Устройство для нанесения покрытий электрическим взрывом фольги

 

Использование: в радиоэлектронной промышленности, приборои машиностроении . Сущность изобретения: повышение производительности, качества покрытий и расширение номенклатуры наносимых покрытий по площадям и толщинам за счет увеличения количества электродных блоков, введение системы коммутации высокого напряжения, подачи на электродный блок дозированных отрезков взрываемой фольги, использования подвижных масок с ножом для их гзчистки. 2 з.п. ф-лы, 4 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5!)5 С 23 С 14/34

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ГИЯСА;:

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ОО

Сд

Ь3

М ы

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4897969/21 (22) 23.12.90 (46) 07.08,93. Бюл. М 29 (71) Всесоюзный научно-исследовательский институт материалов электронной техники (72) В.П.Снесаревский, О,В.Логоватовский и С.П.Яковлев (56) Электронная промышленность М 1, 1970, с. 67.

Авторское свидетельство СССР

М 774276, кл. С 23 С 17/00, 1979, (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ЭЛЕКТРИЧЕСКИМ ВЗРЫВОМ

ФОЛЬГИ

Изобретение относится к технике нанесения металлических покрытий и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности, приборо- и машиностроении.

Целью изобретения является повышение качества наносимых покрытий, производительности устройства, а также расширение номенклатуры наносимых покрытий по площадям и толщинам.

На фиг.1 изображены карусели электродных блоков и сопл с масками; на фиг,2 представлен разрез А-А на фиг.1; на фиг.3— механизм резки и укладки взрываемой фольги; на фиг.4 — разрез карусели электродных блоков с электродами разрядника.

Устройство (фиг.1 и 2) содержит карусель 1, на которой расположены электродные блоки 2. карусель 3 сопл, снабженную подвижными масками 4 и механизмами 5 их

„„5U „„1832 133А1 (57) Использование: в радиоэлектронной промышленности, приборо- и машиностроении, Сущность изобретения: повышение .производительности, качества покрытий и расширение номенклатуры наносимых покрытий по площадям и толщинам эа счет увеличения количества электродных блоков, введение системы коммутации высокого напряжения, подачи на электродный блок дозированных отрезков взрываемой фольги, использования подвижных масок с ножом для их ззчистки. 2 з,п. ф-лы, 4 ил. зачистки, выполненными в виде плоских ножей. а также соплами 6. Электродные блоки

2 установлены в толкателях 7, перемещающихся вверх-вниз. Обе карусели и механизмы зачистки распложены на опорной плите

8. На карусели 1 и в корпусе 9 на опорной плите 8 установлены кольцвые скользящие контакты 10. На этой же карусели (фиг.4) установлены электроды 11 воздушного управляемого разрядника, а на опорной плите

8 — электрод 12 и поджигающий электрод 13.

Электроды 11, установленные на карусели

1, соединены с положительными электродами электродных блоков, а их отрицательные электроды соединены со скользящим кольцевым контактом. Механизм подачи взрывземой фольги (фиг,З) включает в себя катушку 14 с фольгой 15, направляющие ролики 16. каретку 17 с подвижно",губк,ой 18, подвижный 19 и неподвижный 20 ножи. Все

1832133. механизмы приводятся в движение от одно- 8 мм, толщиной от 10 до 14 мкм. Доза взрыго привода через распределительный вал. ваемой фольги представляет собой квадратУстройство работает B автoMBTM åñi.oì ный отрезок 4х4 мм, диаметр входного режиме следующим образом. сечения сопл равен 6 мм, а выходного (на

