Кассета для герметизации полупроводниковых приборов

 

Сущность изобретения: графитовая кассета выполнена с гнездами для размещения собранных полупроводниковых приборов так, что диаметр каждого гнезда превышает диаметр стеклянного корпуса прибора на 1 - 1,4 мм. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)5

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (54) КАССЕТА ДЛЯ ГЕРМЕТИЗАЦИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЪ|Х ПРИБОРОВ (57) Сущность изобретения: графитовая кассета выполнена с гнездами для размещения собранных полупроводниковых приборов так, что диаметр каждого гнезда превышает диаметр стеклянного корпуса прибора на 1 — 1,4 мм, 1 ил. фиксация стеклянного корпуса обеспечивается за счет смачивания мягким стеклом металлических деталей прибора. В результате во время сборки приборов стекло не касается графита отверстий, что исключает прилипание корпусов к кассете и тем самым повышает выход качественных приборов.

Другим преимуществом изобрстения является то, что в процессе имплазионной сборки приборов рабочий газ имеет свободный и равномерный доступ к боковой поверхности корпуса прибора, что улучшает условия проведения имплазионного процесса и тем самым повышает выход годных приборов, На чертеже представлена кассета с собранным прибором.

Кассета состоит из основания 1, верхней пластины 2, втулок 3, которые фиксируют детали 4 собранного прибора и пластины — излучателя 5 толщиной, равной длине стеклянного корпуса прибора с отверстиями 6, обеспечивающими кольцевой зазор 7 между стеклянной трубкой 8 и пластиной 5, равный (0,5 — 0,7) мм.

Возможен вариант кассеты с объединением в одно целое основания 1 и пластиныизлучателя 5 без нарушения центровки отверстий, 0

° Ь

О

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4860833/21 (22) 16.08.90 (46) 23.09.92. Бюл. ¹ 35 (71) Опытно-конструкторское бюро при Ташкентском заводе электронной техники им.

B.ÈËåíèíà (72) Г.С.Поляков (56) Заявка Японии N 52-41182, кл. Н 01 L

23/08, 1977.

Изобретение относится к области полупроводникового приборостроения, в частности изготовления технологической оснастки для сборки имплазионных ) иодов и столбов, и может быть использовано в электронной промышленности, Целью изобретения является повышение качества и выхода годных при изготовлении имплазионных приборов.

Сущность изобретения заключается в том, что в кассете для сборки имплазионных полупроводниковых приборов, состоящей из графитового корпуса-бруска, в котором выполнены ячейки для загрузки деталей и стеклянных корпусов приборов, между графитовой кассетой и боковой поверхностью стеклянного корпуса прибора создается равномерный кольцевой зазор, равный 0,5 — 0,7 мм.

В графитовой кассете отверстие для сборки корпуса прибора выполняется большего диаметра, чем внешний диаметр стеклянной втулки, обеспечивая тем самым зазор между ними. В процессе сборки приборов графитовая кассета нагревается и за счет теплового излучения с боковой поверхности отверстий кассеты равномерно нагревает корпус прибора до необходимой температуры размягчения стекла. При этом. Ы 1764091 А1

1764091

Составитель В, Псаломщиков

Техред М,Моргентал Корректор Н.Ревская

Редактор

Заказ 3459 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

При уменьшении зазора между кассетой и корпусом прибора до величин<0,5 мм увеличивается вероятность прилипания размягченного стекла к боковой поверхности отверстия 6 кассеты из-за наличия неизбежных погрешностей в центровке деталей прибора относительно цилиндрической поверхности излучателя и незначительного увеличения диаметра корпуса за счет усадки стекла. В случае прилипания стекла к кассете приборы приходят в негодность.

Если зазор между кассетой и корпусом выполнен 0,7 мм, будет снижаться мощность теплового потока на поверхности корпуса прибора из-за увеличения хода луча, В результате снижается температура сборки, что приводит к снижению выхода качественных приборов.

Примером применения предлагаемой изобретением кассеты является изготовление имплазионного диода с внешним диаметром стеклянного капилляра — 2,9 мм и длиной корпуса — 4 мм.

В процессе сборки приплавления стекла с кассетой не наблюдается и стекло равномерно по всему периметру обжимает сборку диода. При этом выход годных по

5 корпусам приближается к 100%.

Изобретение позволяет производить имплазионную сборку различных диодов и столбов, корректируя толщину пластины-излучателя в соответствии с длиной корпуса

10 прибора.

Формула изобретения

Кассета для герметизации полупроводниковых приборов, содержащая графито15 вый корпус, выполненный с цилиндрическими ячейками для размещения деталей приборов со стеклянными цилиндрическими корпусами, о т л и ч а ю щ ая с я тем, что, с целью повышения качества

20 и выхода годных при изготовлении имплазионных приборов, диаметр каждой из цилиндрических ячеек выбран превышающим внешний диаметр стеклянного корпуса прибора на 1 — 1,4 мм.