Состав для очистки поверхности диэлектрика
Сущность изобретения: состав для очистки поверхности диэлектрика содержит полирксизтиленглкколевые эфиры синтетических первичных жирных спиртов фракции 0,15-0,65%, полиоксиэтиленгликолевые эфиры синтетических первичных жирных спиртов фракции Ci2-Ci-$ 0,15-0,65%, гексзметафосфат или триполифосфаг натрия 0,45-0,65%. натриевое жидкое стекло 0,55-1,50% и воду до 100%. 1 табл.
COIO3 СОВЕТСКИХ социАлистических
PЕСПУБЛИК
ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ
ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
0,15-0,65
0,15-0,65
0,45-0,65
0,55-1,50
Остальное (21) 4906973/04 (22) 04,02.91 (46) 07,07.93. Бюл. М 25 (71) Ярославское научно-производственное объединение "Электронприбор" (72) Н.П.Космодемьянская, И.Г.Шурова и
Л.А.Аранович (56) Патент Великобритании N. 1287940, кл. С 5 D, опублик, 1972.
Авторское свидетельство СССР
М 1068470, кл. С 11 0 1/12, 1982, Изобретение относится к средствам для очистки поверхности диэлектрика (стекла, ситалла и поликора) и может быть использовано при производстве гибридных интегральных схем.
Цель изобретения — повышение качества очистки, Поставленная цель достигается тем, что в известном составе для очистки поверхности диэлектрика, содержащем поверхностно-активное вещество, фосфорсодержащую добавку и воду, состав содержит в качестве поверхностно-активного вещества смесь полиоксиэтиленгликолевых эфиров синтетических первичных жирных спиртов фракций Сы-С2о и фракции С12-Си, в качестве фосфорсодержащей добавки он содержит гексаметафосфат или триполифосфат натрия и дополнительно состав содержит натриевое жидкое стекло при следующем соотношении компонентов, мас. ф,;
» Sd. „1825816 А1
<Я1;., С 11 9 1/72//(С 11 0 1/72, 3:04, 3:075) (54) СОСТАВ ДЛЯ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ ДИЭЛЕКТРИКА (57) Сущность изобретения: состав для очистки поверхности диэлектрика содержит полиоксизтиленгликолевые эфиры синтетических первичных жирных спиртов фракции Си-Cap 0,15-0,65$, полиоксизтиленгликолевые эфиры синтетических первичных жирных спиртов фракции С12-С14
0,15-0,65;4, гексаматафосфат или триполифосфат натрия 0,45-0,65, натриевое жидкое стекло 0,55-1,50 g и воду до 100 g,. 1 табл.
Полиоксизтиленгликолевые эфиры синтетических первичных жирных спиртов фракции
С16 С>р (Синтанол
АЦСЗ-12)
Полиоксизтиленгликолевые эфиры синтетических пе рвичных жирных спиртов фракции
С1р-С AAM-10) Гексаметафосфат или триполифосфат натрия Н атрие вое жидкое стекло Вода 1825816 Изобретение иллюстрируется следующими примерами. Пример 1. В дистиллированной воде готовят раствор смеси Синтанола АЦСЭ-12, Синтанола АЛМ-10, гексаметафосфата натрия и натриевого жидкого стекла с концентрациями, мас.g: 0,15; 0,15; 0,45; 0,55 соответственно, Приготовленный раствор (объем 2 л) заливают в реакционную камеру установки ПВХО-ГС-60-1 и нагревают до, температуры 55"С. Установленные в кассету поликоровые подложки погружают в моющий раствор и обрабатывают в течение 12 мин с использованием вибрации. После обработки в моющем составе подложки промывают в токе дистиллированной воды втечение 1,5-2 мин, проверяют на качество очистки поверхности по степени смачивания водой без образования капель, сушат на центрифуге при скорости вращения ротора 3000 об/мин, и далее подложки поступают на вакуумное напыление структуры V-AI, затем проводят фотолитографию и проверку на качество сварки и адГезии нзпыленнОГО контактноГО слОя к подло>кке. АналоГично была проведена Очистка стеклянных и ситалловых подложек. Показатели качества очистки стеклянных, ситалловых и поликоровых подложек приведены в таблице. Пример 2, В дистиллированной воде готовят раствор смеси Синтанола АЦСЭ-12, Синтанола АЛМ-10, гексаметафосфата натрия и натриевого жидкого стекла с концентрац ями, мас, : 0,35; 0.35: 0,55; 1,00 соответственно. Приготовленный раствор (объем 2 л) заливают в реакционную камеру установки ПВХО-ГС-60-1 и нагревают до температуры 50 С. Установленные в кассету поликоровые подложки погружают в моющий раствор и обрабатывают в течение 15 мин с использованием вибрации, Далее проводят операции по примеру 1, Аналогично была проведена очистка стеклянных и ситалловых подложек. Показатели качества очистки стеклянных, ситалловых и поликоровых подложек приведены в таблице. Пример 3. В дистиллированной воде готовят раствор смеси Синтанола АЦС3-12, Синтанола АЛМ-10, гексаметафосфата натрия и натриевого жидкого стекла с концентрациями. мас.