Связка для абразивного инструмента

 

268936

ОП И САНИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

K АВТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 22.1,1969 (№ 1301191/29-33) Кл. 67с, 1

801х 11,20 с присоединением заявки №

ИПК В 24d 3/00

С 091 3/14 х ДК 621.921.079:621..922.02 (088.8) Приоритет

Опубликовано 10.1V.1970. Бюллетень М 14

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Дата опубликования описания 27.111.1971

Авторы изобретения

В. T. Чалый, А, Е. Шило, Б. М. Емельянов, Л. П. Когосо, Г

В. Т. Тищенко и О. Е. Купершмид !

1 з:— . !-1Ь,„ .;, -,- и п

11 3

Заявитель

СВЯЗКА ДЛЯ АБРАЗИВНОГО ИНСТРУМЕНТА

Изобретение относится к связкам для абразивного инструмента.

Известна связка для абразивного инструмента, например, алмазного, содержащая синтетический компонент.

Целью изобретения является снижение шероховатости обрабатываемой поверхности, преимущественно полупроводниковых материалов.

Это достигается тем, что связка включа«т

66 — 95 вес. % фторопласта и 5 — 35 вес. % легкоплавкого, например, боросвинцового стекла.

Основным недостатком алмазного инструмента на известных связках является невозмо>кность получения чистоты поверхности выше V8 — V9, сравнительно большая глубина дефектного слоя до 9 мк. Кроме того, на поверхности пластин в процессе шлифования появляются направленные риски, снижающие качество обработанной поверхности.

Предлонсенная связка для абразивного инструмента снижает шероховатость обрабатываемой поверхности полупроводниковых материалов, уменьшает величину нарушенного повсрхностного слоя, уменьшает количество направленных рисок на поверхности, повыпаст самозатачиваемость инструмента, В качестве легкоплавкого стекла предусматривастся применять неорганическое стекло, например, боросвинцовое с температурой начала размягчения 300 — 380 С, т. е. близкой к тлшсратур«плавления фторопластовой фракции связки.

Фторопластовая фракция связки обусловливает хорошие полирующпе свойства инструмента. Лсгкonëàâêoå стекло достаточно хорошо смачивает алмаз, тем самым предопределяя повышенное удержание алмазных зерен в связке.

Вместе с тем, отличаясь хрупкостью, легкоплавкое стекло благоприятствует процессу самозата швания инструмента.

Для увсличения режущей способности инструмента на предлагаемой связке рабочую поверхность делают рифленой на всю глуби20 ну алмазоносного слоя.

Рабо гую поверхность оформляют рифлениями «мелкая вафля» или «ромбик».

Алмазные круги на предлагаемой связке

25 обсспсчиьают получение класса чистоты поверхности пс ниже V11 — V12.

Технология изготовлс|шя алмазного инструмента заключается в следующих последова30 тельно выполняемых операциях: сушке поПредмет изобретения

Составитель С. H. Воронина

Корректор Г, С. Мухина

Редактор Э. Н. Шибаева

Изд. ¹ 249 Заказ 538/I Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, )I(35, Раугпская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапуиова, 2 порошков фторопласта и легкоплавкого стекла; приготовлении связки; смешивании связки с алмазным порошком; загрузке алмазного порошка в пресс-форму; холодным брикетировании алмазоносного кольца под давлением 200 †4 кгс/сл2; спекании алмазоносных колец в форме в специальных печах с вращающимся поддоном и принудительной циркуляцией воздуха при температуре 380—

400 С.

Связка для абразивного инструмента, например, алмазного, содержащая синтетический компонент, отличающаяся тем, что, с целью снижения шероховатости обрабатываемой поверхности, преимущественно, полупроводниковых материалов, связка включает 66—

95 вес. % фторопласта и 5 — 35 вес. % легкоlo плавкого, например, боросвинцового стекла.