Устройство для подгонки толстопленочных резисторов

 

Использование: в технике микроминиатюризации и технологии радиоэлектронной аппаратуры при изготовлении пленочных прецизионных резисторов. Сущность: устройство содержит источник 1 опорного напряжения , блок 2 сравнения, измеритель 3 сопротивления, АЦП 4, регистр 5 сдвига, мультивибратор 6, п элементов И 7-1... 7-п, п генераторов 8-1...8-п факельного разряда, п рабочих электродов 9-1 ...9-п, подложку 11, причем вершина излучающего конуса каждого из рабочих электродов расположена на оси, перпендикулярной плоскости по,цгоняемого резистора на фиксированном расстоянии от поверхности резистора, уменьшающемся с ростом порядкового номера рабочего электрода. Устройство позволяет повысить точность подгонки и расширить эксплуатационные возможности путем подгонки толстопленочных резисторов в глубину. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

)s Н 01 С 17/22

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ4ЕТЕЛЬСТВУ

О

О фь.

71 (21) 4924776/21 (22) 03,04.91 (46) 07.03.93. Бюл. N 9 (71) Самарский авиационный институт им. акад. С,П.Королева (72) M,Н.Пиганов, Г,П.Шопин, С,Е.Ястребов и Н,И,Буров (56) Авторское свидетельство СССР

N989592,,кл. Н 01 С 17/22, 1981, (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДГОНКИ ТОЛСТОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ (57) Использование: в технике микроминиатюризации и технологии радиоэлектронной аппаратуры при изготовлении пленочных прецизионных резисторов, Сущность: устройство содержит источник 1 опорного на„„5U„„1800485 А1 пряжения, блок 2 сравнения, измеритель 3 сопротивления, АЦП 4, регистр 5 сдвига, мультивибратор 6, и элементов И 7-1„, 7-п, п генераторов 8-1...8-п факельного разряда, п рабочих электродов 9-1...9-п, подложку 11, причем вершина излучающего конуса каждого из рабочих электродов расположена на оси, перпендикулярной плоскости по,гоняемого резистора на фиксированном расстоянии от поверхности резистора, уменьшающемся с ростом порядкового номера рабочего электрода. Устройство позволяет повысить точность подгонки и расширить эксплуатацион ные возможности путем подгонки толстопленочных резисторов в глубину. 1 ил.

1800485

Изобретение относится к микроминиатюризации и технологии радиоэлектронной аппаратуры и может быть использовано при изготовлении прецизионных пленочных резисторов.

Цель изобретения состоит в повышении точности и расширении эксплуатационных возможностей процесса подгонки.

На чертеже представлена блок-схема предлагаемого устройства.

Устройство содержит источник 1 опорного напряжения, блок 2 сравнения, измеритель 3 сопротивления, АЦП 4, регистр 5 сдвига, мультивибратор 6, элементы И 71...7-п, генераторы 8-1...8-п факельного разряда, рабочие электроды 9-1...9-п, подгоняемый резистор 10, подложкодержатель 11.

Измеритель 3 сопротивления подключен первым (сигнальным) входом к подгоняемому резистору, расположенному на подложкодержателе 11. Блок 2 сравнения связан первым и вторым входами с выходами соответственно источника 1 опорного напряжения и измерителя 3 сопротивления.

АЦП 4 подключен входом к выходу блока 2 сравнения. Первый вход каждого элемента

И 7-1...7-п пг дключен к одноименному выходу АЦП 4. Второй вход каждого элемента И

7-1„.7-п подключен к одноименному разрядному выходу регистра 5 сдвига, Выход мультивибратора 6 подключен к входу регистра 5 сдвига и второму (управляющему) входу измерителя 3 сопротивления, Вход каждого из генераторов 8-1...8-п факельного разряда связан с выходом одноименного элемента И 7-1.„7-п, выход — с соответствующим рабочим электродом 9-1...9-п.

Устройство работает по двухтактной схеме следующим образом.

B течение первого такта с помощью измерителя 3 сопротивления измеряется сои роти ален ие подгоняемого резистора 10.

