Способ определения газочувствительных характеристик и электрофизических свойств газочувствительного элемента в частотной области



Способ определения газочувствительных характеристик и электрофизических свойств газочувствительного элемента в частотной области

 


Владельцы патента RU 2439547:

Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "ЮЖНЫЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ" (RU)

Изобретение относится к области измерения электрических характеристик наноразмерных газочувствительных материалов, в частности к измерению комплексной проводимости газочувствительных материалов, и может быть использовано в производстве сенсоров газа, основанных на полупроводниковых неорганических материалах сложного состава, а также для синтеза структур пленки эквивалентной схемой. Способ согласно изобретению заключается в том, что в газочувствительном элементе измеряют активное и емкостное сопротивления в зависимости от частоты, из чего определяют модуль и аргумент комплексного сопротивления эквивалентной схемной модели газочувствительного элемента, затем определяют коэффициенты передаточной функции газочувствительного элемента и синтезируют электрическую схему модели газочувствительного элемента с определением значений сопротивлений и емкостей элементов схемной модели исследуемого газочувствительного элемента. Преимущество изобретения заключается в том, что измерения проводятся в широком интервале частот, что обеспечивает возможность выделить ту область, где измеряются величины, соответствующие объемному истинному сопротивлению образца. 1 ил.

 

Предлагаемое изобретение относится к области измерения электрических характеристик наноразмерных газочувствительных материалов, в частности к измерению комплексной проводимости газочувствительных материалов, и может быть использовано в производстве сенсоров газа, основанных на полупроводниковых неорганических материалах сложного состава, а также для синтеза структур пленки эквивалентной схемой.

Известен способ определения концентрации водорода в присутствии газообразных примесей (патент РФ №2371709, МПК G01N27/14 от 10.04.2008г.). Сигнал на выходе полупроводникового газочувствительного элемента измеряют непрерывно, циклически нагревая его до температуры Т1 и охлаждая его до температуры Т2, определяют производную проводимости чувствительного слоя газочувствительного элемента по времени в течение интервала времени между окончанием нагрева до температуры T1 и окончанием охлаждения до температуры Т2, определяют величину проводимости, являющуюся функцией концентрации газа, определяют наличие и количество локальных минимумов зависимости проводимости чувствительного слоя от времени в интервале между окончанием нагрева и окончанием охлаждения, при этом, если таких локальных минимумов было два, электрический сигнал на выходе полупроводникового чувствительного элемента измеряют в момент времени между первым и последним локальными минимумами, в котором абсолютная величина производной проводимости по времени достигает минимума, если локальный минимум был один, то электрический сигнал на выходе полупроводникового чувствительного элемента измеряют в момент времени между окончанием нагрева и последним локальным минимумом, в котором абсолютная величина производной проводимости по времени достигает минимума, а по значению измеренного электрического сигнала судят о величине проводимости чувствительного слоя полупроводникового газочувствительного элемента, по которой определяют концентрацию газа. Признаки аналога, совпадающие с существенными признаками способа:

а) измеряют электрический сигнал на выходе полупроводникового газочувствительного элемента с чувствительным слоем из оксида металла при нагревании его до заданной температуры;

б) по значению сигнала с выхода полупроводникового сенсора определяют величину проводимости чувствительного слоя газочувствительного элемента;

в) измерения проводимости чувствительного слоя элемента производится непрерывно.

Причинами, препятствующими достижению технического результата, являются: определяется производная проводимости чувствительного слоя газочувствительного элемента по времени в течение интервала между окончанием нагрева Т1 и охлаждением Т2; определяют количество локальных минимумов зависимости проводимости чувствительного слоя газочувствительного элемента от времени.

