холодильника не позволяет вести отделение керамической пленки от технологической подложки, так как недостаточно охлажденная пленка плохо отсоединяется от подложки.

Указанные выше недлостатки не позволяют получить качественную пленку толщи. ной 0,5- 1,5 мм и повысить интенсивность данного процеса.

Цель изобретения — повышение качества пленки и интенсификации процесса суш- . ки.

Указанная цель достигается тем, что в линии литья керамической пленки, включающей литьевую фильеру, стол формирования и сушки пленки, сушильную камеру с воэдуховодами, нагреватели, механизмы размотки рулона технологической подложки, ее протяжки и намотки в рулон отлитой пленки, она снабжена осевыми вентиляторами, холодильником воздуха с фильтром и

:: охватывающим стол формирования и сушки пленки теплоизолирующим кожухом, разделенным перегородкой на две секции, в одной иэ которых размещены осевые .вентиляторы и холодильник воздуха с фильтром, а в другой секции установлена сушильная камера, на верхней части которой установлены нагреватели и воздуховоды, при зтом камера снабжена перфорированной перегородкой с рассекателями горячего воздуха, а в нижней части кожуха установлены соединенные со столом формирования и сушки пленки регулируемые опоры и вытяжные воздуховоды.

Линия снабжена напорным бачком шликера с механизмом его ве 1икального перемещения, снабженным гильзой для нижней подачи шликера.

На фиг.1 схематично изображена предлагаемая линия; на фиг.2 — разрез А-А на фиг.1; на фиг.3 — напорный бачок шликера с механизмом вертикального перемещения.

Линия содержит механизм размотки бо-. бины 1 с технологической подложкой 2, стол

3 формирвания пленки, литьевую фильеру 4, теплоиэолирующий кожух 5, разделенный на две секции: сушильную камеру 6 и камеру

7 охлаждения. В верхней части сушильной камеры 6 установлены нагреватели 8 и воэдуховоды 9, в которые воздух подается вентилятором 10. В камере 6 установлена перфорированная перегородка.11 с соплами 12 для подачи воздуха и рассекателями

13 горячего воздуха. В нижней части камеры

6 на регулируемых опорах 14 установлен стол 15 сушки пленки и вытяжные воэдуховоды 16. В камере 7 охлаждения размещены осевые вентиляторы 17, .холодильник 18 с фильтром 19. Кожух 5 в верхней части имеет разъем 20, позволяющий снять верхнюю часть кожуха для обслуживания нагревателей 8. Для регулировки напора подаваемого и отсасываемого воздуха воэдуховоды 9 оснащены регулирующими заслонками 21. Линия снабжена механизмом намотки пленки на бобину 22 и механизмом протяжки технологической подложки на бобину 23 посредством роликов 24. Линия имеет напорный бачок шликера 25 с механизмом 26 его вертикального перемещения. По оси бачка 24 установлена гильза 27 для подачи шликера.

В нижней части бачка 25 закреплена трубка

28 подачи шликера в бачок и гибкая трубка

29 подачи шликера в фильеру 4. В верхней части бачка 25 установлен датчик 30 уровня.

Линия имеет также бак шликера 31.

Линия работает следующим образом.

Бобину 1 с технологической подложкой

2 устанавливают на шпиндель механизма размотки, пропускают подложку через систему роликов и по столу 3 формирования пленки подают под фильеру 4. Далее по столу 15 через сушильную камеру 6 и камеру

7 охлаждения через ролики 24 протяжки; а затем с помощью механизма протяжки и намотки подложку 2 сматывают в рулон на бобину 23. Затем включают вентилятор 10, нагреватели 8 и выводят сушильную камеру

6 на температурный режим, согласно технологической кривой сушки для данной кера1747275 мической пленки при включенной вытяжной вентиляции.

Регулировку воздушных потоков ведут заслонками 21 в соплах 12 нагнетания горя- 5 чего. воздуха и вытяжных воздуховодах 16, а также регулировкой зазора между столом

15 и камерой 6 посредством регулируемых опор 14. Одновременно включают осевые 10 вентиляторы 17 камеры 7 охлаждения, Подают воду в радиатор холодильника 18 и настраивают температурный режим камеры охлаждения регулировкой потока холодной воды дросселем на сливе. 15

В фильеру 4 подают шликер, поступающий иэ бака 31 под давлением сжатого воздуха в напорный. бачок 25. Уровень шликера в напорном бачке 25 контролируется датчиком 30 уровня. В зависимости от толщины в 20 герметичной фильере 4, устанавливая высоту Н напорного бачка 25 над фильерой механизмом 26 вертикального перемещения.

