Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения на изделие

Авторы патента:

G01B11/06 - для измерения толщины

ОПИСАНИЗОБРЕТЕНИЯ

24l 70I

Союз Советских

Социалистических

Реолублин

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 26 1.1968 (№ 1214954/25-28) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 18.IV.1969. Бюллетень № 14

Дата опубликования описания 25Х1I I.1969

Кл. 42Ь, 12/06

МПК G 01b

Комитет ла делам изобретений и открытий лри Совете Миииотров

СССР

УДК 531.717.53. .082.54 (088,8) Авторы изобретения

Ю. В. Кедра и И. А. Прудвиблох

Львовский политехнический институт

Заявитель

СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНКИ В ПРОЦЕССЕ

ЕЕ НАНЕСЕНИЯ НА ИЗДЕЛИЕ

Известны с пособы контроля толщины, пленiKH. в .процессе ее;нанесения на изделие, на::пример на катод, с использованием эталона, с видетеля и электронно-измерительного, устройства, связанного с исполнительным органом, заключающиеся в том, что одновременно освещают эталон и свидетель, сра вHèвают IBåличины световых потоков, прошедших через эталон и свндетель,,по,величине разностного сигнала судят о толщине наносимого слоя.

Предлагаемый способ отличается от из вестного, терм, что этало|н и свидетель освещают короткими импульсами, задерживают .начало измерения до достижения разностным сигналом значения, близкого к максимальному, после чего измеряют разностный сигнал,в течение времени, за;которое ука занный сигнал преобразовы вается электронно-измерительными устройствами в команду для подачи ла исполнительный орган, и прекращают процесс нане сепия,пленки после того,,как разностный сигнал изменит свою полярность. .Это повышает точность контроля и позволяет прекратить процесс нанесения пленки при достижении заданной толщины.

На фиг. 1 изображен эталонный импульс ,при контроле по предложенному способу; на фиг. 2 вЂ” измерительный им пульс; на фит. 3вЂ” разностный импульс; на фиг. 4 вЂ” элементарны и положительный импульс.

Контроль толщины пленки в,процессе ее нанесения,на катод согласно предложен ному способу осуществляют следующим образом.

Короткими .периодическими вспышками света освещают эталон и. свидетель. Эталонный импульс (см. фпг. 1) я вляется постоянньвм по величине и полярности. Измеритель ный импульс (см. фиг. 2), прошедший через свидетель, находится в противофазе эталон10 ному и уменьшается (по абсолютному значению),по мере увеличения оптической плотности (или толщины) наносимого слоя.

Вследспвие этого, разностный импульс (см. фиг. 3) также уменьшится. При каждой вспышке производится измерение |величины разностного импульса через время Т после момента на чала вспышки, когда а мплитуда им пульса достигает, величины, близкой к максима IbHQH. Время измерения f, задаваемое заранее, соста|вляет т/з вЂ” !ip време ни Т. При переходе разностного импульса через нуль (см. фиг. 4), т. е. при получении эле|ктронноизмерительным устройством элементарного положительного импульса с амплитудой ЛВ, выдается сигнал исполнительному органу, кото;рый:прекращает напыление.

Предмет изобретения

Способ контроля толщины пленки. в проЗО цессе ее нанесения на изделие. например на

241701

Hvz.1 Pvz. 1

Составитель М. Б. Нанкин

Редактор М. В. Афанасьева Техред T. Il. Курилко

Корректоры: Л. Корогод и А. Абрамова

Заказ 2076/4 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2 катод, с и спользованием эталона, свидетеля и электронно-измерительного устройства, связанного с исполнительным органом,:заключающийся,в том, что одно временно oclBpщают эталон и свидетель, сравнивают величины овеToBbIx потоков, прошедших через эталон и авидетель, и по величине разностного сигна ла судят о толщине наносимого слоя, Отличающийся тем, что,, с целью повышения то чности контроля и прекращения процесса нанесения пленки при достижении заданной толщины, эталон и авидет ль освещают короткими имлульсами, задерживают начало измерения до достижения разностным сигналом значения, близкого к ма ксимальному, после чего измеряют разностный сигнал в течение .времени, за которое у казанный сипнал преобразо вы вается электрон но,-измерительными устройспвами B команду для подачи на исполнительный орган, и прекращают процесс нанесения пленки, после того, как разносный сигнал изменит свою полярность.

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения на изделие

Способ измерения толщин тонких пленок в процессе их изготовления // 205312

Фотоэлектрическое следящее устройство // 203942

Устройство для определения толщины смазочного слоя между тяжелонагруженными вращающимисядеталями // 200179

Способ определения толщины упрочненного слоя на нетравленом металлическом образце // 196421

Визуальный фотометр // 180375

Сесфюзмая л идтен.,..7.,,х»1й:;рсг,^ п:.иг-:.с->&;,:; .д // 172057

Способ измерения толщины стенок труб // 164435

Патент 160337 // 160337

Патент 159176 // 159176

Устройство для неразрушающего измерения толщины диэлектрических и полупроводниковых пленок // 2102702

Интерферометрическое устройство для измерения физических параметров прозрачных слоев (варианты) // 2141621

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Способ измерения толщины листового стекла и устройство для его осуществления // 2146355

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Интерферометрическое устройство для бесконтактного измерения толщины // 2147728

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2149353

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Способ измерения оптической толщины плоскопараллельных прозрачных объектов // 2152588

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Устройство для контроля линейных размеров по принципу триангуляции // 2153647

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения // 2157509

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения и устройство для его реализации // 2158897

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2165071

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости