Двухпоточмый вакуумный турбомолекулярныйнасос

 

ОЛИСАНЙ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

245966

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 30.XII.1965 (№ 1047024/24-6) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 11.VI.1969. Бюллетень ¹ 20

Дата опубликования описания 19.XI.1969

Кл. 27с, 2

МПК F 04с

УДК 621.527.8 (088.8) Комитет по делам изобретений н открытий при Совете Министров

СССР

Автор изобретения

К). М. Тузанкий

Заявитель

ДВУХПОТОЧНЫЙ ВАКУУМНЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ

НАСОС

Предмет изобретения

Йзвестны двухпоточные вакуумные турбомолекулярные насосы, содержащие корпус с размещенными внутри пакетами чередующихся статорных и роторных дисков и установленную па валу по оси входного патрубка разделительную вставку.

Цель настоящего изобретения — повышение быстроты откачки.

Это достигается тем, что вставка выполнена в виде двух шнеков, сходящихся к оси патрубка, для закрутки потоков откачиваемого газа в направлении вращения вала.

1lа чертеже показан предлагаем ый насос.

Он содержит размещенные в корпусе I пакеты чередующихся статорных 2 и роторных

8 дисков. На валу 4 по оси входного патрубка 5 установлена разделительная вставка б, выполненная в виде двух сходящихся к оси патпубка шнеков. Вставка обеспечивает закрутку потоков откачиваемого газа в направлении вращения вала, и подает их на первый ряд статорных дисков. Газ через отверстия 7 на периферии корпуса откачивается форва5 куумным насосом и выбрасывается последним в атмосферу.

10 Двухпоточный вакуумный турбомолекулярный насос, содержащий корпус с размещенными внутри пакетами чередующихся статорных и роторных дисков и установленную на валу по оси входного патрубка разделитель15 ную вставку, отличающийся тем, что с целью повышения быстроты откачки, вставка выполнена в виде двух сходящихся к оси патрубка шнеков для закрутки потоков в направлении вращения вала.

245966

Редактор П. А. Вербова

3 а к аз 2746/17 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2

Составитель Т. Рабчук

Техред Л. Я, Левина

Корректоры: А, Николаевй и Л. Корогод