Патент ссср 181196
I8II96
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Сова Соеетсийз
Соыизлистичесииз
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 19.III.1964 (№ 889065/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 15.llV.1966. Бюллетень № 9
Дата опубликования описания 2Х1.19бб
Кл. 2ie, 36/10
21g, 37/10
МПК G Olr нюх
УДК 537.531:537.533,33 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министрое
СССР
С11ОСОВ ИНДИКАЦИИ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО РАЗРЯДА
Среди многочисленных факторов, влияющих на разрешающую способность электронного микроскопа, существенным является стабильность высоковольтного источника. Одной из причин нестабильности высокого напряжения, подаваемого на электродную пушку микроскопа или аналогичного прибора, является возникновение разряда в пушке, (например, вследствие загрязнения электродов и изолятора). Величина тока разряда, существенно снижающего разрешение, примерно на два порядка меньше общего тока высоковольтного источника, и поэтому ток не может быть обнаружен непосредственно по прибору, измеряющему общий ток. Кроме того, нестабильность общего тока высоковольтного выпрямителя может быть вызвана не только разрядом в пушке, но и рядом других причин, Таким образом, обнаружение нестабильности тока пушки не дает достаточных сведений о наличии разряда.
Для повышения надежности индикации разряда и оценки тока разряда измеряют интенсивность рентгеновского излучения, возникающего при разряде. Для измерения интенсивности рентгеновского излучения может быть использована стандартная дозиметрическая аппаратура, чувствительная к излучению с соответствующей энергией. При этом датчик дозиметра (например, счетчик частиц) должен быть расположен около пушки так, чтобы тормозное рентгеновское излучение основного электронного пучка (если пучок гделибо ограничивается) не попадало на датчик. Датчик может быть расположен внутри корпуса пушки или вне его. В последнем случае, если в конструкции пушки не предусмотре»о окно для выхода излучения, чувствительность способа обнаружения зависит от поглощения излучения корпусом пушки, что должно быть учтено при измерениях.
15 Предмет изобретения
Способ индикации электрического разряда и оценки его величины в электронных пушках электронных микроскопов и других аналогичных приборах, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности индикации, измеряют интенсивность тормозного рентгеновского излучения разряда, причем датчик, чувствительный к рентгеновскому излучению, располагают с наружной или внутренней стороны корпуса пушки так, чтобы тормозное излучение основного пучка электронов на него не попадало.
