Способ измерения фазового сдвига световых волн
Способ измерения фазового сдвига световых волн заключается в том, что опорный и измерительный каналы интерферометра одновременно освещают пучком излучения, совмещают пучки опорного и измерительного каналов и формируют и регистрируют интерференционную картину, фотолинейкой осуществляют фотоэлектрическое преобразование ее в электрический сигнал, управляют регистрацией интерференционной картины, которую осуществляют с помощью импульсного опроса фотоэлементов фотолинейки, формируют рабочий участок фотолинейки в виде первого набора фотоэлементов, равный периоду интерференционной картины, задают опорный сигнал и число разрядов р выходного кода, создают циклы измерения, включающие последовательность из р тактов, в каждом из которых осуществляют опрос фотоэлемента, расположенного посередине набора и делящего его на две половины, начиная с первого набора, сравнивают сигнал опрошенного фотоэлемента с опорным сигналом, по результатам сравнения в качестве набора для последующего такта выбирают одну из половин набора предыдущего такта, по совокупности результатов сравнения за р тактов создают р-разрядный выходной код, по которому судят о фазовом сдвиге световых волн. Технический результат - повышение быстродействия при высокой точности измерения. 1 з.п. ф-лы, 4 ил., 2 табл.
Текст описания в факсимильном виде (см. графическую часть).Формула изобретения
1. Способ измерения фазового сдвига световых волн, заключающийся в том, что опорный и измерительный каналы интерферометра одновременно освещают монохроматическим коллимированым пучком излучения, пространственно совмещают пучки опорного и измерительного каналов и формируют интерференционную картину, регистрируют интерференционную картину, образованную пучками опорного и измерительного каналов, фотолинейкой осуществляют фотоэлектрическое преобразование ее в электрический сигнал, отличающийся тем, что управляют регистрацией интерференционной картины, которую осуществляют с помощью импульсного опроса фотоэлементов фотолинейки, формируют рабочий участок фотолинейки в виде первого набора фотоэлементов, равный по длине периоду интерференционной картины, задают опорный сигнал и число разрядов р выходного кода, создают циклы измерения, включающие последовательность из р тактов, в каждом из которых осуществляют опрос фотоэлемента, расположенного посередине набора и делящего его на две половины, начиная с первого набора, сравнивают сигнал опрошенного фотоэлемента с опорным сигналом, по результатам сравнения в качестве набора для последующего такта выбирают одну из половин набора предыдущего такта, по совокупности результатов сравнения за р тактов создают р-разрядный выходной код, по которому судят о фазовом сдвиге световых волн.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что задают значение скорости изменения фазового сдвига световых волн, по разности р-разрядных выходных кодов, определенных для разных циклов измерения, рассчитывают скорость изменения фазового сдвига световых волн, которое сравнивают с заданным, по результатам сравнения изменяют число разрядов р выходного кода.РИСУНКИ
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4, Рисунок 5, Рисунок 6, Рисунок 7, Рисунок 8, Рисунок 9, Рисунок 10, Рисунок 11, Рисунок 12, Рисунок 13, Рисунок 14, Рисунок 15, Рисунок 16, Рисунок 17, Рисунок 18, Рисунок 19
