Механизм точных перемещений
1КТЬнтно-тех,.;".;:-.", твцм«тKQ т « «rр p.(),—, ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН Ия
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Саветсних
Социалистических
Респуйлик
Зависимое от азт, свидетельства ¹
Кл. 471, 5
Заявлено 24Х.1968 (¹ 1243589 25-8) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 17.IV.1970. Бтоллстень ¹ 15
Дата опуоликования описания 4Л I I I.1970
МП I«, Г 06g
УД К 62-52 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Аитс ры изобретения С, П. Андреев, В. А, Зайцев, Я. А, Райхман и A. П, Свидельский
Заявитель
МЕХАНИЗМ ТОЧНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ
Изобретение относится к области точной механики, в частности к устройствам, обеспечивающим точные перемещения различных объектов при их обработке в вакуумных камерах.
Известные механизмы точных перемещений, содержащие объектный стол на упругой подвеске, подвижные каретки с приводами, снабженными сильфонами, не исключают сухого трения при перемещениях в вакуумной камере, ухудшающего характеристики механизмов, а также имеют достаточно сложную конструкцию.
В описываемом механизме с целью устранения сухого трения при работе в вакуумной камере и упрощения конструкции упругая подвеска выполнена в виде закрепленной на одной из подвижных кареток полой стойки, связанной с приводом точных перемещений посредством упругого стержня. Один конец стержня жестко соединен с консольной частью стойки, а другой — с упругим диском, размещенным за полостью стойки.
На чертеже изображен описываемый механизм в продольном разрезе.
Механизм состоит из основания 1, в направляющих которого вне вакуумной камеры 2 установлена каретка 8, несущая подвижную каретку 4. Обе каретки имеют приводы с тормозами и изолированы от полости камеры сильфоном 5, На каретке 4 закреплена коническая полая стойка 6, которая служит одновременно опорой и упругой подвеской объектного стола 7.
С консольным концом стойки жестко соеди5 нен упругий стержень 8, свободный конец которого входит в дисковый упрупш шарнир 9 и связан с двухкоординатным приводом точных перемещений, установленным также на каретке 4.
10 Сверху в камере имеется отверстие для установки обрабатывающего инструмента. Место крепления обраоатьтваемых объектов па столе смещено относительно оси стойки для облегчения оптических измерений переме15 ще ий.
Работа механизма происходит следующим ооразом.
С помощью подвижных кареток 3 и 4 производят грубую установку стола в заданное по20 ложение, при этом сильфон деформируется.
Точная доводка производится приводом точных переметцений, передающим изгибающий момент на стержень и создающим усилие, которое деформирует стойку в двух направленп25 ях, совпадающттх с направлениями перемещений кареток 8 и 4.
Предмет изобретения
Механизм точных перемсщетттттт, содержа30 щий объектный стол тта Ilðóãoé подвеске, 269667
Составитель Т. Егорова
Редактор Т. Фадеева Техред А. А. Камышникова Корректор Н. А. Митрохина
Заказ 2157/19 Тираж 480 Подписное
Ц1-1ИИПИ Комн гета но делам изобретений и огкрытий прп Совеге Министров СССР
Москва, )К-35, Раушская наб., д, 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 Ц подвижные каретки с приводами грубых и точных перемещении, снаб.кеиными сильфоиами, отлича ощийсл тем, что, с целью устранения сухого трения при работе в вакуумной камере и упрощения конструкции, упругая подвеска выполнена и виде закрепленной иа одной из подвижных кареток полой стопки, связанной с приводом точных перемещений посредством упругого стрежня, один конец которого жестко соединен с консольной частью карет5 ки, а другой — с упругим диском, размещенным за полостью стойки.