Известен способ распознавания газообразных веществ (патент РФ №2209425, МПК G01N 27/12 от 27.07.2003г.). Периодически нагревают в некоторой области температур Т0 и Тmax металлооксидный каталитический термохимический газочувствительный элемент и измеряют электропроводность газочувствительного элемента при исходной температуре Т0 до нагрева, после разогрева в области некоторой высокой температуры Тmax и после охлаждения до исходной температуры Т0, измерения электропроводности проводят на протяжении всего цикла нагрева и охлаждения в промежутках температур: от исходной ТО до максимальной Тmax и от максимальной Тmax до исходной Т0 соответственно, по меньшей мере, при двух отличных друг от друга скоростях нагрева в процессе синхронизованного с циклами нагрева фотовозбуждения поверхности газочувствительного элемента и без него при охлаждении, посредством параллельного измерения, на протяжении всего цикла нагрев-охлаждение, температуры Т и мощности Джоулевых потерь нагревателя газочувствительного элемента Р, по которым находят совокупность множеств температур {Т}={Тр}{ТТ}{Тс} особых точек (нулей функций), по меньшей мере, первых и вторых производных по времени значений мощности Джоулевых потерь нагревателя Р - {Тр}, температуры металлооксидного слоя газочувствительного элемента Т-{Тт} и его электропроводности С (или сопротивления R) {Тс}, и по найденным температурам однотипных i-ых особых точек {Ti с} - максимумов и точек перегиба, на каждой из двух температурных зависимостей проводимости, полученных при разных скоростях нагрева, определяют температурный сдвиг для каждой i-й пары особых точек в области нагрева и по нему рассчитывают энергии активации {Еа} и сравнивают {Еа} вместе с множеством особых точек {Т} путем сопоставления с соответствующими энергиями активации {Еа} и температурами особых точек {Т} эталонных газов или смесей газов, полученных на этом же или аналогичном ему устройстве в сходных технических условиях, после чего по числу совпадений делается вывод о вероятностном присутствии в исследуемой газовой смеси компонентов, входящих в состав эталонных смесей.

Признаки аналога, совпадающие с существенными признаками способа:

а) измерение электропроводности газочувствительного элемента при исходной температуре;

б) измерение электропроводности проводят на протяжении всего цикла нагрева.

Причинами, препятствующими достижению технического результата, являются: необходимость изменения температуры газочувствительного элемента от максимальной до исходной и синхронизированного с циклом нагрева фотовозбуждения поверхности газочувствительного элемента.

Наиболее близким по технической сущности к заявляемому способу является способ определения концентрации газов (патент РФ №2065159, МПК G01N 27/12 от 10.08.1996г). В газовой среде размещают газочувствительный элемент, нагревают газочувствительный элемент и измеряют его электропроводность, дополнительно в этой же газовой среде размещают каталитическое тело, активное к измеряемому газу, нагревают его до температуры, при которой происходит электронное возбуждение молекул газа, и измеряют изменение электропроводности газочувствительного элемента.

Признаки прототипа, совпадающие с существенными признаками способа:

а) в газовой среде размещают газочувствительный элемент;

б) газочувствительный элемент нагревают и измеряют его электропроводность;

в) измеряют изменение электропроводности газочувствительного элемента в зависимости от времени.

Причиной, препятствующей достижению технического результата, являются дополнительные затраты на размещение каталитического тела.

Задача предлагаемого изобретения - одновременное определение газочувствительных характеристик и электрофизических свойств газочувствительного элемента.

Технический результат достигается тем, что в газочувствительном элементе, измеряют активное и емкостное сопротивления в зависимости от частоты, из чего определяют модуль и аргумент комплексного сопротивления эквивалентной схемной модели газочувствительного элемента, затем определяют коэффициенты передаточной функции газочувствительного элемента и синтезируют электрическую схему модели газочувствительного элемента с определением значений сопротивлений и емкостей элементов схемной модели исследуемого газочувствительного элемента.

Для достижения технического результата в способе одновременного определения газочувствительных характеристик и электрофизических свойств газочувствительного элемента в частотной области, включающем размещение в газовой среде газочувствительного элемента, нагревание газочувствительного элемента и измерение его электропроводности, измерения изменения электропроводности газочувствительного элемента в зависимости от времени, причем в газочувствительном элементе измеряют активное и емкостное сопротивления в зависимости от частоты, из чего определяют модуль и аргумент комплексного сопротивления эквивалентной схемной модели газочувствительного элемента, затем определяют коэффициенты передаточной функции газочувствительного элемента и синтезируют электрическую схему модели газочувствительного элемента с определением значений сопротивлений и емкостей элементов схемной модели исследуемого газочувствительного элемента.

