Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Авторы патента:

C23C14/38 - с помощью тлеющего разряда постоянного тока

2207I4

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Кл. 48Ь, 13/10

Заявлено 18.1.1967 (№ 1127016/22-1) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 28Л Е1968. Бюллетень ¹ 20

Дата опубликования описания 18.1Х.19б8

МПК С 23с

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР ДК 621.793.14.002.54 (088.8) Авторы изобретения

Б. Г. Соколов, А. С. Ронжин и П. T. Аношин

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру с расположенными внутри нее испарителем и полым сферическим катодом.

Предлохкенное устройство отличается от известного тем, что полый сферический катод снабжен электрически связанными с ним направляющими штангами. Это обеспечивает равномерное покрытие на изделиях сложной конфигурации.

На чертеже изображено описываемое устройство.

Оно состоит из вакуумной камеры 1, испарителя 2, катода 8 и направляющих штанг 4.

Вакуумная камера электрически связана с плюсом высоковольтного выпрямителя и является анодом.

Обрабатываемые детали 5 закрепляют на направляющих штангах 4, и B испаритель загружают испаряемый материал б. После этого камеру закрывают и вакуумируют. Получив необходимое разрежение, приступают к нанесению покрытия. От высоковольтного выпрямителя на катод и анод подают разгоняющее напряжение до 3 кв. Через вентиль 7 в вакуумную камеру поступает балластный газ для повышения давления до появления свечения в полости катода. Одновременно с этим в цепи источника питания появляется анодный ток. Электрическое поле заставляет ионы балластного газа двигаться не только по направленшо к катоду, но и по направлению пространства, огран ченного направляющими штангами 4. После включения нспарптеля пары материала покрытия, находящиеся в зоне, прилегающей к катоду и пространству, ограниченному направляющими штангами 4, ионизпруются н бомбардируют поверхность изделия. 11оны, не попавцшс на изделия благодаря отсутствию положительного пространственного заряда, свободно пронизывают зону, сграничснную напр",âляющпми штангами, и бомбардируют изделия, размещенные с противоположной стороны.

Предмет изобретения

20 Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камсру, испаритсль и полый сферпческни катод, отличаютиееся тем, что, с целью получения равномерного покрытия на изделиях сложной кон25 фигурацин, полый сферический катод снабжен электрически связанныуш с ннм направляющпзш штангами.

Редактор H. С. Коган

Составитель A. Кутибашвили

Тскред Р. М. Новикова Корректор О. Б. Тгорина

Заказ 2608 19 Тираж 530 Подписное

Ц1!ИИПИ 1сомитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СCCP

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типографии, пр. Сапунова, 2

Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Способ получения пленки нитрида алюминия // 2113537

Способ обработки поверхности длинномерных отверстий металлических изделий в тлеющем разряде // 2114211

Изобретение относится к машиностроению и может бить использовано при обработке поверхности посредством имплантации ионов реакционных газов в поверхность длинномерных отверстий металлических изделий на установках ионной имплантации для повышения их поверхностной твердости, коррозионной стойкости и иэносостойкости

Способ получения диффузионного алюминидного покрытия на изделии // 2164965

Изобретение относится к области машиностроения и металлургии и может быть использовано в авиационном и энергетическом газотурбиностроении для защиты пера лопаток турбин от высокотемпературного окисления и коррозии

Установка для нанесения защитных покрытий // 2187576

Изобретение относится к получению защитных покрытий на изделиях авиационной техники, преимущественно на деталях газотурбинных двигателей

Способ обработки поверхности металлического изделия // 2188251

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано для модифицирования поверхности деталей машин

Деталь и способ нанесения теплоизоляционного покрытия на нее // 2194798

Изобретение относится к детали, в частности к лопатке газовой турбины, содержащей основную часть и расположенный на ней теплоизоляционный слой, который имеет столбчатую структуру с керамическими столбиками, которые в большинстве направлены в основном перпендикулярно поверхности основной части

Способ формирования покрытия из драгоценных металлов и их сплавов // 2214476

Изобретение относится к изготовлению покрытий из металлов на изделиях различного назначения и может быть использовано в электротехнической, радиотехнической, ювелирной и других отраслях промышленности

Установка для напыления покрытий // 2214477

Способ обработки поверхности металлического изделия // 2241067

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано для модифицирования поверхности деталей машин с целью повышения их служебных характеристик

Способ химико-термической обработки изделий из стали и сплавов // 2245939

Изобретение относится к металлургии, а именно к химико-термической обработке металлов и сплавов, в частности к ионному азотированию в плазме тлеющего разряда, и может быть использовано в машиностроении для поверхностного упрочнения деталей машин, в том числе деталей сложной конфигурации, режущего инструмента и штамповой оснастки