При включении привода взрываемая 5 срезе) — 8 мм,т.е. Отрезок взрываемой фольфольга 15 разматывается с катушки 14 и ги вписывается во входное сечение сопла, роликами 16 направляется между кареткой что обеспечивает герметичность стыка со17 и губкой 18, зажимается ими и подается пло — электродный блок. При нанесении пас установленным шагом иа неподвижный крытий из сплавов на основе цинка нож 20. Подвижный нож l9 опускается, or- 10 производительность автомата составляет 8 резает фольгу и укладывает образовавший- тыс, изделий в смену, Полученное покрытие ся отрезок на рабочий торец электродного не имеет несплошностей, равномерно по блока 2. Карусель 1 повара ивается так, что толщине (разброс не более 157,), что позвоустанавливает электродный блок 2 с огре"= - ляет производить пайку кремниевых криком фольги на рабочую позици о, при этом "5 сталлов в корпусе. Кроме того, автомат на электрод11 воздушного разрядника, соеди- базе изобретения позволяет наносить поненный с электродным блоком, распалага- крьпия толщиной от 5 до 70 мкм площадью ется HBllpoTMB электрода 12 воздушного до 100 ми при замене сопл и взрываемой разрядника и поджигающего электрода l3, фольги, установленных на опорной плите 8. Кару- 20- Предлагаемое устройство имеет больсель 3 устанавливается так, чта сопла 6 рас- шую по сравнению с прототипом произвополагается над электродным блоком 2 дительнасть за счет большего количества соосно ему, а над соплом располагается по- сопл и электродных блоков, а также обеспедвижная маска 4, иа которой находится об- чивает более высокое качество покрытия рабатываемое изделие. Талкатель 7 25 (сплошность, равномерность по толщине и поднимается и прих<имает горец электрод- по,), за счет точного дозироваиия взрываеного блока 2 с отрезком фольги к входному мой фольги отрезками. Кроме того, устройторцу сопла б. В момент прижима сопла 6 к ство за счет дозираьания взрываемой электродному блоку 2 на подх<ига ощий фольги отрезками позволяет наносить поэлектрод 13 подается высоковольтный пад- 3-0 крытия толщиной от5до 25 м1<гл и площадью жигающий импульс и через электро 1l! 11 и о 5 до 150 мм, 12 воздушного разрядника га алек градный Устройство р ализовано в виде автомаблок 2 разряжается высоковольтный кон- i8 локальной металлизации ": позволяет исдеисатор, явля1ощийся иа,<опителем энер- кл,очить применение золота в производстве гии. При этом происходит взрывное 35 иппгегральных микросхем. разрушение отрезка фольги, располажен- Формула изобретения ного иа рабочем торце электродного блока, 1, "GTpoAGTBo для нанесения покрытий поток продуктов взрыва по соплу 6 напрев- электрическим взрывом >ольги, содержаляется на обрабатываемое изделие и осаж- ьцее механизм для дозированной подачи дается на нем, формируя. покрытие. Затем 40 взрываемой фольги, механизм подачи обратолкатель 7 вместе с электродным блоком 2 батываемых изделий, электродный блок с опускается, карусель 3 поворачивается, по- электродами, направляющеесопло,иакопидвижная маска 4, перемещаясь,зачищается тель энергии и управля ощий разрядник с плоским ножом механизма 5, пои следую- электродами, 0 T л и ч а lo щ е е с я тем, что щем повороте карусели 3 происходит вы- 45 оно снабжено опорной плитой с каруселью, грузка обрабатываемого изделия. Затем иа которой установлено несколько электцикл повторяется, родных блоков с разрядниками, причем

Пример. На базе описанного устрой- электродные блоки установлены с возможства был создан автомат локальной метал- ностью перемещения вдоль своей оси, а лизации стеклокерамических корпусов 50 электроды управляемого разрядника электинтегральных микросхем типа "Детрит-8", в ричаски соединены с положительными котором установлены четыре электродных электродами электродного блока соответблока. четыре сопла и четыре маски. Соот- ственно, при этом поджигающие электроветствеино на карусели электродных блоков ды разрядников установлены иа опорной установлены четыре электрода управляемо- 55 плите, в отрицательные электроды электго воздушного разрядника, В автомате ис- родных блоков электрически соединены с пользуется взрываемая фольга из сплава иа накопителем энергии через скользящие основе цинка толщиной 80 мкм, шириной 4 контакты. мм, что позволяет наносить требующиеся Устройство по п.1, О т л и ч а кг щ в епокрытия в виде круглого пятна диаметрам с я тем, что механизм дозированнои подачи

1832133 фольги снабжен неподвижным ножом и ножом-транспортером, 3. Устройство по п.1, о т л и ч э ю щ е есятем,чтооноснабжено масками, каждая из которых выполнена в виде пластинысгнездом для обрабатываемой фольги и с возможностью возвратно-поступательного перемещения, и ножами для зачистки

5 гнезда, 1832133 l3 8321 .),:

Диг,Я

1а 32133

Составитель В, Снесаревский

Техред М.Моргентал Корректор С. Юско

Редактор

Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 2604 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва. Ж-35, Раушская наб., 4/5