На чертеже изображена эквивалентная электрическая схема образца газочувствительного материала, где R0 характеризует объемное сопротивление образца с пленкой; С0 соответствует емкости двойного слоя на контактах электрод-образец; R1 характеризует объемное сопротивление отдельных зерен поликристаллической пленки; С1 соответствует емкости отдельных зерен поликристаллической пленки; R2 характеризует сопротивление зерен поликристаллической пленки; С2 соответствует емкости границ зерен поликристаллической пленки; цепочка Rw и Cw - характеризует диффузионный импеданс Варбурга и является эквивалентной схемой для электрода с емкостью двойного слоя.

Рассмотрим возможность осуществления данного способа на конкретном примере. В качестве газочувствительного элемента используется пленка полупроводникового материала.

Исследуемый газочувствительный элемент помещают в камеру для испытаний, в которую может быть подан анализируемый газ. Измерения проводят в температурном диапазоне 20-210°С на частотах 0-105 Гц. Сигнал с исследуемого газочувствительного элемента посредствам операционного усилителя преобразуют в напряжение, которое обрабатывается через аналого-цифровой преобразователь персональным компьютером. Пользователь, в зависимости от необходимых параметров проводимого эксперимента, устанавливает параметры режима работы газочувствительного элемента. Сигналы, вырабатываемые компьютером, преобразуются при помощи цифроаналогового преобразователя в аналоговый сигнал и управляют источником питания, который питает нагревательные элементы газочувствительного сенсора.

Измерения параметров R и С проводятся в зависимости от частоты, R(f) С(f), значения которых отсчитываются непосредственно цифровыми измерительными приборами. Из чего определяют модуль комплексного сопротивления Z(ω) измеряемого образца и его фазу φ(ω) в соответствии с обобщенным законом Ома:

Z(ω)=Z·cos(ϕ)-i·sin(ϕ)=Z'-i·Z'',

далее определяют реактивное сопротивление емкости Хс и модуль комплексное сопротивление Zk:

затем определяем аргумент комплексного сопротивления vk и вычислим комплексное сопротивление bk:

В показательном виде комплексное сопротивление газочувствительного элемента равно:

Для оценки параметров механизма химической реакции были измерены величины емкости и сопротивления на частотах 102-105 Гц. По результатам были рассчитаны реактивные составляющие сопротивления (Хс) и импеданс (Z) по следующим расчетным формулам:

где Xc - реактивная составляющая сопротивления; f - частота; С - емкость;

где Z - импеданс; R - активная составляющая сопротивления.

Передаточная функция эквивалентной схемы исследуемого газочувствительного элемента имеет вид

Для определения коэффициента полинома S(jw) составляют систему расчётных уравнений. Строят амплитудно- и фазочастотную характеристики цепи, на основании расчёта полного импеданса строится эквивалентная электрическая схема образца, пример которой приведен на чертеже. Проведенные измерения позволили синтезировать схемную модель газочувствительного элемента, представленную на чертеже. Синтезированная схемная модель газочувствительного элемента содержит последовательные и параллельные R, С - цепочки. Отличительной особенностью данного способа является возможность учета различных воздействующих факторов: температуры нагрева, влияния адсорбирующихся молекул газа, а также электрофизические характеристики газочувствительного элемента.

Одно из преимуществ заявляемого способа перед известными способами заключается в том, что измерения проводятся в широком интервале частот, чтобы выделить ту область, где измеряются величины, соответствующие объемному истинному сопротивлению образца. На исследуемый образец подается возмущающий синусоидальный сигнал малой амплитуды и изучается вызванный им сигнал-отклик на выходе:

где ω=2·π·f - круговая частота, θ - фазовый сдвиг.

Способ одновременного определения газочувствительных характеристик и электрофизических свойств газочувствительного элемента в частотной области, включающий размещение в газовой среде газочувствительного элемента, нагревание газочувствительного элемента и измерение его электропроводности, измерения изменения электропроводности газочувствительного элемента в зависимости от времени, отличающийся тем, что в газочувствительном элементе измеряют активное и емкостное сопротивления в зависимости от частоты, из чего определяют модуль и аргумент комплексного сопротивления эквивалентной схемной модели газочувствительного элемента, затем определяют коэффициенты передаточной функции газочувствительного элемента и синтезируют электрическую схему модели газочувствительного элемента с определением значений сопротивлений и емкостей элементов схемной модели исследуемого газочувствительного элемента.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области измерения концентраций водорода и может быть использовано для контроля газовой атмосферы в помещениях промышленных предприятий с опасными условиями производства, в частности для обеспечения водородной взрывобезопасности под защитной оболочкой АЭС и взрывозащитных камер.

