Вакуумная камера для исследования свойств

Авторы патента:

G01N21 - Исследование или анализ материалов с помощью оптических средств, т.е. с использованием инфракрасных, видимых или ультрафиолетовых лучей (G01N 3/00-G01N 19/00 имеют преимущество; измерение механических напряжений вообще G01L 1/00; оптические элементы измерительных приборов G02B; анализ изображений путем обработки данных G06T)

25865 4

О Гт и-е А-н и е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Саватеева

Социалистических

Респубики

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 03Х11.1967 (№ 1168786/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Кл. 42h, 20/01

МПК С ОЦ

УДК 535.243(088.8) Комитет по аеиам изооретеиий и открытий при Совете Мииистроа

СССР

Опубликовано ОЗ.XI1.1969. Бюллетень № 1 за 1970

Дата опубликования описания 15.IV.1970

Авторы изобретения

5. И. Веркин и В. П, Стрельников

Заявитель Физико-технический институт низких температур АН Украинской ССР

ВАКУУМНАЯ КАМЕРА ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ СВОЙСТВ

МАТЕРИАЛОВ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ НА НИХ

УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ

Изобретение относится к вакуумным камерам для исследования свойств материалов при воздействии на них ультрафиолетового излучения.

Известны вакуумные камеры аналогичного назначения с криогенной откачкой. Однако при использовании этих камер для исследования свойств материалов, облучаемых вакуумным ультрафиолетовым излучением, трудно вводить в камеру излучения с длинами волн ниже 1200 вЂ” 1100 А. Нет таких материалов, которые пропускали бы излучение с длинами волн ниже 1100 А.

Существующие источники вакуумного ультрафиолетового излучения с диапазонами длин волн от 1200 А и ниже (безоконные газоразрядные лампы) работают при сравнительно высоких давлениях. При вводе излучения из этих источников в вакуумные камеры, имеющие рабочее давление 10 6 мм рт. ст. и ниже, необходимо использовать сложную систему дифференциальной откачки, которая снижает интенсивность излучения, вводимого в камеру, и ограничивает площадь облучения исследуемого объекта.

Целью настоящего изобретения является расположение исследуемого объекта на максимально близком расстоянии от источника излучения с сохранением в камере высокого вакуума.

Для этого источник ультрафиолетового излучения введен внутрь вакуумной камеры и состоит из сопла Лаваля, через которое подается газ внутрь камеры, электронной пушки, возбуждающей ультрафиолетовое свечение струи газа, и охлаждаемого конденсатора.

На фиг. 1 схематично изображена предлагаемая вакуумная камера; на фиг. 2 вЂ” раз10 рез по А вЂ” А на фиг. 1.

Газ илп смесь газов по трубке 1 через соп ° ло Лаваля 2 поступает в камеру 3, возбуждается электронным пучком, выходящим из электронной пушки 4, и конденсируется на

15 конденсаторе 5, который охлаждается до температуры, ниже температуры конденсации газа или смеси газов. Вентиль 6 служит для регулировки подачи газа в сопло Лаваля.

Исследуемые объекты 7 располагают на ма20 нипуляторах 8 вблизи струи газа.

При охлаждении конденсатора до температуры 20 К и ниже конденсатор служит одновременно крпогенным насосом камеры.

Патрубок 9 предназначен для подключения

25 вакуумных насосов.

Предмет изобоетения

Вакуумная камера для исследования свойств материалов при воздействии на них

30 ультрафиолетового излучения, содержащая

258654

Л-A

C " ) c е .!

9 и з.2

Составитель В. Мирошкииа

Редактор Т. 3. Орловская Тсхред Т. П. Курилко Корректор Л. И. Гаврилова

Заказ 777/17 Тираж 499 Подписное

LIHHHIIH Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 источник излучения и установленные внутри камеры держатели для образцов исследуемых материалов, отличающаяся тем, что, с целью максимального приближения источника ультрафиолетового излучения к облучаемым объ1Q

® ектам, источник излучения внесен .внутрь камеры и состоит из сопла Лаваля, подающего газ в камеру, электронной пушки, .возбуждающей ультрафиолетовое свечение струи газа, 5 и охлаждаемото конденсатора.