Радиационный пирометр для контроля
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 26.Х.1967 (№ 1193565/18-10) с присоединением заявки №
Приоритет
Кл. 421, 9/20
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
МПК G Olk
УД К 532.521.2 (088.8) Опубликовано ОЗ.Xll.1969. Бюллетень № 1 за 1970
Дата опубликования описания 14.IV.1970
Авторы изобретения
А. Е. Волпяиский, В. В. Гусев, В. Я. Кислер, Д. И. Пеньков и А. С. Шапиро
Заявитель
РАДИАЦИОННЫЙ ПИРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ
ТЕМПЕРАТУРЫ В ПЕЧАХ ВЫРАЩИВАНИЯ
МОНОКРИСТАЛЛОВ
Изобретение относится к области контроля и регулирования температуры в процессах кристаллизации полупроводниковых, оптических и других монокристаллов, в частности к устройствам для контроля температуры.
Известны радиационные пирометры, используемые для измерения температуры, например в печах для выращивания монокристаллов, содержащие светопровод, установленный в раоочей зоне печи, и приемник излучения.
К недостаткам известных пирометров относится нестабильность термо-э.д.с., вызываемая тем, что на поверхности светопровода появляется налет из-за,повышенной загазованности среды, окружающей светопровод прн измерении температуры.
Цель изобретения — создание устройства, обеспечивающего защиту светопровода от действия окружающей среды, повышающего стабильность и надежность измерений.
В предлагаемом пирометре светопровод помещен коаксиально с зазором в кварцевую трубку, с торцом которой герметично .соединено окно из оптически прозрачного кварца.
На чертеже дана схема радиационного пирометра для контроля температуры в печах выращивания монокристаллов.
Прибор содержит камеру 1,печи для выращивания монокристаллов, нагреватель 2, тигель с расплавом 8, защитное окно 4 из оптически прозрачного кварца, герметично соединенное с кварцевой трубкой 5, с помещенным в нее светопроводом б (например, сапфировым) с зазором, шток 7, в который с помощью сальника 8 герметично введена кварцевая трубка, и приемник 9 излучения (например, термобатарея).
Устройство работает следующим образом.
Защищенный светопровод пирометра вводится в рабочую зону печи таким образом, что оптически прозрачное кварцевое окно размещается там, где отсутствует загазованность (в зоне температуры ниже 1150 С).
Таким образом, излучение дна тигля или другой выбранной нагретой поверхности печи проходит через окно вдоль светопровода и попадает на приемник 9, где преобразуется термо-э.д.с., используемая для контроля и регулирования температура печи.
Благодаря кварцевой трубке боковая поверхность светопр овода изолирована от окружающей среды с повышенной загазованностью и не покрывается налетами. В результате отсутствует искажение пропускания светопроводом измеряемого излучения, что повышает стабильность измерений.
Оптически прозрачный кварц, применяемый для защитного окна, допускает длительное применение его при температуре 1150 С с соЗО хранением оптических свойств.
Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности
258662
Предмет изобретения
Составитель T. Б. Краснова
Редактор Т. В. Иванова Текред Л, В. Куклина Ь.орректор С, М. Сигал
Заказ 783/2 Тираж 499 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров CCCP
Москва Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
Радиационный пирометр для контроля температуры в печах выращивания монокристаллов, содержащий,светопровод, установленный в рабочей зоне печи, и,приемник излучения, отличающийся тем, что, с целью ооеспечения стабильности и надежности измерений, светопровод помещен коаксиально с зазором в кварцевую трубку, с торцом которой герме5 тично соединено окно из оптически прозрачного кварца.