При этом измеритель 3 сопротивления формирует постоянное напряжение, пропорциональное этому сопротивлению, которое сохраняется на протяжении двух тактов, Команда об измерении значения подгоняемого резистора и поддержании неизменным полученного уровня выходного напряжения измерителя 3 сопротивления подается от мультивибратора 6. Его выходные сигналы имеют прямоугольную форму. При "нулевых" уровнях этих импульсов (первый такт) в устройстве для подгонки резисторов происходит измерение сопротивления подгоняемого резистора 10 и формирование пропорционально ему выходного напряжения измерителя 3. Вместе оба эти процесса занимают незначительную часть первого

40 такта, поэтому большая часть первого такта и весь второй такт (т.е, практически два такта) на выходе измерителя 3 сопротивления поддерживается сформированное постоянное напряжение. Измеритель 3 сопротивления, формирующий напряжение, пропорциональное величине сопротивления, может быть реализован на базе мостовой схемы или готового цифрового измерителя сопротивления, В блоке 2 сравнения, реализованном на базе вычитателя напряжения, определяется разность выходных напряжений измерителя 3 сопротивления и источника 1 опорного напряжения (последнее пропорционально предельному значению сопротивления подгоняемого резистора). АЦП 4 формирует цифровой код, пропорциональный его входному напряжению (разностному сигналу на выходе блока 2 сравнения), АЦП 4 содержит и разрядов, причем "вес" каждого последующего разряда, начиная с второго, меньше предыдущего в два раза.

В первоначальный момент работы устройства для подгонки резисторов на первом выходе регистра 5 сдвига формируется логическая "1", которая поступает на второй вход элемента И 7-1, пропуская тем самым на выход элемента И 7-1 сигнал, содержащийся на первом выходе АЦП 4, Если выходной сигнал элемента И 7-1 есть логическая

"1", то в течение второго такта с выхода генератора 8-1 факельного разряда на рабочий электрод 9-1 подается энергия, пропорциональная "весу" первого разряда АЦП 4.

В результате между вершиной излучающего конуса рабочего электрода 9-1 и подгоняемым резистором 10 возникает факельный разряд, что приводит к испарению материала резистора (и увеличению его сопротивления). Если выходной сигнал элемента И 7-1 есть логический "0", то включение генератора 8-1 факельного разряда не производится.

Если имело место включение первого генератора 8-1 факельного разряда, то при новом цикле контроля величины сопротивления подгоняемого резистора 10, соответствующего перемещению логической "1" на второй выход регистра 5 сдвига, на выходах

АЦП 4 формируется цифровой код, пропорциональный своему новому входному напряжению. Если цифровой код на выходах

АЦП 4 содержит логическую "1" во втором разряде, включается генератор 8-2 факельного разряда, который через рабочий электрод 9-2 осуществляет факельный разряд, энергия которого такова, что приращение резистора в два раза меньше, чем в предыдущем случае. Этот разряд производит ис1800485

35

45

Составитель Г. Шопин

Редактор Т.Мельникова Техред М.Моргентал Корректор И.Шмакова

Заказ 1167 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101 парение материала резистора на большей глубине, чем первый разряд, B дальнейшем цикл контроля сопротивления подгоняемого резистора 10 и выжигание части его слоя в глубину многократно 5 повторяются, при этом каждый раз по сравнению с предыдущим циклом обеспечивается меньшее (в 2 раза) приращение сопротивления при наличии логической "1" в соответствующем разряде, В итоге значе- 10 ние сопротивления подгоняемого резистора 10 постепенно приближается к установочному значению, Формула изобретения 15

Устройство для подгонки толстопленочных резисторов, содержащее подложкодержатель для крепления объекта подгонки, генератор факельного разряда, к выходу которого подключен первый рабочий элект- 20 род, измеритель сопротивления. соединенный первым входом с подгоняемым толстопленочным резистором, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности и расширения эксплуатационных 25 возможностей, в него введены соединенные последовательно источник опорного напряжения, блок сравнения и АЦП, и элементов

И, и — 1 генераторов факельного разряда, п-1 рабочих электродов, регистр сдвига, мультивибратор, и выходов АЦП соединены с соответствующими первыми входами элементов

И, вторые входы которых соединены с соответствующими входами регистра сдвига, выходы элементов И соединены с соответствующими входами генератора факельного разряда, выходы п — 1 генераторов факельного разряда соединены с соответствующими и-1 рабочими электродами, выход мультивибратора соединен с входом регистра сдвига и вторым входом измерителя сопротивления, выход которого соединен с вторым входом блока сравнения, причем вершина излучающего конуса каждого из рабочих электродов расположена на оси, перпендикулярной плоскости подгоняемого резистора на фиксированном расстоянии от поверхности резистора, уменьшающемся с ростом порядкового номера рабочего электрода.