Способ стабилизации несамостоятельного тлеющего разряда высокого давления

 

Использование: возбуждение больших объемов активных сред электроионизационных устройств. Сущность изобретения: для увеличения удельного энерговклада за счет ограничения развития неустойчивости плазмы несамостоятельного тлеющего разряда в рабочий газ добавляют электроотрицательную молекулярную примесь с относительным содержанием от 10 до 10 . В качестве примеси выбирают вещество, добавление которого к рабочему газу приводит к уменьшению частоты прилипания электронов к молекулам примеси с увеличением напряженности электрического поля между электродами газоразрядного устройства . 1 ил. i

COlO3 СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕН-ЮЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) В . .м l93Q) МТЕЮГ - 1с., кЛ. ЧЕИАЯ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Й1 > Fsl! ° ) - -1А (21) 4222221/25 (22) 06.04.87 (46) 23.06,93. Бюл. М 23 (71) Всесоюзный эЛектротехнический институт им. В.И.Ленина (72) К,Н.Ульянов и В.В.Чулков (56) Ерощенков Е.К. и др. Исследование неустойчивости несамостоятельного .тлеющего разряда. Письма в ЖТФ, 1976, т, 2, с.

443-447, Бычков Ю,П. Режимы устойчивого горения объемного разряда, возбуждаемого электронным пучком в Ar с добавками SFs.

Письма в ЖТФ, 1977, т. 3, в. 21 с. 1121-1125. (54) СПОСОБ СТАБИЛИЗАЦИИ НЕСАМОСТОЯТЕЛЬНОГО ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА

ВЫСОКОГО ДАВЛЕНИЯ

Способ относится к области квантовой электроники и может быть использовано при разработке мощных источников светового излучения для технологии.

Целью изобретения является повышение предельного энерговклада.

На чертеже изображена блок-схема устройства. реализующего способ.

Устройство содержит систему прокачки газа 1, формирующую поток газа через разрядное устройство 2, смеситель 3. баллон 4 с электроотрицательной примесью, металлические электроды 5, на котором показано приэлектродное пятно 6 и область усиленного поля 7, электронную пушку 8, источник питания 9, Сущность способа заключаешься в том, чтобы в области усиленного поля (как правило это область вблизи пятна нв электроде) !

Ы 1823160 А1 (я)5 Н 05 Н 1/00, Н 01 S 3/22 (57) Использование: возбуждение больших объемов активных сред электроионизационных устройств. Сущность изобретения: для увеличения удельного энерговклада за счет ограничения развития неустойчивости плазмы несамостоятельного тлеющего разряда в рабочий газ добавляют электроотрицательную молекулярную примесь с относительным содержанием от 10 до 10

-3

В качестве примеси выбирают вещество, добавление которого к рабочему газу приводит к уменьшению частоты прилипания . электронов к молекулам примеси с увеличением напряженности электрического поля между электродами газораэрядного устройства. 1 ил. резко уменьшить проводимость среды за счет увеличения в области усиленного поля (, ( частоты прилипания к молекулам электроорицательной примеси, при этом концент- « . рация молекул должна быть достаточно малой, а именно, чтобы примесь не влияла «р бы на параметры разряда в большей части объема промежутка. Подбирая род газа и его парциальное давление, можно управлять развитием шнуров, и порысить предельный ф энерго вклад. 1

Устройство работает следующим образом. Электронный пучок, сформированный в электронной пушке 8 поступает в разрядное устройство и ионизует поток газа. в который подмешивается электроотрицательная примесь, При подаче на электроды 5 напряжения от источника питания 9 зажигается разряд, При этом не поверхности электродов обра1823160

Составитель К.Ульянов

Техред М.Моргентал Корректор К.Сливка

Редактор

Заказ 2188 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва. Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент, г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 зуются пятна 6, в которые стягивается ток из плазмы положительного столба разряда.

Подбирая род и парциальное давление примеси добиваются повышения энерговклада.

Формула изобретения

Способ стабилизации несамостоятельного тлеющего разряда высокого давления, включающий подачу рабочего газа с электроотрицательной молекулярной примесью в газоразрядное устройство между двумя металлическими электродами, создание плазмы в разрядном промежутке при помощи внешнего источника ионизации, подключение электродов к источнику напряжения и увеличение средней по разрядному промежутку величины напряженности электрического поля до значения Ео, соответствующего оптимальным условиям возбуждения колебаний молекул рабочего газа, отл ич а ющи йс ятем, чтоотноси5 тельное содержание электроотрицательной примеси в рабочем газе выбирают в диапазоне 10 -10, при этом в качестве примеси

"-ь -з используют такое вещество, при добавлении которого в рабочий газ частота прили10 пания электронов к молекулам примеси для уровня напряженности поля Ео не превышает 0.2 частоты ионизации газа внешним источником, а для уровня напряженности (2-10) Fo частота прилипания составляет 0,515 1,0 частоты ионизации газа внешним источником.