Интерферометр для контроля формы вогнутых оптических поверхностей вращения
Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для контроля формы вогнутых оптических поверхностей вращения. Целью изобретения является повышение точности контроля. Пучок лучей, вышедший из лазера,преобразуют в параллельный пучок лучей, который светоделителем разделяется на два пучка: эталонный и рабочий. В рабочей ветви расположен компенсатор , выполненный из афокального и положительного менисков, и контролируемая поверхность, отразившиеся от которой лучи света образуют рабочий волновой фронт. О качестве контролируемой поверхности судят по измерениям интерференционной картины, которая возникает в результате взаимодействия рабочего и эталонного волновых фронтов. 1 ил.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (19) (11) ni)s G 01 В 11/24
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4879637/28 (22) 01.11.90 (46) 15,10.92.Бюл.М 38 (75) Н.Н.Кулакова и И.М,Багитов (56) Аганин А.В.Влияниедисторсии регистрирующей ветви интерферометра на точность контроля оптических деталей. Оптикомеханическая промышленность, 1986, М 6, с.45-48.
Пуряев Д.Т., Горшков B.À. Интерферометр ИКАП-2 для контроля качества астрономических зеркал. Оптикомеханическая промышленность, 1980, М 12, с.17-20. (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ
ФОРМЫ ВОГНУТЫХ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ВРАЩЕНИЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для контроля
Предлагаемое изобретение относится к измерительной технике, предназначено для контроля формы вогнутых оптических поверхностей вращения.
Известны интерферометры для контроля формы вогнутых оптических поверхностей вращения. Общий недостаток интерферометров заключается в том, что интерференционная картина, наблюдаемая в плоскости регистрации, искажена дисторсией рабочей ветви.
Наиболее близким к предлагаемому интерферометру по технической сущности и решаемой задаче является интерферометр
ИКАП-2 для контроля качества астрономических зеркал. Интерферометр содержит осветительную, эталонную, регистрирующую ветви, рабочую ветвь с компенсатором и разделительный элемент. формы вогнутых оптических поверхностей вращения, Целью изобретения является повышение точности контроля. Пучок лучей, вышедший из лазера, преобразуют в параллельный пучок лучей, который светоделителем разделяется на два пучка: эталонный и рабочий. В рабочей ветви расположен компенсатор, выполненный из афокального и положительного менисков, и контролируемая поверхность, отразившиеся от которой лучи света образуют рабочий волновой фронт. О качестве контролируемой поверхности судят по измерениям интерференционной картины, которая возникает в результате взаимодействия рабочего и эталонного волновых фронтов. 1 ил.
Основные недостатки известного интерферометра заключаются в следующем, Использование в регистрирующей ветви стандартного фотообъектива, который не компенсируетдисторсию рабочей ветви интерферометра, приводит к искажению интерференционной картины в плоскости регистрации, В рабочей ветви интерферометра на компенсатор поступает сферический волновой фронт, Поэтому перед компенсатором стоит высококачественный объектив, формирующий сферический волновой фронт, что накладывает дополнительные требования к точности изготовления объектива и юстировке рабочей ветви инте рферометра.
Целью изобретения является повышение точности контроля и упрощение конструкции.
1768965
Составитель Н. Кулакова
Техред M.Ìàðãåíòàë Корректор П, Гереши
Редактор Н. Соколова
Заказ 3638 Тираж Подписное
ВНИИПИ Гасударственного комитета па изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул,Гагарина, 101
Указанная цель достигается тем, что в рабочей ветви интерфераметра установлен кампенсатор, выполненный из афокального и положительного менисков, установленных с зазором и ориентированных таким образам, что их вогнутые поверхности обращены к светоделителю, а объектив регистрирующей ветви выполнен в виде пласковыпуклой линзы с фокусным расстоянием 0,7...0,8 фокусного расстояния кампенсатора и ориентированной так, что ее выпуклая поверхность обращена к регистратору интерференционной картины.
На чертеже показан интерферометр, схема ега применения и хад лучей в ием, Здесь; 1 — осветительный блок„ 2 — светоделитель, 3 — компенсатар, 4 — контролируемая поверхность, 5 — эталонное плоское зеркала, 6 — объектив, 7 — плоскость регистрации.
Интерфераметр действует следуюшим образом.
Осветительный блок 1 преобразует пучок лучей, вышедший иэ лазера, в параллельный пучок лучей требуемого диаметра, который поступает на светаделитель 2 и разделяется на два пучка. Один из иих идет в эталонную ветвь интерфераметра, в которой расположены кампеисатар 3 и контролируемая поверхность 4. Лучи света, отразившиеся ат эталонного плоского зеркала 5, абразуюг эталонный волновой фронт. Лучи света, отразившиеся от контролируемой поверхности, образуют рабочий волновой фронт. О качестве контролируемой поверхности 4 судят по измерениям
5 интерференционной картины, которая возникает в результате взаимодействия рабочего и эталонного волновых фронтов, Объектив 6 проецирует интерференционную картину на плоскость регистрации 7.
10 Формула изобретения
Интерферометр для контроля формы вогнутых оптических поверхностей вращения, содержащий последовательно установленные осветитель и светоделитель
15 светового потока на рабочий, в котором установлен компеисатор, и эталонный с размещенными в нем зеркалом и последовательно установленные объектив, оптически связанный с зеркалом и кампен20 саторам через светоделитель, и регистратор интерференционной картины, о т л и ч а юшийся тем, чта, с целью повышения точности контроля, кампенсатар выполнен из афокальиаго и положительного мени25 скав, установленных с зазорам и ориентированных так,что их вогнутые поверхности обращены к светаделителю, а объектив выполнен в виде пласкавыпуклай линзы с фокусным расстоянием 0,7-0,8 фокусного
39 расстояния кампенсатора и ориентированной так, что ее выпуклая поверхность обращена к регистратору,
