Устройство визуализации инфракрасного и терагерцового излучений

Изобретение относится к области измерений электромагнитного излучения и касается устройства визуализации инфракрасного и терагерцового излучений. Устройство содержит плоский корпус с расположенной в нем опорной рамкой в виде двух диэлектрических колец. Корпус включает в себя два окна для регистрации излучения и закреплен на держателе со стойкой. Между диэлектрическими кольцами размещен ИК-ТГц конвертер, представляющий собой диэлектрическую подложку с нанесенной двухслойной пленочной структурой Al-VOx, которую опоясывает с зазором пленочный нагреватель. На противоположной стороне диэлектрической подложки, под пленочной структурой Al-VOx, расположена сетка из Al толщиной не более 100 нм, с квадратными отверстиями. Длина стороны сетки прямо пропорциональна длине волны излучения, распространяющегося в диэлектрической подложке. На свободной части поверхности диэлектрической подложки расположен термодатчик. Технический результат заключается в расширении динамического диапазона устройства. 3 з.п. ф-лы, 7 ил.

 

Изобретение относится к технике радиоизмерений, в частности к измерениям интенсивности электромагнитного излучения, и может быть использовано для экспрессного исследования пространственного распределения энергии излучения на длинах волн 0,2-14,5 мкм и 1190-1690 мкм.

Устройства визуализации служат для анализа импульсного и непрерывного лазерного излучения в терагерцовом (ТГц) и инфракрасном (ИК) диапазонах с целью определения размера, конфигурации и пространственного распределения энергии излучения. Современные радиолокационные и телекоммуникационные системы создаются на основе интегральных схем и модулей диапазона СВЧ, работающих в импульсных режимах генерации, усиления и преобразования мощности. Метрологическое обеспечение их разработки, производства и эксплуатации невозможно без контрольно-измерительной аппаратуры для определения временных и энергетических параметров импульсных сигналов см- и мм-диапазонов. В связи с активным развитием источников терагерцового излучения становится актуальной задача разработки устройств для визуализации терагерцового излучения, обеспечивающих экспрессный контроль источников указанного излучения, способных функционировать в условиях производственной практики. Отсутствие коммерчески доступных устройств, предназначенных для визуализации мощного терагерцового излучения, потребовало разработки новых или адаптации уже существующих методов и техник. Таким образом, возникла потребность в разработке устройства визуализации ИК- и ТГц-излучений.

Основными проблемами при разработке устройств визуализации излучений являются: обеспечение высокого уровня чувствительности и ее равномерности по всему полю визуализации, необходимость запоминания информации, малое время записи и стирания информации, обеспечение постоянства чувствительности при изменении температуры окружающей среды.

Известно устройство для визуального наблюдения и регистрации электромагнитного излучения (авторское свидетельство SU №364268), предназначенное для качественного наблюдения и количественных измерений пространственного распределения полей излучения. Приемник работает на принципе температурного тушения люминесценции, соответствующего пространственному распределению интенсивности исследуемого поля ИК - СВЧ волн. Локальный нагрев люминесцентного экрана регистрируемым излучением приводит к значительным изменениям интенсивности свечения экрана, вызванного ультрафиолетовым возбуждением (термографический эффект). Наблюдать изображение распределения плотности энергии излучения, падающей на приемник, можно как визуально, так и при помощи фотографирования с последующим фотометрированием или с применением других методов регистрации видимого излучения. Чувствительность экрана определяется характеристиками люминофора и мощностью излучения. Порог визуальной регистрации прибора составляет около 1 мВт/см2. На экране радиовизора можно идентифицировать детали изображения размером порядка десятых долей миллиметра.

Однако описанное выше устройство обладает низкой чувствительностью в ТГц-диапазоне и малой постоянной времени приемника.