Изобретение относится к измерительным средствам для исследования и анализа газов при помощи электрических средств, в частности полупроводниковых сенсорных датчиков, и может быть использовано в системах пожарной сигнализации, сигнализаторах опасных газов и газоанализаторах.

Изобретение относится к области аналитической химии, в частности к области анализа газовых смесей, и может быть использовано для определения типов различных газов и их количественного содержания в воздухе.

Изобретение относится к аналитической химии, в частности определению общего водорода в таблетках из двуокиси урана. .

Изобретение относится к аналитической химии, в частности определению водорода в металлах. .

Изобретение относится к аналитической химии, в частности к определению общего водорода (свободного и связанного) в топливных таблетках из двуокиси урана. .

Изобретение относится к аналитической химии, в частности определению общего водорода в таблетках из двуокиси урана. .

Изобретение относится к области микроэлектронных и микромеханических устройств и может быть использовано в качестве нагревателя интегрального полупроводникового газового датчика, инфракрасного излучателя адсорбционного оптического газоанализатора, активатора печатающей головки струйного принтера.

Изобретение относится к методам кондуктометрического контроля изделий и может быть использовано для определения теплофизических характеристик изделий радиоэлектронной и микроэлектронной аппаратуры, а также для разбраковки изделий по теплофизическим параметрам.

Изобретение относится к методам кондуктометрического контроля изделий и может быть использовано для определения теплофизических характеристик изделий, например, в электронной промышленности.

Изобретение относится к неразрушающему тепловому контролю и может быть использовано для контроля состояния протяженных железобетонных изделий, имеющих основную металлическую продольную несущую арматуру (например: опоры линий электропередач, балки, сваи, трубы и т.п.), применяемых в различных отраслях хозяйства в процессе производства, строительства и эксплуатации

Изобретение относится к технической физике, а именно к способам контроля и измерения свойств веществ, и предназначено для определения аномалий на политермах свойств высокотемпературных металлических расплавов

Изобретение относится к аналитическому приборостроению и может быть использовано в газоанализаторах, газосигнализаторах и газовых пожарных извещателях для контроля довзрывных концентраций взрыво-пожароопасных газов и газовых смесей. Полупроводниковый газовый сенсор содержит корпус 1 реакционной камеры 2, выполненный из коррозионно-стойкой стали. Корпус 1, с торца закрытый сеткой 3 из проволоки нержавеющей стали диаметром 0,03-0,04 мм шагом 0,06-0,08 мм. В корпусе 1 по центру реакционной камеры 2 на контактных проводниках 4 установлен шарообразный полупроводниковый газочувствительный элемент 5 при помощи проводов нагревателя 6 и измерительного проводника 7. Внутри полупроводникового газочувствительного элемента 5 размещен нагреватель 6 в виде цилиндрической пружины, внутри которой по ее оси и по диаметру шарообразного полупроводникового элемента 5 расположен прямой измерительный проводник 7. Нагреватель 6 и измерительный проводник 7 газочувствительного элемента 5 выполнены из платиновой проволоки диаметром 0,01-0,02 мм, нагреватель 6 имеет 2-7 витка проволоки, шарообразный полупроводниковый газочувствительный элемент 2 имеет диаметр 0,4-0,8 мм и выполнен из смеси оксида олова SnO2: 5-95 мас.% и оксида индия In2O3: 5-95 мас.%. Изобретение обеспечивает повышение чувствительности полупроводникового газового сенсора к малым концентрациям газа, а также создание простого, надежного, сравнительно дешевого и быстродействующего сенсора, имеющего длительную работу в необслуживаемом режиме. 7 ил., 3 табл.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля концентрации метана в атмосфере горных выработок и шахт. Предлагаемый способ измерения концентрации метана основан на использовании термокаталитического сенсора с рабочим и сравнительным элементами, размещенными в реакционной камере с диффузионным доступом анализируемой среды. Рабочий и сравнительный элементы соединяют последовательно и подключают к стабилизатору постоянного тока, регулируемому внешним сигналом. При включении прибора регулированием тока цепи производят установку заданного начального значения напряжения на сравнительном элементе, при котором температура рабочего элемента превышает температуру начала полного окисления метана, после чего значение тока в цепи фиксируют и сохраняют постоянным до выключения прибора. Измеряют и запоминают начальное напряжение на рабочем элементе. Определение низких концентраций метана осуществляют, используя в качестве выходного сигнала напряжение на рабочем элементе. Параллельно этому контролируют напряжение на сравнительном элементе и при достижении последним заданной предельной величины измерения напряжения на рабочем элементе прекращают, а в качестве выходного сигнала для определения концентрации метана используют напряжение на сравнительном элементе до возвращения последнего к предельному значению. Устройство для измерения концентрации метана содержит стабилизатор постоянного тока, регулируемый внешним сигналом, термокаталитический сенсор с рабочим и сравнительным элементами, включенными последовательно, и процессор, соединенный через аналого-цифровой преобразователь с термокаталитическим сенсором, управляющий стабилизатором постоянного тока, обеспечивающий измерение напряжений на рабочем и на сравнительном элементах и обработку выходных сигналов. Изобретение направлено на расширение диапазона измерений при одновременном упрощении конструкции устройства и повышении точности измерений. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к анализу материалов, в частности, для определения содержания водорода и может быть использовано при изготовлении газоанализаторов водорода в космической технике, автомобильной промышленности, химической промышленности и т.д. Сущность изобретения: предложен резистивный датчик концентрации водорода, содержащий водородочувствительный элемент, выполненный в виде толстопленочного резистора, содержащего в материале, по крайней мере, оксид палладия и нагревательный элемент, подогревающий водородочувствительный элемент. Водородочувствительный элемент может быть выполнен из серебропалладиевой резистивной пасты.Техническим результатом является создание миниатюрного датчика водорода, как атомарного, так и молекулярного, позволяющего проводить качественные и количественные измерения. Датчик может быть изготовлен по простой, дешевой и широко применяемой в промышленности технологии. 1 з.п. ф-лы, 1 ил., 1 пр.

