Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Авторы патента:

C23C14/32 - с использованием взрыва, испарения и последовательной ионизации паров (C23C 14/34-C23C 14/48 имеют преимущество)

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру, в которой размещен электродуговой испаритель с расходуемым электродом, открытая с торцов дополнительная камера, в которой размещен подложкодержатель, и источник питания, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий, дополнительная камера электроизолирована и охватывает подложкодержатель таким образом, что поверхность подложкодержателя находится вне прямой видимости со стороны внутренней поверхности вакуумной камеры.

Способ нанесения износостойких ионно-плазменных покрытий // 1799034

Изобретение относится к ионно-плазменной технологии нанесения износостойких покрытий и может быть использовано в машиностроении для упрочнения поверхности ответственных деталей машин и металлорежущего инструмента

Электродуговое устройство для нанесения покрытий в вакууме // 1781315

Способ изготовления электродной системы вакуумного люминесцентного индикатора // 1780455

Способ изготовления инструмента из режущей керамики // 1766095

Способ импульсно-периодической ионной обработки изделия и устройство для его осуществления // 1764335

Изобретение относится к ускорительной технике и предназначено для ионно-лучевой модификации материалов методом ионной имплантации

Способ изготовления режущего инструмента из керамики // 1759035

Устройство для нанесения покрытий в вакууме // 1751224

Способ получения пленок и устройство для его осуществления // 1750270

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в микроэлектронике и СВЧ-технике при получении тонких пленок различных материалов методом термоионного осаждения в вакууме

Устройство для нанесения тонких пленок в вакууме // 1737930

Способ изготовления токопроводящих пленок и устройство для его осуществления // 2105083

Изобретение относится к области микроэлектроники

Устройство для электродугового нанесения покрытий // 2110605

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано в машиностроении и станкостроительной промышленности

Способ импульсно-периодической ионной и плазменной обработки изделия и устройство для его осуществления // 2113538

Способ импульсно-периодического нанесения вакуумных покрытий и устройство для его осуществления // 2141004

Изобретение относится к вакуумной ионно-плазменной технике, предназначенной для нанесения покрытий при их одновременном облучении ускоренными ионами и используемой для модификации поверхностей материалов и изделий в машино- и приборостроении, в инструментальном производстве и других областях

Катод электродугового испарителя // 2196847

Изобретение относится к области нанесения покрытия и может быть использовано для нанесения покрытий на режущий инструмент с помощью электрической дуги в вакууме в атмосфере химически активных газов

Способ упрочнения коленчатого вала двигателя внутреннего сгорания // 2231565

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано при упрочнении коленчатых валов двигателей внутреннего сгорания

Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента // 2253693

Изобретение относится к способу нанесения многослойного покрытия на режущий инструмент и может быть использовано в различных отраслях машиностроения при металлообработке

Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента // 2253694

Способ нанесения декоративного нитридтитанового покрытия на изделия из керамики, металла, стекла и полимерных материалов // 2266351

Изобретение относится к области нанесения тонкопленочных покрытий в вакууме

Вакуумное электродуговое устройство // 2306366

Изобретение относится к вакуумно- электродуговому устройству для нанесения высококачественных покрытий и может быть использовано в машиностроении, инструментальной, электронной, оптической и других отраслях промышленности для модификации поверхностей материалов