Известен также преобразователь терагерцового излучения в диапазоне длин волн λ=30-3000 мкм (патент RU на изобретение №2447574). Преобразователь выполнен в виде ультратонкой (не менее чем в 50 раз меньше длины волны ТГц-излучения) многослойной структуры на основе диэлектрического слоя. Со стороны падения ТГц-излучения на поверхности диэлектрического слоя выполнен металлизированный топологический рисунок, образующий частотно-избирательную поверхность (ЧИП). С обратной стороны диэлектрического слоя нанесен сплошной слой с металлической проводимостью, поверх которого нанесен тонкий слой материала, обладающего высокой излучательной способностью в инфракрасном диапазоне (коэффициент серости, близкий к единице). Вариантом является преобразователь, в котором с обратной стороны диэлектрического слоя резонансного поглотителя терагерцового излучения поверх слоя с металлической проводимостью вместо излучающего слоя наносится второй диэлектрический слой, на котором формируется металлизированный топологический рисунок, образующий вторую ЧИП.

К числу недостатков данного решения следует отнести сложность конструкции и ограниченные возможности применения вследствие высокого уровня шума, что требует применения дополнительных средств фильтрации.

Исследование характера оптического излучения в диапазоне 0,3÷10,6 мкм с помощью визуализаторов на основе реверсивных пленочных сред Al-VO2-Д, обладающих внутренней памятью, основано на контрастном изменении цвета среды при воздействии контролируемого излучения. Среды Al-VO2-Д обладают одновременно яркостным и цветовым контрастом, а также достаточно высокой энергетической чувствительностью и высоким пространственным разрешением.

Наиболее близким к предлагаемому изобретению является визуализатор электромагнитного излучения (Олейник, А.С. Визуализатор на основе материала ФТИРОС / А.С. Олейник, В.Ф. Смоляков, В.М. Степанов, Н.М. Руденко // Электронная промышленность выпуск 5-6. - 1982. - С. 111-113). Устройство состоит из блоков регистрации и питания. Блок регистрации представляет собой металлическую конструкцию, в которой размещена регистрирующая пластина на основе пленочной структуры из окислов ванадия VOx, функционирующий на основе фазового перехода металл-полупроводник (ФПМП). Под действием регистрируемого излучения происходит нагрев экрана до температуры ФПМП, при этом, вследствие перераспределения хода спектрального коэффициента отражения слоя VOx в видимой области спектра, происходит резкое и обратимое изменение цвета экрана. Регистрируемое излучение вызывает контрастное изменение цвета термохромной пластины экрана. В виду разницы в коэффициентах поглощения пленочной регистрирующей средой VOx в соотношении 20/1 в диапазонах длин волн 0,3-3 мкм и 5-10,6 мкм имеет место разница в чувствительности визуализатора. Конструкция блока регистрации позволяет производить быструю замену регистрирующих пластин и предусматривает его крепление на оптической скамье. Блок питания представляет собой электронную схему с элементами управления и сигнализации, обеспечивает термостатирование электронагревателя блока регистрации с целью запоминания оптической информации. Блок питания позволяет производить регулировку чувствительности прибора. Блок регистрации может использоваться самостоятельно без источника питания, но в этом случае запоминание вводимой информации не обеспечивается.

Недостатком наиболее близкого аналога является низкая чувствительность прибора в ТГц-диапазоне длин волн из-за малого поглощения излучения слоем VOx (не более 4%).

Задача настоящего изобретения заключается в создании простого и надежного устройства, обеспечивающего визуализацию характеристик пространственного распределения излучения ИК- и ТГц-источников в производственных условиях.

Сущность изобретения характеризуется тем, что в устройстве визуализации инфракрасного и терагерцового излучений, содержащем плоский корпус с расположенной в нем опорной рамкой в виде двух диэлектрических колец и имеющий два окна для регистрации излучения, плоский корпус закреплен на держателе со стойкой, между диэлектрическими кольцами размещен ИК-ТГц конвертер, представляющий собой диэлектрическую подложку с нанесенной двухслойной пленочной структурой Al-VOx, которую опоясывает с зазором пленочный нагреватель, на противоположной стороне диэлектрической подложки, под пленочной структурой Al-VOx, расположена сетка из Al толщиной не более 100 нм, с квадратными отверстиями, при этом длина стороны сетки прямо пропорциональна длине волны терагерцового излучения, распространяющегося в диэлектрической подложке, на свободной части поверхности которой расположен термодатчик.

Кроме того, заявляется устройство, у которого наряду с вышеописанными признаками геометрические размеры опорной рамки определены соотношением Н/l=0,3-0,1, где Н - толщина опорной рамки, l - максимальное расстояние между сторонами опорной рамки.

Заявляется также устройство, в котором пленочный нагреватель выполнен в виде квадрата на поверхности одного из диэлектрических колец.

Кроме того, заявляется также устройство, в котором пленочный нагреватель выполнен из NiCr.

Техническим результатом является возможность визуализации низкоинтенсивных и более интенсивных источников ИК- и ТГц-излучений в условиях производственной практики.

Технический результат базируется на использовании конвертера ИК- и ТГц-излучений, который представляет собой многослойную структуру, состоящую из металлической сетки - слюдяной подложки - металлического зеркала, с расположенной на нем термохромной пленки VOx. За счет резонансного поглощения конвертер обеспечивает максимальный нагрев термохромного слоя и обуславливает максимальную чувствительность визуализатора.

Выполнение пленочного нагревателя и термодатчика на внутренних поверхностях диэлектрических колец упрощает конструкцию и увеличивает размер регистрирующей поверхности визуализатора ИК-ТГц конвертера.

Предлагаемое изобретение поясняется с помощью Фиг. 1-7:

на Фиг. 1 представлена схема визуализации ИК- и ТГц-излучений, реализованная в заявляемом устройстве;

на Фиг. 2 (а, б) - конструкция заявляемого устройства визуализации источников ИК- и ТГц-излучений;

на Фиг. 3 (а, б) показан пленочный нагреватель (а) и термодатчик (б), выполненные на внутренней поверхности опорной рамы;

на Фиг. 4 показана конструкция (а, в) и структура (б) ИК-ТГц конвертера, выполненная на слюдяной подложке;

на Фиг. 5 приведен спектральный коэффициент пропускания слюдяной подложки (а) и спектр отражения пленочной структуры Al-VOx (б);

на Фиг. 6 приведена зависимость яркостного контраста среды Al-VOx-АК-113Ф (100-115-190) нм от температуры и плотности мощности источника излучения;

на Фиг. 7 (а, б) представлена пороговая чувствительность устройства визуализации источников ИК- и ТГц-излучений, со стороны слоя VOx-Al (а) и со стороны сетки из алюминия (б) на длинах волн 0,3-1690 мкм.

и позициями 1-13 обозначены:

1 - плоский корпус,

2, 3 - окна,

4 - опорная рамка,

5 - диэлектрическая подложка,

6 - термохромный слой VOx,

7 - алюминиевое зеркало,

8 - пленочный нагреватель,

9 - сетка,

10 - термодатчик,

11 - держатель,

12 - стойка,

13 - разъем источника питания.

Заявляемое устройство содержит плоский корпус 1, закрытый с двух сторон прозрачными для видимого и регистрируемого излучений окнами 2 и 3. Между окнами 2 и 3 размещена опорная рамка 4, состоящая из двух диэлектрических колец с расположенным между ними ИК-ТГц конвертером, который представляет собой диэлектрическую подложку 5, покрытую с одной стороны двухслойной пленочной структурой, состоящей из термохромного слоя VOx 6 и алюминиевого зеркала 7, с опоясывающим ее пленочным нагревателем 8. На другой стороне диэлектрической подложки 5 расположен металлический слой в виде сетки 9 из Al, при этом размер стороны ячейки сетки 9 корреллирует с длиной волны регистрируемого излучения, распространяющегося в диэлектрической подложке, и составляет , где λ - длина волны ТГц-излучения, ε - диэлектрическая проницаемость слюды. На свободной части подложки размещен термодатчик 10. Плоский корпус 1 закреплен на держателе 11 со стойкой 12. В держателе 11 размещены элементы индикации и управления, а также разъем источника питания 13.

Схема визуализации ИК- и ТГц-излучений, реализованная в заявляемом устройстве, представлена на Фиг. 1. ИК-объектив (объектив Кассегрена) формирует в ИК-лучах изображение объекта, являющегося источником ИК-излучения, на лицевую поверхность двумерного конвертера на основе пленки VOx. При этом ИК-излучение преобразуется в цветовой рельеф на лицевой поверхности экрана. ТГц-объектив формирует в ТГц-лучах изображение объекта, являющегося источником ТГц-излучения, на обратную сторону двумерного конвертера, покрытую сеточным полотном из Al. Поглощение регистрируемых излучений приводит к нагреву термочувствительного слоя VOx, являющегося экраном конвертера, тем самым происходит регистрация по изменению его цвета.

Для регистрации низкоинтенсивного ИК- и ТГц-излучения могут быть использованы соответствующие объективы. Изображение объекта наблюдения с помощью объектива проецируется через окна 2 и 3, расположенные в плоском корпусе 1 устройства, на двумерную поверхность ИК-ТГц конвертера, помещенного в опорную рамку 4. Распределение характера излучения на поверхности ИК-ТГц конвертера регистрируется визуально по изменению его цветовой окраски. Для регистрации ИК- и ТГц-излучений большей мощности указанные объективы не используются. Режим запоминания вводимой информации обеспечивается путем термостатирования устройства, для этого оно подключается к пленочному нагревателю 8.

Регистрация ближнего ИК-излучения (0.9-1.5 мкм) производится со стороны двухслойной пленочной структуры Al-VOx 6-7, при этом обеспечивается не менее 80% поглощения. А регистрация среднего ИК-излучения производится через сетку 9 ИК-ТГц конвертера, при этом на длинах волн 8-14.5 мкм обеспечивается 83% поглощение излучения, а 17% падающего излучения экранируется полосами двумерной сетки (ширина полосы сетки 30 мкм). Регистрация ТГц-излучения происходит со стороны ИК-ТГц конвертера, покрытой сеткой 9 из Al. ИК-ТГц конвертер обеспечивает резонансное поглощение ТГц излучения, при этом поглощается до 60% падающего излучения. Термохромный слой VOx 6 в обоих случаях обеспечивает визуализацию регистрируемого излучения за счет изменения цвета.

Пленочный нагреватель 8 обеспечивает равномерный нагрев регистрирующей среды до рабочей температуры (середины петли гистерезиса). С учетом ширины петли гистерезиса пленки VOx порядка 20°С термостатирование с точностью ±1°С обеспечивает стабильную работу устройства. Перегрев структуры относительно температуры термостатирования на 3°С обеспечивает первую визуальную градацию цветового изображения, характеризующую наличие контролируемого излучения.

Стирание изображения обеспечивается коммутацией источника питания пленочного нагревателя 8 через разъем 13.

Заявляемое устройство может содержать ИК-объектив, например, разработанный в ГОИ им. Вавилова Н.М., в котором изображение образуется путем отражения света от зеркальной поверхности сферической или параболической формы. После отражения на главном зеркале пучок лучей попадает на вспомогательное зеркало, которое направляет его обратно - через отверстие в главном зеркале. Фокальная плоскость в этой системе располагается за оправой главного зеркала. В фокальной плоскости располагается объект наблюдения. Изображение объекта через окно 2 устройства проецируется на поверхность ИК-ТГц конвертера.

Воздушные зазоры между окном 2 и термохромной средой, состоящей из двухслойной пленочной структуры Al-VOx 6-7 и сетки 9, и пленочным нагревателем 8 и окном 3 одинаковы, их геометрические размеры Н выбираются согласно соотношению , для , где - диаметр круга занимаемой термохромной средой. В этом случае в воздушных зазорах резко ограничена или практически исключена конвекция и термохромная среда функционирует в условиях воздушного термостата. Указанный режим работы обеспечивает равномерное распределение чувствительности по всей площади ИК-ТГц конвертера устройства. С помощью стойки 12 устройство перед началом работы крепят, например, в рейтере оптической скамьи ОСК-2. Материал для окон 2 и 3, как правило, выбирается в зависимости от длин волн визуализируемого излучения, например кварцевого стекла, силикатного стекла, сильвина и т.д.

Устройство может содержать и ТГц-объектив, который состоит из двух линз. В качестве материалов для изготовления линз используется, например, фторопласт. Для сохранения высокой светосилы объектива необходимо использовать асферические поверхности линз. Использование фторопласта, как материала для линз, позволяет изготовить асферические поверхности линз с помощью стандартных и недорогих технологий обработки на токарных станках с ЧПУ, при этом требования к качеству поверхности гораздо ниже, по сравнению с видимым и ИК-диапазонами. Объект наблюдения располагается в плоскости наблюдения объектива, изображение объекта наблюдения проецируется на поверхности ИК-ТГц конвертера.

На Фиг. 5а приведен спектр отражения двухслойной пленочной структуры Al-VOx на длинах волн 0,2-14,5 мкм. На длинах волн 0,2-1,5 мкм структура Al-VOx имеет максимальное поглощение, а в диапазоне 1,5-2,5 мкм наблюдается увеличение коэффициента отражения до 95%, после чего он практически не меняется.

На Фиг. 5б приведен спектр пропускания слюдяной подложки толщиной 40 мкм марки СТ-1 на длинах волн 2,08-14,28 мкм. На длинах волн 5,2-8 мкм имеет место 50% поглощение, а в диапазоне 8,33-14,28 мкм имеет место практически полное поглощение слюдяной подложкой.

На Фиг. 6 приведена зависимость яркостного контраста среды Al-VOx-Д с толщинами слоев 100 нм, 115 нм и 190 нм соответственно, от температуры и от плотности мощности источника излучения. Следует заметить, что первая, вторая и третья градации яркости изображения связаны с перегревом относительно температуры термостатирования соответственно на 3°С, 6°С и 9°С, при этом изменение коэффициента контраста преобразователя соответственно составляет 0,2; 0,4; 0,6. Цветовой переход пленочной структуры до и после нагрева голубой-синий, который визуально наблюдается как при комнатной, так и при внешнем освещении.

На Фиг. 7а представлены экспериментальные данные пороговой чувствительности заявляемого устройства при падении излучения со стороны слоя VOx-Al на длинах волн 0,3-3,39 мкм и 5,0-10,6 мкм.

На фиг. 7б представлены расчетные и экспериментальные значения пороговой чувствительности заявляемого устройства при падении излучения со стороны сетки из Al на длинах волн 1140-1690 мкм и 9,0-14,5 мкм. Измерения ИК-излучения, представленные на фиг. 7 (а, б), проводились на рабочем эталоне измерений средней мощности лазерного излучения и энергии импульсного лазерного излучения в диапазоне длин волн 0,3-12 мкм (ГОСТ 8.275-2013).

Пример.

Экспериментальный образец заявляемого устройства был изготовлен с ИК-ТГц конвертером, выполненным на слюдяной подложке, толщиной 40 мкм. Центральная часть лицевой стороны подложки была покрыта двухслойной пленочной структурой Al-VOx диаметром не менее 30,5 мм. При этом площадь термохромного слоя составляет порядка 706 мм2, что достаточно для уверенного визуального наблюдения характера распределения регистрируемого излучения. Термохромную среду опоясывал с круговым зазором пленочный нагреватель в форме квадрата, на основе NiCr с электродами со свободной центральной областью в форме круга. Указанная топология пленочных слоев обеспечивает равномерное термостатирование термохромной средой. На противоположной стороне подложки под структурой в форме круга был описан восьмигранник, площадь которого занимает сетка из Al, толщиной порядка 100 нм, с квадратными отверстиями. Ширина полос сетки равна 30 мкм. На части свободной поверхности подложки был размещен пленочный термодатчик.

1. Устройство визуализации инфракрасного и терагерцового излучений, содержащее плоский корпус с расположенной в нем опорной рамкой в виде двух диэлектрических колец и имеющий два окна для регистрации излучения, при этом плоский корпус закреплен на держателе со стойкой, отличающееся тем, что между диэлектрическими кольцами размещен ИК-ТГц конвертер, представляющий собой диэлектрическую подложку с нанесенной двухслойной пленочной структурой Al-VOx, которую опоясывает с зазором пленочный нагреватель, на противоположной стороне диэлектрической подложки, под пленочной структурой Al-VOx, расположена сетка из Al толщиной не более 100 нм, с квадратными отверстиями, при этом длина стороны сетки прямо пропорциональна длине волны терагерцового излучения, распространяющегося в диэлектрической подложке, на свободной части поверхности которой расположен термодатчик.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что геометрические размеры опорной рамки определены соотношением Н/l=0,3-0,1, где Н - толщина опорной рамки, l - максимальное расстояние между сторонами опорной рамки.

3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что пленочный нагреватель выполнен в виде квадрата на поверхности одного из диэлектрических колец.

4. Устройство по п. 3, отличающееся тем, что пленочный нагреватель выполнен из NiCr.



 

Похожие патенты:

Устройство предназначено для измерения плотности потока энергии электромагнитного излучения в миллиметровом диапазоне длин волн и может быть также использовано в качестве образцового приемника для калибровки средств измерения.

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для калибровки датчиков, содержащих термочувствительные элементы (ТЧЭ), например болометра.

Использование: для тепловой изоляции детекторов теплового излучения. Сущность изобретения заключается в том, что прибор для теплового детектирования инфракрасного излучения включает в себя пиксель на полупроводниковой подложке, пиксель включает в себя первую секцию и вторую секцию, первая секция находится на поверхности полупроводниковой положки и включает в себя электрические цепи, вторая секция отделена от первой секции и находится непосредственно над ней, вторая секция является планарной и включает в себя ножки, микро-мембрану и расположенный на ней температурный детектор, вторая секция поддерживается колоннами, одна из ножек имеет один конец интегрально соединенный с микро-мембраной и другой конец интегрально соединенный с одной из колонн, другая из ножек имеет один конец, интегрально соединенный с микро-мембраной, и другой конец, интегрально соединенный с другой из колонн, ножки обеспечивают электрическое соединение температурного детектора с электрическими цепями через соответствующие колонны и термоизоляцию температурного детектора и микро-мембраны от полупроводниковой подложки, одна из ножек включает в себя первую часть первого диэлектрического слоя, первую часть второго диэлектрического слоя, часть электропроводящего слоя, данная часть электропроводящего слоя обеспечивает вышеупомянутое электрическое соединение, первая часть первого диэлектрического слоя граничит с первой поверхностью электропроводящего слоя и первая часть второго диэлектрического слоя граничит со второй поверхностью электропроводящего слоя, первая и вторая поверхности электропроводящего слоя являются противолежащим поверхностями части электропроводящего слоя, часть электропроводящего слоя является источником механических напряжений, вызывающим напряжения растяжения в первой части первого диэлектрического слоя и напряжения растяжения в первой части второго диэлектрического слоя.

