Патент ссср 178495
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Х АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
l78495
Сом Советскик
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 19.X 1.1964 (№ 929780i25-28) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 22.1.1966. Бюллетень ¹ 3
Дата опубликования описания 2.111.1966
Кл. 42Ь, 12ез
МПК G 01Ь
УДК 531.717.55:621., 357.76 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Авторы изооретения
Я. И. Спиваков и В. В. Пузан
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ХИМИЧЕСКИХ
ПОКРЫТИЙ В ПРОЦЕССЕ ОСАЖДЕНИЯ
Известны устройства для контроля толщины химических покрытий в процессе осаждения по изменению сопротивления эталонной проволоки, находящейся в ванне вместе с обрабатываемыми деталями. Они содержат датчик, в котором установлена неизолированная эталонная проволока, включенная в мостовую измерительную схему, в измерительном стрелочном приборе которой помещено фотореле для сигнализации заданного положения стрелки прибора.
Предлагаемое устройство отличается от известных тем, что для уменьшения погрешностей измерений путем температурной компенсации в датчике установлена включенная в мостовую измерительную схему покрытая изоляцией компенсационная проволока тех же размеров и из того же материала, что и эталонная проволока.
На фиг. 1 представлена конструкция датчика; на фиг. 2 — мостовая измерительная схема.
Устройство содержит датчик, в корпусе 1, которого находятся неизолированная эталон-, ная проволока 2 и покрытая изоляцией ком-, пенсационная проволока 8, измерительный стрелочный прибор 4 и мостовую измерительную схему, в которую включены проволоки 2 и 3, прибор 4, потенциометры 5, б и 7 и сопротивления 8, 9, 10, 11 и 12.
Для сигнализации о положении стрелки прибора и, следовательно, о заданной толщине покрытия вблизи нуля шкалы прибора установлено фотореле (не показано) .
5 Зталонная и компенсационная проволоки имеют одинаковые размеры, выполнены нз того же материала, что и обрабатываемые детали, и соединены кабелем с мостовой измерительной схемой.
10 Устройство работает следующим образом.
Перед началом работы потенциометром 7 устанавливают входное напряжение питания измерительной схемы, соотвествующее данному виду покрытия. Затем разрывают цепь по15 тенциометра 5 и потенцнометром б устанавливают баланс моста, после чего при помощи потенциометра 5 по шкале прибора, отградунрованной в микронах, ставят стрелку прибора в положение, соответствующее заданной тол20 щине покрытия, т. е. устанавливают разбаланс моста, соответствующий заданной толщине покрытия. Потом датчик с проволоками
2 и 8 помещают в ванну для химического покрытия деталей и проволоки 2. По мере уве25 личения покрытия на проволоке 2 сопротивление последней изменяется, вследствие чего разбаланс моста уменьшается и стрелка прибора приближается к нулю шкалы. Когда толщина покрытия достигает заданного зна30 чения, наступает разбаланс моста, стрелка l 78495
Предмет изобретения
Фиа 2
Фиг. 1
Составитель В. )Кук
Редактор Л. М. Жаворонкова Техред А. А. Камышникова 1(орректоры: О. Б. Тюрина и Е. Д. Курдюмова
Заказ 411/9 Тираж 1050 Формат бум. 60;(90 /а Объем 0,21 изд. л. Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, д. 2 прибора устанавливается на нуле шкалы и включает фотореле, которое автоматически подает сигнал о том, что толгцина покрытия достигла заданного значения.
Температурная компенсация погрешностей измерений осуществляется вследствие того, что проволоки 2 и 8 имеют одинаковое сопротивление до начала процесса осаждения и одинаковую температуру в процессе осаждения, причем сопротивление проволоки 8, защищенной изоляцией, не изменяется в процессе осаждения покрытия на проволоке 2. Это приводит к тому, что изменение величины разбаланса мостовой схемы в процессе осаждения не зависит от температуры проволоки 2 и определяется только сопротивлением покрытия проволоки 2, соответствующим толщине покрытия.
Устройство для контроля толщины химических покрытий в процессе осаждения по изме5 нению сопротивления эталонной проволоки, находящейся в ванне вместе с обрабатываемыми деталями, содержащее датчик, в котором установлена неизолированная эталонная проволока, включенная в мостовую измери10 тельную схему, в измерительном стрелочном приборе которой установлено фотореле для сигнализации заданного положения стрелки прибора, отличающееся тем, что, с целью уменьшения погрешностей измерений путем
15 температурной компенсации, в датчике установлена включенная в мостовую измерительную схему покрытая изоляцией компенсационная проволока тех же размеров и из того же материала, что и эталонная проволока,
