Жидкостно-капельный диффузионный насос

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (505 F 04 F 9/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (61) 1652675 (21) 4639765/29 (22) 19.01.89 (46) 07.08.92. Бюл. М 29 (75) С.Г, Аппель (56) Авторское свидетельство СССР

N. 1652675, кл. F 04 F 9/00, 1988; (54) ЖИДКОСТНО-КАПЕЛЬНЫЙ ДИФФУ

ЗИОННЫЙ НАСОС,, Ы.) „„1753О59 А2

2 (57) Использованйе: в качестве самостоятельных низко- и высоковакуумных насосов.

Сущность изобретенйя: распылитель выполнен в виде магнитострикционного вибратора 1 с приводом 2 от генератора электрического тбка-ультразвуковой частоты, 1 ил.

1753059.

10

20

40

50

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к насосам, предназначенным для применения в самых разнообразных отраслях и направлениях промышленности и науки - от выпуска строительных материалов и пищевых продуктов до электроники в качестве самостоятельных низковакуумных и высоковакуумных насосов, и является усовершенствованием насоса по авт. св.,1652675, Известен насос, содержащий корпус, внутренний диаметр которого в промежуточной его части больше, чем диаметр корпуса в той части, где имеется отверстие для выпуска газа, а также в той части корпуса, которая заключает в себе нижнюю часть пароэжекторного устройства и в котором, по крайней мере, часть промежуточного участка корпуса располагается над уровнем верхнего сопла пароэжекторного устройства и создает преграду на пути потока газа, причем эта преграда образует с корпусом насоса зазор с кольцевым сеченйем для потока газа от отверстия для впуска газа к йароэж екторному уст ройству. Вышеуп омянутая преграда взаимодействует с прилегающйми частями корпуса, создавая охлаждаемый жидкостью отражатель для предотвращения обратного течения или обратной миграцйи молекул пара от внутренней части корпуса насоса к отверстию для выпуска газа, в-котором внутренний диаметр отверстия для впуска газа больше максимального вйешнего. диаметра пэроэжекторного устройства, за счет чего это"устройство без 35 труда может быть вынуто через отверстие.

Известен насос, содержащий корпус и размещенный в нем по оси паропровод с соплом, внутренняя поверхность корпуса на уровне сопла выполнена криволинейной, обращена к соплу вогнутой стороной и имеет высокую отражательную способность, Внутренняя поверхность может быть выполнена параболической.

Известно техническое решение, в котором распылитель выполнен в виде магнитострикцйонного вибратора.

Известен насос, содержащий вертикальный корпус с рабочей камерой, жидкостной ванной и выпускным патрубком в его нижней части и впускным — в верхней, и устройство для подачи, которое выполнено в виде источника высокого давления, связанного трубопроводом с жидкой ванной, и по меньшей мере одного ряда механических распылителей, установленных в стенке корпуса на уровне впускного патрубка и сообщенного с выходом источника высокого давления. Механический распылитель выполнен в виде цилиндрического стакана с тангенциэльным подводящим каналом и откоытого со стороны рабочей камерой, Недостатком известного насоса является невозможность повышения быстроты откачки путем увеличения впускного отверстия и сечения проточной части.

Цель изобретения — снижение энергозатрат и увеличение пропускной способности.

На чертеже изображен предлагаемый насос.

Насос содержит распылитель, выполненный в виде магнитострикционного вибратора 1 с приводом 2 от генератора :: электрического тока ультразвуковой частоты.

Насос позволяет получить очень высокую объемную быстроту откачки и коэффи-, циент сжатия откачиваемого газа при сравнительно небольших размерах насоса, Эффект диффузии ойределяется использованием отдельных капель рабочей жидкости, движущихся с большой скоростью в направлении откачки, передающих это движение молекулам откачиваемого газа и предотвращающих их обратйый поток.

Насос работает следующим образом.

Струя рабочей жидкости под воздействием магнитострикционного вибратора 1, возбуждающего ультразвуковые колебания, распадается на капли, Таким образом, магнитострикционные вибраторы 1 обеспечивают дробление рабочей жидкости, которая поступает непрерывно. Капли рабочей жидкости распространяются по всему сечению проточной части насоса и увлекаются в направлении откачки.

Формула изобретения

Жидкостно-капельный диффузионный насос йо авт. св. N 1652675, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью снижения энергозатрат и увеличения пропускной способности распылитель выполнен в виде магнитострикционного вибратора с приводом от генератора электрического тока ультразвуковой частоты.