Изобретение относится к измерительной технике, представляет собой способ и устройство для бесконтактного измерения удельного электрического сопротивления металлического сплава методом вращающегося магнитного поля и может использоваться для анализа материалов, в частности металлов и сплавов в жидком и/или твердом состоянии, путём бесконтактного определения электрического сопротивления нагреваемого тела в зависимости от температуры. Способ состоит в том, что определяют угол поворота образца во вращающемся магнитном поле, создаваемом магнитным узлом в виде трех катушек трехфазного статора, измеряют значения тока, по значениям угла поворота и тока определяют удельное электрическое сопротивление, при этом измерение тока в одной из катушек осуществляют посредством мультиметра, а нулевые значения тока в любой из катушек используют для сигнализации о нарушении параметров магнитного поля. Устройство для реализации способа включает источник вращающегося магнитного поля с магнитной системой в виде трех катушек трехфазного статора, датчики тока, подключенные к катушкам, и компьютер, дополнительный датчик тока, мультиметр и устройство сигнализации, содержащее три вычитающих устройства, сумматор, пороговый элемент, оптический индикатор, входы мультиметра соединены с дополнительным датчиком тока, выход мультиметра соединен с одним из входов компьютера, входы каждого вычитающего устройства подключены к выходам двух датчиков тока, подключенных к катушкам, выходы вычитающих устройств соединены со входами сумматора, выход которого через пороговый элемент соединен с оптическим индикатором, выход порогового элемента является выходом устройства сигнализации и соединен с другим входом компьютера. Техническим результатом является обеспечение сокращения времени измерений, упрощение эксперимента при сохранении требуемой точности. 2 н. и 3 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к технической физике, а именно к анализу материалов путем определения вязкости и электрического сопротивления и плотности высокотемпературных металлических расплавов. Предлагается устройство для крепления электронагревателя в электропечи, содержащее, по крайней мере, два соединительных элемента электронагревателя, являющиеся и токоподводами, нижний фланец электропечи, имеющий, по крайней мере, два фланцевых узла крепления, также являющихся токоподводами, и, по крайней мере, два болтовых соединения. При этом в каждом из фланцевых узлов крепления выполнено клиновидное углубление, в клиновидном углублении каждого из фланцевых узлов крепления размещен, по крайней мере, один соединительный элемент электронагревателя, кроме того, в устройство введены, по крайней мере, два клиновидных элемента фиксации крепления, по крайней мере, один из которых размещен в клиновидном углублении каждого из фланцевых узлов крепления, а болтовые соединения осуществляют функцию зажатия клиновидных элементов фиксации крепления соединительных элементов электронагревателя во фланцевых узлах крепления. Технический результат - ускорение и упрощение замены электронагревателя, упрощение и удешевление экспериментов. 3 ил.

