Способ изготовления гермовводов диффузионной сваркой

 

Изобретение относится к сварке давлением с подогревом, в частности к диффузионной сварке в вакууме, и может найти применение в электронной промышленности , приборостроении и машиностроении. Цель изобретения - повышение качества сварного соединения и улучшение эксплуатационных характеристик гермовводов. Окно вывода энергии гермоввода изготавливают из фторопласта-4, которое соединяют с металлическим корпусом диффузионной сваркой , причем нагрев осуществляют до температуры 673-678 К, сдавливают усилием 1,5-2 МПа в течение 10-15 мин и охлаждают со скоростью 0,1 К/с. 1 та&л., 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛ ИСТИЧ Е СКИХ

РЕСПУБЛИК (я)s В 23 К 20/14

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ"

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4777826/08 (22) 05.01.90 (46) 15.09.92. Бюл. М 34 (71) Красноярский институт космической техники — завод-втуз (72) Л.Г,Семичева, В,Г.Новиков, А,В.Лаврищев и А,В,Пересыпкин (53) 621.791.66(088.8) (56) Конюшков Г.В. и др, Диффузионная сварка в электронике, M., Энергия, 1974, с.

114 — 117. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ГEPMOBВОДОВ ДИФФУЗИОННОЙ СВАРКОЙ

Изобретение относится к сварке давлением с подогревом, в частности к диффузионной сварке в вакууме, и может найти применение в электронной промышленности, приборостроении и машиностроении, Известны способы изготовления гермовводдов для СВЧ техники путем склеивания или пайки металлов со стеклом и керамикой, Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является способ, при котором в металлическом корпусе гермоввода устанавливают окно вывода энергии, детали сдавливают, нагревают и проводят изотермическую выдержку с последующим охлаждением до нормальной температуры.

Недостатками данного способа являются невысокие эксплуатационные характеристики гермовводов и низкое качество сварного соединения ввиду использования пластического материала(меди), „„Б ) „„1761413 А1 (57) Изобретение относится к сварке давле- нием с подогревом, в частности к диффузионной сварке в вакууме, и может найти применение в электронной промышленности, приборостроении и машиностроении, Цель изобретения — повышение качества сварного соединения и улучшение эксплуатационных характеристик гермовводов. Окно вывода энергии гермоввода изготавливают из фторопласта-4, которое соединяют с металлическим корпусом диффузионной сваркой, причем нагрев осуществляют до температуры 673 — 678 К, сдавливают усилием

1,5 — 2 МПа в течение 10 — "15 мин и охлаждают со cêîðoñòûî 0,1 К/с. 1 табл., 1 ил, Целью изобретения является повышение качества сварного соединения и улучшение эксплуатационных характеристик гермовводов, Поставленная цель достигается тем, что в известном способе изготовления гермовводов диффузионной сваркой, при котором в металлическом корпусе гермовводе устанавливают окно вывода энергии, детали сдавливают, нагревают и осуществляют изотермическую выдержку с последующим охлаждением до нормальной температуры, окно вывода энергии изготавливают из фторопласта-4, нагрев осуществляют до температуры 673...678 К, сдавливают усилием

1,5...2 МПа в течение 10...15 мин, охлаждают со скоростью 0,1 К/с.

Сравнение предлагаемого технического решения с прототипом позволило установить соответствие его критерию "новизна".

При изучении других известных технических решений в данной области техники

1761413 признаки, отличающие предлагаемое решение от прототипа, не были выявлены и поэтому они обеспечивают предлагаемому техническому решению соответствие критерию "существенные отличия".

На чертеже показана реализация предлагаемого способа.

Предлагаемый способ диффузионной сварки изделий осуществляется следующим образом. На основание камеры 1 установки для диффузионной сварки устанавливают термоизоляционные основания 2, на которые устанавливают нижнюю часть приспособления 3, в котором закреплен каркас гермоввода 4 с помещенной фторопластовой лентой 5, На ленту 5 наносят антиадгезионное вещество 6 и устанавливают направляющую часть приспособления 7, в которое помещают пуансон 8. Устанавливается радиационный нагреватель 9, закрывают камеру установки для диффузионной сварки и создают вакуум 4 10 — 5 10 Па или защитную атмосферу. Технологический процесс диффузионной сварки ведут на следующих режимах: температура сварки 673—

678 К, давление 1,5 — 2 МПа, время сварки

10 — 15 мин. После изотермической выдержки изделие охлаждали со скоростью 0,1 к/с до нормальной температуры.

Пример 1, Сваривали узлы из ленты фторопласта-4 и сплава АМг6. Металлические образцы изготавливали в форме диска диаметром 18 мм, толщиной 1,5 мм, с отверстием в середине диаметром 3,6 мм, Подложку изготавливали из ленты фторопласта-4 толщиной 0,2 мм, которая имела форму диска диаметром 4,6 мм.

Предварительно поверхность под сварку из сплава АМг6 подвергали химической очистке, обезжиривали бензином Б-70 и обезвоживали спиртом-ректификатом, Детали помещали в специальное приспособление, которое затем помещали в вакуумную камеру диффузионной установки

СДВУ вЂ” 50, с остаточным давлением 5 10

Па, нагревали радиационным нагревателем

5 дотемпературы 675 К, прикладывалидавление 1,8 МПа, выдерживали 12 мин и охлаждали до нормальной температуры со скоростью 0,1 К/с.

Пример 2. Аналогично приведенному

10 примеру 1 сваривали узлы из фторопласта-4 и сплава 29НК при следующих технологических режимах; разрежение 6 10 Па, Т =

=674 К, давление Р = 1,9 МПа, время r= 13 мин и охлаждали со скоростью 0,1 К/с до

15 нормальной температуры.

Результаты испытания изготовленных гермовводов при различных режимах сварки приведены в таблице.

Сваренные образцы испытывали на от20 рыв, вакуумную плотность и термостойкость. Результаты испытаний показали, что сваренные гермовводы имеют прочность

12 — 15 МПа, вакуумную плотность не хуже 1

10 мм л/с и выдерживают более 20 циклов

25 в интервале температур 213 — 573 К.

Формула изобретения

Способ изготовления гермовводов диффузионной сваркой, при котором в металлическом корпусе гермоввода устанавливаю

30 окно вывода энергии, детали сдавливают нагревают и осуществляют изотермическук выдержку с последующим охлаждением дс нормальной температуры, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышени

35 качества сварного соединения и улучшени эксплуатационных характеристик гермов водов, окно вывода энергии изготавливаю; из фторопласты-4, нагрев осуществляют дс температуры 673-678 К, сдавливают усили

40 ем 1,5 — 2 МПа в течение 10-15 мин, охлажда ют со скоростью 0,1 К/с, 1761413

Составитель А.Лаврищев

Редактор Н.Сильнягина Техред М.Моргентал Корректор Н.Ревская

Заказ 3216 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул,Гагарина, 101