Способ контроля толщины пленки, нанесенной на ферромагнитную основу

 

Изобретение относится к измерительной технике и имеет целью повышение точности способа контроля толщины электропроводных пленок в технологическрм процессе их нанесения на магнитоупругие подложки. Способ контроля заключается в том, что пару мзгнитоупругих подложек закрепляют консольное зазором между ними в камере, заполненной технологической средой, используемой для нанесения пленки на эти подложки. К подложкам подсоединяют электрический индикатор их замкнутого и разомкнутого состояния и помещают в магнитное поле постоянного или переменного тока. В процессе нанесения пленки на поверхность магнитоупругих подложек регулируют напряженность магнит ного поля и определяют значения магнитодвижущих сил или величину тока, соответствующих моментам замыкания и размыкания магнитоупругих подложек, образующих контактную пару. По отношению этих токов определяют коэффициент возврата , по величине которого определяют толщину наносимой пленки. 1 ил. л

СОЮЗ СОВЕ (СКИX

СОЦИАЛИС1И ВЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (si>s G 01 В 7/10

E0(;ÓÄÀÐÑTBEÍÍÎE ПАТЕНТНОЕ

BEÄÎÌÑTB0 СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4827575/28 (22) 15.03.90 (46) 30.03.93. Бюл. М- 12 (71) Рязанский радиотехнический институт (72) В.Ф.Удэлов, А.Ю,Борисова и А.Ф.Нилов (56) Авторское свидетельство СССР

N 372755,,кл. G 01 В 7/06, 1970.

Валитов А. и др. Приборы и методы контроля толщины покрытий. Справочное пособие, Л.: Машиностроение, 1970, с. 14, (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ

ПЛЕНКИ, НАНЕСЕННОЙ НА ФЕРРОМАГНИТНУЮ ОСНОВУ (57) Изобретение относится к измерительной технике и имеет целью повышение точности способа контроля толщины электропроводных пленок в технологическрм процессе их нанесения на магнитоупругие подложки. Способ контроля

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при контроле толщины неэлектропроводных пленок, нанесенных на ферромагнитную основу в процессе их изготовления, которые применяются в электронике, технике СВЧ или полупроводниковой технике.

Цель изобретения — повышение точности при Контроле толщины электропроводных пленок в технологическом процессе их нанесения на магнитоупругие подложки.

На чертеже приведена принципиальная схема реализации способа контроля толщины пленки, нанесенной на ферромагнитную основу.

„„SU „„1805282 А1 заключается в том, что пару магнитоупругих подложек закрепляют консольно с зазором между ними в камере. заполненной технологической средой, используемой для нанесения пленки на зти подложки, К подложкам подсоединяют электрический индикатор их замкнутого и разомкнутого состояния и помещают в магнитное поле постоянного или переменного тока. В процессе нанесения пленки на поверхность магнитоупругих подложек регулируют напряженность магнит ного поля и определяют значения магнитодвижущих сил или величину тока, соответствующих моментам замыкания и рэзмыкания магнитоупругих подложек, образующих контактную пару. По отношению этих токов определяют коэффициен — возврата, по величине которого определяют толщину наносимой пленки. 1 ил, Она содержит пленку 1, наносимую на две ферромагнитные основы 2, которые консольно закреплены на дополнительной ферромагнитный элемент 3 в технологической среде 4 для нанесения пленки и помещены в магнитное поле с регулируемой напряженностью Н, создаваемого, например, катушками

Гельмгольца 5. Контроль магнитодвижущей силы срабатывания и отпускания можно вести по амперметру 6, включенному последовательно в цепь катушек.

Замкнутое и разомкнутое состояние двух магнитоупругих подложек можно определять контактным способом, т.е. по замыканию и разрыву электрической цепи, в которую они включены. Этот контроль мож1805282

Q>m

Q.раб

По полученному значению находят толщину пленки, наносимой на магнитоупругие подложки

2 д

Кв — = — + Ко, 2/ + Хо где Х, -- начальный зазор между магнитоупругими элементами;

Ко — постоянная, соответствующая

= О.

С оста в ител ь А, Н илов

Редактор Л, Народная Техред M. Моргентал Корректор М. Шароши

Заказ 934 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государстве но о комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

11:3035, v1n<.ква. Ж-35, Раушская наб., 4/5

Г1роизводственн i издаглльгк«й комбинат Патент", г. Ужгород. ул.Гагарина, 101 но выполнягь бесконтактным способом, если вблизи ферромагнитных элементов расположить измерительную катушку 7, в ко1орой при срабатывании и отпускании наводится импульс напряжения, измеряемого милливольтметром 8. устройство для реализации способа контроля толщины пленки работает следующим образом. При увеличении напряженности магнитного поля магнитоупругие элементы, помещенные в технологическую среду, замыкаются. При этом измеряется магнитодвижущая сила срабатывания 6 раб.

При уменьшении напряженности магнитного поля элементы размыкаются и измеряется мвгнитодвижущая сила отпускания 64тл. Затем вычисляется коэффициент возврата

Таким образом, данный способ контроля толщины пленки, нанесенной на ферромагнитную основу, позволяет вести этот контроль без прерывания технологического процесса ее нанесения, Формула изобретения

Способ контроля толщины пленки, начесенной на ферромагнитную основу, заключающийся в том, что помещают их и дополнительный ферромагнитный элемент, образующий с ферромагнитной основой пленки пару механически взаимодействующих элементов, в магнитное поле, регулируют величину его н-ап.ряженности, 15 определяют магнитодвижущие силы срабатывания и отпускания пары механически взаимодействующих элементов и по их отношению определяют коэффициент возврата, по которому судят о толщине пленки, о т20 л и ч а ю шийся тем, что„с целью повышения точности при контроле толщины электропроводных пленок в технологическом процессе их нанесения на магнитоупругие подложки, в качестве пары механически взаимодействующих элементов используют две магнитоупругие подложки, которые предварительно помещают в технологическую среду. закрепляют их консольно с зазором между ними и присоединяют к ним

ЗО электрический индикатор их замкнутого и разомкнутого состояния,