Способ измерения толщинб1 и скорости нанесения пленок
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт, свидетельства №
Заявлено ОЗ.IV.1965 (№ 1002173/25-28) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 25Х.1966. Бюллетень ¹ 11
Дата опубликования описания 22.VII.1966
K,ë. 42b, 12/03
Комитет по делам изобретекий и открытий при Совете Министров
СССР
МПК G Olb
УДК 531.7:621.9.08:531. .717.1:531.767 (088.8)
--.
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ И СКОРОСТИ
НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК
Известные способы контроля скорости нанесения и измерения толщины пленок,,наносимых на основу, заключаются в применении двух кРисталлических резонаторов, каждый из которых задает частоту соответствующего генератора. При этом один из кристаллических резонаторов является эталонным, а второй (рабочий) помещен в контролируемом потоке.
По мере того как на рабочий кристаллический резонатор напыляется пленка испаряемого материала, возрастает его эффективная масса и, следовательно, уменьшается его собственная частота, а собственная частота эталонного кристаллического резонатора (при тех же температурных условиях) не изменяется.
Частоты обоих генераторов смешиваются в смесительном блоке, который выделяет разностную частоту.,Эта разностная частота и служит мерой толщины слоя пленки, напыленной на рабочий кристалл.
Однако известные способы обладают рядом недостатков, основными из которых являются следующие:
1. Значительный уход резонансной частоты измерительного кристалла при его нагреве.
2. Ограничены пределы измерения толщин пленок.
Для расширения диапазона измеряемых толщин и получения информации в удобном для автоматизации процесса виде предлагается контролируемую часть потока .наносимого материала, образующего пленку, пере5 ключать по достижении заданной части требуемой толщины с одного резонатора на другой и обратно, при этом о толщине пленки судят по числу переключений, а о скорости ее нанесения — по частоте переключений.
10 Предлагаемый способ заключается в следующем.
Кварцедержатель с кристаллами располагается в контролируемой части потока напыляемого материала и снабжается специаль15 пым устройством — электромагнитной заслонкой, позволяющей поочередно направлять поток напыляемого материала то на первый, то на второй кристалл (кристаллы должны быть идентичны по своим электроме20 ханическим и температурным параметрам).
Каждый из кристаллических резонаторов задает частоту соответствующего генератора.
Частоты обоих генераторов смешиваются в смесительном блоке, который выделяет раз25 постную частоту, являющуюся мерой толщины одного цикла напыления между двумя переключениями электромагнитной заслонки из одного положения во второе.
Поскольку процесс переключения потока
30 напыления происходит достаточно часто (в
182339
Составитель Г. Ф, Корчагина
Редактор Б. С. Панкина Текред Г. Е. Петровская Корректоры; М. П. Ромашова и 3. М. Райннна
Заказ 1939!11 Тираж 1100 Формат бум, 60>(90 /s Объем 0,1 изд. л. Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография. пр. Сапунова, 2 сравнении с,изменением их температуры), это позволяет создать для обоих кристаллов практически идентичные температурные и электромеханические условия работы.
Предмет изобретения
Способ, измерения толщины и скорости нанесения пленок в процессе их:нанесения на основу с помощью двух пьезоэлектрических резонаторов, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых толщин и получения информации в дискретном виде, удобном для автоматизации процесса, контролируемую часть потока наносимого материала, образующего пленку, переключают по достижении заданной части требуемой толщины с одного резонатора на другой и обратно, прои этом о толщине, нанесения пленки судят:по числу переключений, а о скорости
10 нанесения — по частоте переключений.
