Устройство для измерения перемещений поверхностей по нормали

 

Ф кямель;з- Е&Ь у,, ру,,, Ф фР /";; авторское евйдетепьетво нв

М 2э271 -" .+ ф, изобретониВ, ОПИСАHИЕ устройства для измерения перемещений поверхностей по

) нормали.

К авторскому свидетельству В. П. Яиняяяа, заявленному 20 июня

1929 года (заяв. свид. № 49562).

О выдаче авторского свидетельства опубликовано 29 февраля 1932 года.

Предмет изобретения.

1. Устройство для измерения перемещений поверхности по нормали, отличающееся применением двух неподвижно закрепленных микроскопов А и А1 с осями, наклоненными друг к другу под некоторым углом, предпочтительно прямым, и.с предметными точками объективов 0 и 01, совпадающими с точкой пересечения осей микроскопов, из коих один микроскоп А, вместо окуляра снабжен освещаемой щелью Ь, расположенной перпендикулярно к плоскости, содержащей оси обоих микроскопов, а друЪ

В предлагаемом устройстве, предна-значенном для измерения перемещений поверхности по нормали, применены два неподвижных микроскопа с осями, составляющими стороны векоторого угла, вершина которого совпадает с предметными точками объективов микроскопов, из коих один микроскоп вместо окуляра снабжен освещаемой щелью, а другой— окулярной сеткой.

Изображенное.,схематически на чертеже предлагаемое устройство состоит

:из двух микроскопов Х и Я1, оси кото- рых составляют некоторый угол а и пе- l ресекаются в точке 5. С этой же точкой

:. совпадают и предметные точки объективов 0 и 01. Микроскоп 4., вместо оку,ляра снабжен освещаемой щелью S, расположенной перпендикулярно к плоскости, содержащей оси обоих микроскопов, микроскоп же А снабжен окулярной сеткой 1К Если поверхность У, перемещение которой измеряется, проходит через точку s, то изображение щели S появится на окулярной сетке Иг в месте К.

При перемещении поверхности V no .нормали в положение V> изображение щели из места К перейдет в место E, выходя из фокуса окуляра. По перемещению изображения щели можно определить величину перемещения по нормали поверхности в пределах до 0,02—

0,03 мм с точностью до микрона, а также устанавливать поверхность на заданное место с точностью до 0,1 микрона.

Вместе с тем приспособление позволяет судить по форме, которую принимает изображение щели, о том, ровную ли поверхность в соответствующем месте представляет предмет.

Для увеличения доступных измерению перемещений поверхности до 0,3 — 0,4 мм угол а должен быть, прямым, а щель S надо расположить в плоскости, перпендикулярной к плоскости, содержащей оси обоих микроскопов, наклонно коси микроскопа А, под углом около 10, при чем на сетке И всегда будет находиться . резкая часть изображения щели Ь. сг гой микроскоп А снабжен окулярной сеткой IK

2. Видоизменение устройства по и. 1, отличающееся тем, что щель S микроскопа А1, расположенная в плоскости, перпендикулярной к плоскости, содержащей оси обоих микроскопов, наклонена к оси микроскопа А1 под углом около

1g .