Установка для перемещения тигля в кристаллизаторе

 

ОПИСАН ИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт, свидетельства №

Заявлено 09.Ч!1.1965 (№ 1017130/23-26) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано ЗО,Xl.1966. Бюллетень № 24

Дата опубликования описания 6.1.1967

Кл. 12с, 2

МГ(К В 01d

УДК 542.231.5(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий ори Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

А. С. Капустин, Л. П. Губенко и В. А. Соколов

Заявитель

УСТАНОВКА ДЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ТИГЛЯ

В КРИСТАЛЛИЗАТОРЕ

Работает установка следующим образом. жидкость заливают в сливной бак, откуда ее насосом перекачивают в бак 1, пока поплавок не займет крайнего верхнего положения. Механизмом подъема перемещают шток с державкой в верхней его части в крайнее верхнее положение. При этом верхний конец державки должен выйти из центрального отверстия печи. На державку устанавливают

10 тигель (ампулу) и с помощью механизма подъема шток переводят в крайнее нижнее положение, в результате чего тигель (ампула) занимает определенное место в печи, соответствующее началу процесса кристалли15 зации. После выведения печи на заданный гепловой режим открывают один из вентилей, регулирующих расход жидкости через дозирующие каналы и устанавливают скорость истечения жидкости, соответствующую

20 скорости опускания тигля (ампулы) .

Равномерное и медленное опускание тигля без вибрации способствует получению высококачественных кристаллов.

1. Установка для перемещения тигля в кристаллизагоре, состоящая из баков, поплавка с валом и грузом, механизма подъема, сливЗО ного дозирующего крана и перекачивающего насоса с грубопроводами, отличающаяся тем, В известных установках для перемещения тигля в кристаллизаторе, состоящих из баков, поплавка с валом и грузом, механизма подъема, сливного дозирующего крана и перекачивающего насоса с трубопроводами и арматурой, тигель, закрепляемый в державке на верхнем конце вала в печи кристаллизатора, перемещается неравномерно при медленных скоростях (порядка до 0,1 мм/час) опускания поплавка, вследствие чего получаемые кристаллы не имею высокого качества. Кроме того, в этих установках тигель в печи не может перемещаться при неподвижном поглавке, что снижает производительность установок.

С целью устранения указанных недостатков, в предлагаемой установке груз жестко прикреплен к поплавку и снабжен дозирующими каналами, сообщающимися гибкими шлангами со сливным баком, и вал выполнен полым со штоком, расположенным в ем и имеющим возможность осевого перемещения.

На чертеже схематично изображена описываемая установка. Она состоит из бака 1, сливного бака 2, поплавка 8, к которому жестко прикреплены вал 4 со штоком б и груз б, снабженный дозирующими каналами

7, сообщающимися гибкими шлангами 8 со сливным баком, механизма 9 подъема штока, насоса 10 и шланга 11. Баки 1 и 2 герметизированы и сообщаются друг с другом.

Предмет изобретения

189391

Составитель В. Харакоз

Техред Л. Бриккер

Редактор Л. Л. Ильина

Корректоры: С. Н. Соколова и А, М. Смак

Заказ 4142 10 Тираж 900 Формат бум, 60+90

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2 что, с целью получення высококачественных кристаллов, груз жестко прикреплен к поплавку и снабжен дозирующими каналами, сообщающимися гибкими шлангами со сливным баком.

2. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что, с целью перемещения тигля при неподвижном поплавке, вал выполнен полым и снабжен штоком, смонтированным в нем и имеющим возможность осевого перемещения.

Установка для перемещения тигля в кристаллизаторе Установка для перемещения тигля в кристаллизаторе 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области выращивания кристаллов и может быть использовано в ростовых установках с гибкой подвеской затравки для предотвращения раскачки монокристалла

Изобретение относится к оборудованию, предназначенному для получения крупногабаритных монокристаллов кремния методом Чохральского

Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано при выращивании монокристаллов кремния по методу Чохральского

Изобретение относится к механизмам для вращения и передвижения в установках для выращивания монокристаллов полупроводников по методу Чохральского

Изобретение относится к выращиванию монокристаллов из расплава в температурном градиенте с использованием устройства для передвижения расплава и кристалла

Изобретение относится к технологии высокотемпературной кристаллизации из расплава и может быть использовано для получения крупных монокристаллов

Изобретение относится к электроприводу установки для выращивания монокристаллов по способу Чохральского, содержащим механизм вращения штока, электродвигатель, соединенный с червяком червячной пары, червячное колесо которой охватывает выходной вал механизма вращения штока, механизм поступательного движения штока, включающий электродвигатель, червячную пару, червячное колесо которой одновременно является гайкой винтовой пары, ходовой винт которой передает поступательное движение штоку

Изобретение относится к области получения полупроводников
Наверх