Группа изобретений относится к технической физике, а именно - к анализу материалов путем бесконтактного определения методом вращающегося магнитного поля электросопротивления образца в зависимости от температуры, в частности - к определению относительной электропроводности металлов и сплавов в жидком и/или твердом состоянии. Способ определения удельного электросопротивления расплавов, при котором тигель с расплавом подвешивают коаксиально в цилиндрической электропечи на нижнем конце рабочей части упругой проволоки, верхний конец упругой проволоки закреплен в узле фиксации. При этом перед исследованием расплава изменяют длину рабочей части упругой проволоки путем обеспечения неподвижности верхнего конца рабочей части упругой проволоки относительно узла фиксации. Устройство для определения удельного электросопротивления расплавов содержит тигель с расплавом, подвешенный коаксиально в цилиндрической электропечи на нижнем конце рабочей части упругой проволоки, верхний конец которой закреплен в узле фиксации. При этом в него введены струбцина и штифт, закрепленный некоаксиально в узле фиксации, струбцина закреплена на штифте с возможностью ее перемещения вдоль штифта и имеет средство для закрепления в струбцине верхнего конца рабочей части упругой проволоки. Технический результат - обеспечение сокращения времени экспериментов и их упрощение при определении электросопротивления различных сплавов в случае их смены. 2 н.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к устройствам для исследования сверхпроводников с помощью электрических и магнитных средств и позволяет обеспечить высокую точность измерения температурных параметров сверхпроводников. В корпусе устройства установлены две катушки индуктивности. Оси катушек ориентированы параллельно друг другу и поверхности образца, расположенного между катушками. Для уменьшения поля рассеяния первичной катушки и увеличения величины спада сигнала при переходе в сверхпроводящее состояние катушки индуктивности выполнены с прямоугольным поперечным сечением и установлены меньшей стороной прямоугольника параллельно поверхности образца. Механизм регулировки и фиксации расстояния между образцом и поверхностью криоагента обеспечивает исключение влияния конвекционных паров вблизи поверхности криоагента. Корпус устройства выполнен из двух половин. Образец сверхпроводника установлен в плоскости разъема корпуса для обеспечения точности фиксации положения сверхпроводника относительно катушек индуктивности и поверхности криоагента. 4 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение может быть использовано в газоанализаторах, газосигнализаторах и газовых пожарных извещателях. Полупроводниковый газовый сенсор содержит корпус 1 реакционной камеры 2, выполненный из коррозионно-стойкой стали. Корпус 1, с торца закрытый сеткой 3 из проволоки диаметром 0,03…0,05 мм шагом 0,05…0,07 мм из нержавеющей стали. В корпусе 1 по центру реакционной камеры 2 на контактных проводниках 4 установлен шарообразный полупроводниковый газочувствительный элемент 5 при помощи проводов нагревателя 6 и измерительного проводника 7. Внутри полупроводникового газочувствительного элемента 5 размещен нагреватель 6 в виде цилиндрический пружины, внутри которой по ее оси и по диаметру шарообразного полупроводникового элемента 5 расположен прямой измерительный проводник 7. Нагреватель 6 и измерительный проводник 7 газочувствительного элемента выполнены из платиновой проволоки диаметром 0,015…0,03 мм, при этом нагреватель выполнен 2…8 витками этой проволоки с диаметром витков 0,3…0,6 мм. Пространство вокруг прямого измерительного проводника 7 и внутри цилиндрический пружины нагревателя 6 заполнено газочувствительным составом SnO2, вокруг которого (и нагревателя 6) расположен шарообразный пористый и газочувствительный слой 5 из In2O3; внешний диаметр которого составляет 0,8…0,9 мм. Изобретение обеспечивает повышение чувствительности, а также существенное улучшение механической прочности, долговременной стабильности, быстродействия и устойчивости к воздействию внешних факторов. 8 ил., 4 табл.
Наверх