$: 0,65; 0,65; 0,65: "„50 соответственно. Приготовленный раствор (объемом 2 л) заливают в реакционную камеру установки ПВХО-ГС-60-1 и нагревают до температуры 60 Ñ. Установленные в кассету поликоровые подложки погружают в мо0,150.65 ющий раствор и обрабатывают в течение 10 мин с использованием вибрации. Далее проводят операции по примеру 1. Аналогично была проведена очистка си5 талловых и стеклянных подложек. Показатели качества очистки стеклянных, ситалловых и поликоровых подложек приведены в таблице. Было проделано еще 3 идентичных при"0 мера, отличающиеся от предыдущих лишь тем, что вместо гексаметафосфата натрия использовали триполифосфат натрия. Очистку подложек в составе по прототипу проводили также с использованием виб15 рации. Предлагаемый состав обеспечивает высокую эффективность процесса очистки. Он полностью снимает с поверхности диэлектрика (стекла, ситалла, поликора) органиче2Q ские, минеральные и механические загрязнения, не вносит дополнительных загрязнений. Как видно из таблицы, состав обеспечивает полную смачиваемость водой очищенных пластин и высокую адгезию на25 несенных на них контактных слоев. Биологическая разлагаемость раствора составляет 90;ь. Выход годных подложек, отмытых в заявляемом составе, составляет 98-100 ф„в составе по прототипу — 25-85 . Формула изобретения Состав для очистки поверхности диэлектрика, содержащий поверхностно-активное вещество, фосфорсодержащую добавку и воду,отлича ющийся тем, что,с целью 35 повышения качества очистки, состав содержит в качестве поверхностно-активного вещества смесь полиоксиэтиленгликолевых эфиров синтетических первичных жирных спиртов фракции Си-Czo и фракции C Полиоксиэтиленгликолевые эфиры синтетических первичных жирных 50 спиртов фракции С<о-Сщ 0,15065 Полиоксиэтиленгликолевые эфиры синтетических первичных жирных 55 спиртов фракции С1г-С14 Гексаметафосфат или триполифосфат катрия 0,450,65 Натриевое жидкое стекло 0,55-1,50 Вода До 100 1825816 I а о х 1 1 S с х о РР! r с о х I C 1 Э 1 1 1с u I m z с а с I Э 1 Ф 1 I 1 II 1 1 I I 1 1 44 1 1 К 2 х 1 C 1 1 с о К 1 ЗЗ I— СЗ ОЗ 3 \ I I 1 СЗ «D I I 1 1 СЗ СЗ! о а 4I х 1 ! о о 1 1 1 1 X r. а о ох 1 с с си л "О 1 л \У л м а 1 а v CI ОЗ а ОЗ 1 1 I Х 1 Э l "СЕ р 7 оз сл О СЗ C\ СЗ С1 CI о Ф 3 о а 1. о о 1о 1 ! 5 1 X 14 I И I LD f4 а сЧ 1 а о х 1 5 1 о 1 C со О О а а а I 1 1 б ° 1 1 ! ! 1 1 1 Y 1 41 1- О v c 1 ! 2 z e 1 V I» С4 IA CA а а ОЗ О Л С4 а а СЗ 1 ! СЗ ! а. а а 1 I t 1 Э m I 7 I Ф оэз rmаIо 1- !о е О O 47 t" 1 В к и 2cz å ñ tо D o m I X X Ф эа1-х аIOg* 1 1 Iat LA СЗ С! С» 1 1 о 1 C 1 m I I! e t CI з, а оэ I- Ф е Ф 1- е ааоа IA ! Ъ О О О а а сз Cl О I Ф с alI 4 а С о СЗ I 1 1 1 и СЗ СЗ а о сэ !.mm xt1 — Э a4 О 1 а сз О а о а СЗ СЗ О О СЗ 11 1 If. ! о и S 8 1azme ! О S ! а а а aA O о LA л СЗ I 1 Ф ию х 11 ЭЭ т. 1- !С I4 X О а V ILA - 3 СЗ а аа С1 LA а СЗ а а мъ иЗ СЗ 47 I I з v х х о э 1 X о 1! C Р) I 1 Ф Z . 1 о х I- 7LI t aY1 z m < са й1 v Oo ;3 1й о g и m3 а л о оо 1 а а а м о о о о а ! 1 Ф Ct о tO! z z с х З, IС К * К и У Ф ЭЗКО х Ф х а 1- aaz ээзс 1- с !Р и t ! X С1 хи х Ф 1 а а! L- t L! i Э I Ф X Э v с о к С. Е L A 1 I. 1 X u х I g 11 с z О 1с и а а а м ЧЗ ct o .о а м о а о о Р- О И I о а СЗ О а I s a ЛМ 1 C о s l 1I 1 1 1 I 1 ! I I I X 1 I X I 1 И 1 t Э 1 I L I 1 1 1 Ф 1 I l4 1 X I X х z Р- 7 u t z Э О!о I 1 о u 1 Ф 1 I l 1 X о 4l 1 и I m!9 I + 1 Э I . 1 !4 I 1 Ф I ) I 1 v ! I 1 IL 1 I I 1 1 Э а I I 4З I! 1 I I 1 1 ! 1 I 1. Р 1 и 1 ! I S I S 1 X I m о 1 1 о 1 ! m I lt I Iи о I l-l ! I I I т 1 I Э К zzxx 0 З! 7 2 2 YaXmZ sxI-aa cem41s С.41!-C !Р 1 1 I ° Л аР ° 1 СЧ М -т IA.О ЛС I X Ф Iч) 1- Ф О XLA л Ф 7 Ф 1- Y Z о ! М Ф zccm ЛЛY vux кссх a0 X Х Ф аа m e e 1с сх с у Ф Х. ZYY Я е43х
