Способ измерения быстроты натекания газа в вакуумную систему
2+3S .-- -- и зялл7
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Сок з Советских
Социалистических
Республин
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 12.Х.1966 (№ 1106891/40-23) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 20.Х.1967. Бюллетень № 22
Дата опубликования описания 2.1.1968
Кл. 42k, 20
МПК G Olm
УДК 629.73.018.1.001. .57 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Автор изобретения
А. В. Липин
Заявитель
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ БЫСТРОТЫ НАТЕКАНИЯ ГАЗА
В ВАКУУМНУЮ СИСТЕМУ (N )2), Предмет изобретения
s,— gs, (N 2), ЗО
N — 1
Изобретение относится к вакуумной технике и, в частности, к вакуумным системам, в которых должно поддерживаться достаточно глубокое разрежение со стационарным натеканием газа (например, вакуумные аэродинамические трубы).
Известен способ измерения быстроты натекания газа по изменению давления в объеме во времени, в котором после перекрытия всех вакуумных насосов определяют изменение давления в вакуумной емкости за некоторый промежуток времени и по этим величинам рассчитывают быстроту натекания, Однако такой способ требует изолирования вакуумной емкости от огкачивающей системы и, следовательно, позволяет определить натекание газа только через стенки емкости, т. е. не учитываются иные источники натекания. Кроме того, отключение насосов от емкости делает ее не эквивалентной начальной.
Предлагаемый способ позволяет повысить точность измерений и упростить их. Для этого поочередно включают каждый из вакуумных насосов и измеряют величины расходов газа, при которых в системе устанавливается заданное давление. Затем включают все насосы вместе и измеряют расход газа при том же давлении, после чего быстроту натекания
Ят вычисляют по следующей формуле:
5 где S, — расход газа при заданном давлении в емкости при одновременной работе всех N насосов, S; — расход газа при том же давлении в емкости при работе одного i насоса (т = 1, 2, 3, ... N).
Способ измерения быстроты натекания газа в вакуумную систему, имеющую не менее двух вакуумных насосов, способных работать как в совокупности, так и порознь, отличак.итийся тем, что, с целью повышения точности измерений и их упрощения, поочередно включают каждый из насосов и измеряют величины расходов газа, при установившемся в системе заданном давлении, затем включают все насосы вместе и измеряют расход газа при том же давлении, после чего быстроту натекания Sò определяют по формуле
204636
Составитель В. Захарченко
Техред Л. Я. Бриккер Корректоры: М. П. Ромашова и Т. Д. Чунаева
Редактор А. Шиллер
Заказ 4195)5 Тираж 535 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2 где S, — расход газа при заданном давлении в емкости при одновременной работе всех N насосов системы, S, — расход газа при том же давлении в емкости при работе одного i-го насоса (i= 1, 2, 3, ..., N).
