Двухлучевой интерферометр длясмещений

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сова Советскик

Социалистическик

Республик

И „ -" f — — — I

Кл. 42h, 34/11

42Ь, 8 02

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 27Л !!!.1965 (№ 1024917/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

МПК 6 024

С 01Ь

У1К 531 715 1(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Мииистров

СССР

Опубликовано 20.Х.1966. Бюллетень № 21

Дата опубликования описания 23.XI. 1966

Автор изобретения

Заявитель

Н. В. Трофимова

Всесоюзный научно-исследовательский институт метрологии имени Д. И. Менделеева

ДВУХЛУЧЕВОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МАЛЪ|Х

СМЕЩЕНИЙ

Известны двухлучевые интерферометры для измерения длин и перемещений, построенные по схеме Майкельсона с использованием фотоэлектронного устройства для счета интерференционных полос.

Описываемый интерферометр отличается от известных тем, что в одну из его ветвей введена система зеркал, состоящая из подвижных зеркал, связанных с объектом измерения, и неподвижных зеркал.

Предложенный интерферометр повышает чувствительность и точность измерения смещений путем многократного отражения пучка лучей.

На чертеже изображена принципиальная схема предлагаемого интерферометра и ход лучей.

Пучок лучей от источника 1 монохроматического света проектируется кондепсором 2 на щель 8, расположенную в фокальной плоскости объектива 4. Параллельный пучок разделяется светоделительной пластиной 5 на две ветви и !!.

В ветви расположено эталонное зеркало 6, г ветви !! — система зеркал, состоящая из подвижных зеркал 7 и 8 и неподвижного зеркала 9. Пучок лучей, отражаясь от зеркала 7, связанного с подвижной системой, испытывает многократные отражения между зеркалами 7 и 9 и после отражения от опорного зеркала 8, возвращается в светоделительпую пластину 5, интерферируя с пучком лучей первой ветви.

Зеркала 7 и 8 могут быть параллельные или установлены под некоторым углом один к другому и к ходу лучей, ооеспсчивающим требуемое число отражений.

Интерференционная картина может наблюдаться визуально через объектив 10 и щель 11 или с помощью полупрозрачной пластины 12

1О и поворотного зеркллл 18 проектироваться «а две щели 14 и 15. Для фотоэлектрического преобразования световых потоков в электрIIческие сигналы используются фотоэлектронные умножители 16 и 17. Для преобразования

15 информации в дискретно-цифровую форму служит элсктроннал схема, состоящая из усн. ителей 18 и 19, схемы формирования импульсов 20» реверсивного счетчика импульсов 21.

Малые разности кодл лучей в интерферо20 метре измеряютсл следующим образом.

При перемещешьи зерклл 7 и 8, связанных с объектом измерения, II I неличнII) разность хода лучей в и терферометре изменяется на величину Л:

Л=2И, где k — коэффициент, зависящий от числа отРа» eHIIÉ II PaCIIO.I0»iLIIIIH 38PICB,I.

При перемещении зеркала 7 происходит пе30 ремещение интерференционных полос в на1

1

> ;„. ) L

12 (îctííí..1н И. Неооск.и!нонн! г;(t: в>р li, Дккнр((ге((33 Iс.;рс (А A. Ktt. ((нннико(3((1;оррск:орь: Л. Е. Мнрисич н С. M. ЬЕа3ГИНН

;3н н > 31о(3 I Тн Ран, I i(ll! (1н>13>3((г о, >!. (>„ ()(1 . С)::>е>1 (!.. о н,;, гс 11о,(;!!tc,tttt

IlI IHIillII Ког(н)ег; lt),(,::.;(:.,;.В-f>. г и.:и (,:: . .f: о Г(огоl,"..tet; . 1нннсгро(3 СССР

3>о(, l:,t 1,lt f . II (lttt.îãI«.(!l;!tt. l:Ð. (.(lili!lt н> 2 ол юла гол ш(ой системе относительно пепод-!!II)IiKь1х IIIP, 1cII И и 15, ВВ1зыВа(01ис =.>!Од>л Iпию с(!сто!!ого потока !13. фотокатодах (1)ЗУ.

Чг!Сло интерферег!!I!in!i!!i полос, прогпелIIIII !срез п(ель в каждо)! паправлсг!ии> опре(С,(ЯC! CII !10 !IIC,нн 1 (П ЛI>C0!3 Iiil 13Û. 0 \С Ч(TI1(ого у(тройства.

IlpII персмсfljcl!èè зе рка I;l 7 !Ill i . 2 полу ill! -!

1 К п31"1(оп,сов.

/3 =- 5 ЕС 3,.

l =1

Б(лп:Illllil К (7т которой зависит цена деления II I)ic;):ïcël lfîãо устрои;тва, долж!а оьгп, опРслслсIIB Ра> истом илп спсЦиа II>IIOIl I j) Ilxifровкой. Таким образом, чу! ствительность схе 1ог дЛя ПЗМЕрЕ:-!Ия ПЕрЕМЕщЕНИя ПО СраВНЕШПО с ооы !ной схемой двухлучевого интерфероме-.;.;> по:3ышается ., К раз.

Предмет изобретения, 113ухлу Icllîé пнтерферометр для измере!шя и lлых смсщс н!й> построенный 110 схеме Майк(гп col!i! с использованием фотоэлектpoiliiol п устро icTI3;I для чета иптсрференционных по10 л00, от.ггг«тоигиггс«тем, что, с целью повыше-! ия 1, «ств!и сльностп и точности измерений смсщсгшя путе >I многократного отра)кения лучси, î (II I Iiç ветвей иптерферометра (",1 1(. р)КИт Спстс >1М Зег) КаЛ, СО тоящ > !O II3 Под15 !иж I!>f i 3(p Kil."., с!35! за нных с Об»скто >1 из:>1ср(ч::III, и Ilcllо.(1(пжпых зеркал, е, f

i >»гг

2!