Способ электрохимического осаждения металлов на рельефную поверхность
О П И С А Н И Е 238980
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистически»
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 20.Х1.1967 (№ 1197499/22-1) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 10.111.1969. Бюллетень № 10
Дата опубликования описания 18Х11.1969
Кл. 48а, 5/00
МПК С 23b
УДК 621.357.74 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Мииистров
СССР
Авторы изобретения
М. Ю, Меллер и С. И. Хотянович
Институт химии и химической технологии АН Литовской ССР
Заявитель
СПОСОБ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ МЕТАЛЛОВ
НА РЕЛЬЕФНУЮ ПОВЕРХНОСТЬ
Известный способ макровыравнивания при электрохимическом осаждении металлов на рельефных поверхностях,путем установки в углублениях .наращиваемой формы дополнительных анодов, сложен и трудоемок.
Предложено на рельефной поверхности создавать градиент концентрации ионов осаждаемого металла, а между анодом и катодом раополагать пористую перегородку, что повышает эффективность макровыравнивания.
При осаждении металлов используют реверсивный ток, периоды которого подбирают так, чтобы к концу анодного периода на рельефе образовался градиент концентрации разряжающихся ионов с максимально возможной их концентрацией на дне углубления. Это приводит к,повышению эффективности макровыравнивания, так как снижается перенапряжение и повышается интенсивность выделения металла в углублениях во время катодного периода.
Пример. В ван не с электролитом состава (в г/л): CuSo 150, Н»$0 60 при комнатной температуре располагают медный анод над проводящей формой (катодом), имеющей рельеф, глубиной 2 — 3 мл,на расстоянии более 5 сли
5 Между анодом ч катодом располагают перегородку в виде пластинки от фильтра
ГУЧА ¹1. .Процесс наращивания м.е.ди птроводят при,катодной плотности тока,в 1 а/дл - с применением реверсивного тока с длитель10 ностью катодного,периода 12 мин и анодного периода 6 л ин. После осаждения 5 — 7-миллиметрового слоя углубления заполняют медью.
Предмет изобретения
Способ электрохимического осаждения металлов на рельефную поверхность, где анод располагают над катодом, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности мак20 ровыравнивания, на рельефной поверхности создают градиент концентрации ионов осаждаемого металла, а между анодом и катодом располагают пористую перегородку.