Шликер, вытекая из фильеры 4, попадает на движущуюся подложку2 слоем, толщина ко- 25 торого.ограничена зазором между верхней и нижней губками фильеры. Керамическая . пленка после сушки в камере 6 и охлаждения в камере 7 получает необходимые механические и физические свойства и 30 отделяется от технологической подложки, сматывается в рулон на бобину 22 намотки пленки.

Предлагаемая линия предназначена для получения керамических пленок различ-. 35 ной толщины и состава шликера и позволяет.повысить их качество при интенсивном процессе сушки.

Это достигается за счет того, что воздуховоды 9 и нагреватели 8, установленные на 40 камере 6, производят быстрый вывод сушильной камеры на необходимый температурный режим и заключенные в общем теплоиэолирующем кожухе 5 выдерживают стабильный температурный режим сушки 45 пленки, Перфорированная перегородка 11, установленная на верхней части камеры 6, с рассекателями 13 горячего воздуха позволяют обеспечить равномерный поток возду,ха перпендикулярно напраавпенного к 5 площади отливаемой пленки, причем горя.чий воздух, обтекая стол 15 сушки в зазоры между стенками камеры равномерно прогревают его, что создает необходимую тем. пературу сушки пленки по толщине с двух 5 сторон, Регулировочные опоры 14, на кото1. Линия литья керамической пленки, включающая питьевую фильеру, стол формирования и сушки пленки, сушильную каО меру с воздуховодами, нагреватели,: механизмы размотки рулона,технологической подложки, ее протяжки и намотки в рулон отлитой пленки, о т л и ч а ю щ а я.с я тем; что, с целью повышения качества плен5 ки и интенсификации процесса сушки, линия снабжена осевыми вентиляторами, холодильником воздуха, с фильтром и охаа-.

".тывающим стол формирования и сушки пленки теплоизолирующим кожухом, разделенным перегородкой на две секции, в одной из которых размещены рсевые вентиляторы и холодильник воздуха,с фильрых установлен стол 15 сушки, позволяют

M3M8HATb зазор между нижней стенкой ка меры 6 и столом сушки при подборе опти- мального режима сушки. Горячий воздух; насыщенный парами растворителя шликера, отсасывается вытяжными воздуховодами 16, установленными под столом 15 сушки по оси камеры 6 и не вызывает концентрацию воздушного потока в зоне пленки и поводки (коробления) ее, что наблюдается при боковой вытяжке воздуха.

Такая система позволяет создать равномерный температурный градиент сушки пленки, Высушенная керамическая пленка, перемещаясь на подложке 2, проходит камеру

7 охлаждения, приобретает оптимальную температуру дпя отделения от технологической подложки 2 и легко наматывается в рулой :на бобину 22 намотки. Камера 7 охлаждения с заданным температурным ре-. жимом позволяет сократить длину линии литья и обеспечить качественное отделение сухой керамической пленки от, подложки, избежать растяжения пленки и релаксации напряжения в ней.

Для качественного и интенсивного процесса питья пленки необходим постоянный статический напор шликера в фильере, что обеспечивается подачей шликера через, гильзу 27 в напорный бачок 25 по сигналу датчика 30 уровня.

Для питья пленки разной толщины, на-. пример 0,5 — 1,5 мм, разного состава и вязкости шликера, необходим соответственно различный статический напор, что обеспе-: чивает данная конструкция напорного бачка.

Таким образом, использование предла- .. гаемой линии обеспечивает повышение ка- . чества керамической пленки, а также интенсифицирует процесс сушки, позволяет увеличить производительность, повысить выход годной продукции на 15 при достаточно широком диапазоне отливаемых керамических пленок, как по толщине, так и по составу.

Формула изобретения

1747275

Фиг У тром, а в другой секции установлена сушильная камера, на верхней части которой установлены нагреватели и воздуховоды, при этом камера снабжена перфорирован.ной перегородкой с рассекателями горячего воздуха, а в нижней части кожуха установлены соединенные со столом формирования и сушки пленки регулируемые опоры и вытяжные воздуховоды.

2. Линия по п.1, отличающаяся тем, что она снабжена напорным бачком

5 шликера с механизмом его вертикального перемещения, снабженным гильзой для нижней подачи шликера.

1747275

Редактор Ю.Середа

Заказ 2463: Тираж . Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ. СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 10I;, Составитель С.Поймалова

-Техред ММоргентал

Корректор О.Сопке: