Интерференционный прибор для измерения малых
О П И С А Н И Е 274373
ИЗОЫ ЕтЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
"оюз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 14.XI.1968 (.№ 1282918 25-28) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 24.Ч1.1970. Бюллетень № 21
Дата опубликования описания 28.IX.1970
Кл. 42b, 12/02
МПК G 01Ь 9/02
Комитет по делам изобретений н открытий при Совете Министров
СССР
УДК 531.715.1:531.717.53 (088.8) Автор изобретения
И. Ш. Эцин
Заявитель
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ ПРИБОР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МАЛЫХ
ПЕРЕМЕЩЕНИЙ
Известен интерференционный прибор для измерения малых перемещений, содержащий коллиматор, состоящий из источника света, конденсора, диафрагмы и объектива, 3ер«ала, оптическое устройство для возвращения лучей, состоящее из объектива и зеркала, пнтерферометр, состоящий из зеркал и установленный в ходе световых лучей между объективами коллиматора и устройства для возвращения лучей, фотоэлектрическое устройство и электронный блок.
Предлагаемый прибор отличается от известного тем, что он снабжен iIoïoëíèòåëüíûì зеркалом, выполненным в виде посеребренной пластинки, одна из коротких граней которой срезана под острым углом по отношению к ее посеребренной стороне, и установленным в ходе световых лучей между объективом и дна. фрагмой коллиматора под таким углом, чтобы оптическая ось коллиматора проходила через срез пластинки, а в качестве интерферометра использован клиновой многолучевой интерферометр.
Это повышает точность измерений.
На чертеже изображена схема описываемого прибора.
Интерференционный прибор содержит коллиматор, состоящий из источника света 1, конденсора 2, диафрагмы 8 и объектива 4, а также зеркала 5, оптическое устройство для возвращения лучей, состоящее из объектива б и зеркала 7, интерферометр, состоящий из зеркал 8 и 9 и установленный в ходе световых лучей между объективами коллиматора и устройства для возвращения световых лучей, фотоэлектрическое устройство, включающее фотопреобразователь 10, пьезоэлемент 11, блоки
12 и 18 питания пьезоэлемента, цифровой вольтметр 14, индикатор 15, и электронный
10 блок 1б.
Дополнительное зеркало 5 выполнено в виде посеребренной пластинки, одна из коротких граней которой срезана под острым углом по отношению к ее посеребренной стороне. Зеркало установлено в ходе световых лучей между объективом 4 и диафрагмой 8 коллиматора под таким углом, чтобы оптическая ось коллиматора проходила через срез пластинки. В качестве интерферометра используется клиновой
2Q многолучевой интерферометр (8 и 9).
При подаче напряжения от блока 12 пьезоэлемент 11 приводится в колебательное состояние с амплитудой, составляющей небольшую долю длины волны света. Подавая
2s на пьезоэлемент 11 напряжение постоянного тока от блока И, можно осуществлять смещение зеркала 9. Сигнал фотопреобразователя 10 принимается блоком 1б, на выходе которого производится регистрация сигнала индикатозо ром. При перемещении зеркала 8 на расстоя274373
Предмет изобретения
Составитель Л. Лобазова Редактор f. Фадеева Корректор Л. А. Царькова
Заказ 2634/17 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета пс делам изобретений и открытий при Совете Минисгров СССР
Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 ния, кратные половине длины волны света, происходит переход стрелки индикатора через
«нуль».
Перед началом измерения выставляется нулевое состояние интерферометра. Затем при движении зеркала 8 наблюдатель считает число переходов через «нуль». После прекращения движения зеркала 8 зеркало 9 перемещают к зеркалу 8 до первого перехода стрелки индикатора через «нуль». Величину этого перемещения считывают со шкалы вольтметра.
Измеряемое перемещение получают, перемножив число переходов через «нуль» на четверть длины волны света и прибавив . показание вольтметра.
Интерференционный прибор для измерения малых перемещений, содержащий коллиматор, состоящий из источника света, конденсора, диафрагмы и объектива, зеркала, оптическое устройство для возвращения лучей, состоящее из объектива и зеркала, интерферометр, состоящий из зеркал и установленный в ходе световых лучей между объективами коллиматора и устройства для возвращения лучей, фотоэлектрическое устройство и электронный блок, отличающийся тем, что, с целью повыl0 щения точности измерения, он снабжен дополнительным зеркалом, выполненным в виде посеребренной пластинки, одна из коротких граней которой срезана под острым углом по отношению к ее посеребренной стороне, и уста15 новленным в ходе световых лучей между объективом и диафрагмой коллиматора под таким углом, чтобы оптическая ось коллиматора проходила через срез пластинки, а в качестве интерферометра использован клиновой много20 лучевой интерферометр,