Изобретение относится к инфракрасной технике и может быть использовано при изготовлении микроболометрических матриц, детектирующих излучение в двух инфракрасных (ИК) диапазонах с длинами волн 3-5 мкм и 8-14 мкм, соответствующих окнам прозрачности атмосферы.

Сайдоскоп // 2560247
Изобретение относится к области оптического приборостроения, а именно телескопам. Телескоп содержит корпус, входной объектив, фильтр, параболическое зеркало и приемник излучения, расположенный в стороне от оптической оси телескопа, защитный экран с приемным окном, фильтр расположен на пути излучений перед главным зеркалом, приемник излучения включает приемную резисторную матрицу, расположенную в приемном окне так, чтобы лучи, отраженные от зеркала, фокусировались бы только на приемной резисторной матрице, состоящей из N столбцов и M строк, N-канальный аналоговый ключ, M малошумящих дифференциальных усилителей, M цифроаналоговых преобразователей, источник опорного напряжения, М аналого-цифровых преобразователей, M цифровых сумматоров, M-входовый регистр сдвига, микроконтроллер, персональный компьютер, приемник спутниковой навигационной системы, устройство синхронизации, цифровой датчик температуры, конструктивно связанный с подложкой резисторной матрицы, и вентилятор воздушного охлаждения, конструктивно связанный с обратной стороной резисторной матрицы, питание на который поступает от микроконтроллера через устройство синхронизации.

Изобретение относится к области микроэлектроники, в частности к созданию тонкопленочных элементов матрицы неохлаждаемого типа в тепловых приемниках излучения (болометров) высокой чувствительности. Способ получения чувствительного элемента матрицы теплового приемника на основе оксида ванадия представляет собой нанесение металлической пленки ванадия и электродов методами магнетронного распыления и последующей лифт-офф литографии на диэлектрическую подложку.

Изобретение относится к области детектирования инфракрасного излучения. Устройство детектирования инфракрасного излучения содержит: подложку, матрицу (12) элементов для детектирования упомянутого излучения, каждый из которых содержит резистивный болометр (14) формирования изображения, причем упомянутая матрица сформирована над подложкой, средство (18) для считывания болометров матрицы, средство (22) для измерения температуры в подложке и средство (26) для коррекции сигнала, сформированного из каждого болометра (14), как функции температуры, измеренной в подложке.

Изобретение относится к области создания детекторов инфракрасного излучения и касается болометрического ИК-детектора. Детектор состоит из мембраны площадью S с термочувствительным элементом (ТЧЭ) и поглотителем электромагнитной энергии (ПЭЭ), прикрепленной к подложке с помощью токопроводящих шинок.

Изобретение относится к области создания детекторов инфракрасного излучения и касается болометрического ИК-детектора. Детектор состоит из мембраны площадью S с термочувствительным элементом (ТЧЭ) и поглотителем электромагнитной энергии (ПЭЭ), прикрепленной к подложке с помощью токопроводящих шинок.

Изобретение относится к области измерений электромагнитного излучения и касается устройства визуализации инфракрасного и терагерцового излучений. Устройство содержит плоский корпус с расположенной в нем опорной рамкой в виде двух диэлектрических колец. Корпус включает в себя два окна для регистрации излучения и закреплен на держателе со стойкой. Между диэлектрическими кольцами размещен ИК-ТГц конвертер, представляющий собой диэлектрическую подложку с нанесенной двухслойной пленочной структурой Al-VOx, которую опоясывает с зазором пленочный нагреватель. На противоположной стороне диэлектрической подложки, под пленочной структурой Al-VOx, расположена сетка из Al толщиной не более 100 нм, с квадратными отверстиями. Длина стороны сетки прямо пропорциональна длине волны излучения, распространяющегося в диэлектрической подложке. На свободной части поверхности диэлектрической подложки расположен термодатчик. Технический результат заключается в расширении динамического диапазона устройства. 3 з.п. ф-лы, 7 ил.

Наверх