Интерферометр для контроля качества плоских оптических поверхностей
О П И С А Н И Е 269527
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства № 180376
Заявлено 03.1V.1967 (¹ 1145859/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 17.1V.1970, Бюллетень № 15
Дата опубликования описания 28.VII.1970
Кл. 42h, 34/11
МПК G 02b
УДК 535,411, Я8„ ) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Автор изобретения
Ю. П. Контиевский
Заявитель
ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПЛОСКИХ
ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ
B основном авт. св. № 180376 описан интерферометр для контроля качества плоских оптических поверхностей, характерной особенностью которого является введение призмы
Дове между объективом наблюдательной системы и контролируемой поверхностью, наложенной на эталонную поверхность, причем главное сечение и отражающая грань призмы
Дове параллельны оптической оси объектива наблюдательной системы.
Предлагаемый интерферометр отличается от известного тем, что в нем для одновременного контроля всей проверяемой поверхности наблюдательная система содержит второй оптический канал с включенным в него блоком из равноотстоящих призм Дове, отражающие грани которых параллельны друг другу.
На чертеже изображена схема предлагаемого интерферометра с бинокулярной наблюдательной системой.
Прибор состоит из источника 1 монохроматического излучения, конденсора 2, диафрагмы 8, расположенной в фокальной плоскости объектива 4, светоделительной пластины 5, пробного стекла б, контролируемой детали 7, диафрагм 8 и 9, расположенных в фокальных плоскостях объективов 10 и 11, имеющих одипаковые фокусныс расстояния, свстоделительной пластины 12, зеркал 18 — 15, блока 1б призм Доне, ромбическнх призм 17 и 18.
Световой поток от источника I монохроматического излучения через конденсор 2 освещает диафрагму 8. Параллельный пучок лучей, выйдя из объектива 4 и отразившись от светоделительной пластины 5, падает нормально на эталонную поверхность пробного стекла б. Отраженные от поверхности стекла б и от поверхности контролируемой детали 7 лучи, интерферируя друг с другом, образуют интер10 ференционную картину, локализованную в воздушном промежутке между поверхностями стекла б и детали 7.
Интерференционная картина, представляю15 щая полосы равной толщины, наблюдается двумя глазами через диафрагмы 8 и 9. Лучи направляются в бинокулярную систему с помощью светоделптельной пластины 12 и зеркал 18 — 15. B одну из ветвей наблюдательной
20 -системы в параллельном ходе лучей перед объективом 11 введен блок Iб призм Дове, Отражающие грани призм Дове параллельны и расположены на равном расстоянии друг от друга. Размер отражающих граней призм в
25 направлении, перпендикулярном оптической оси, перекрывает световой диаметр объектива
11. Ромбические призмы 17 и 18 регулируют расстояние между выходными зрачками. При раооте воздушный клин между пробным стек30 лом и контролируемой поверхностью ориенти269527! б
Составитель И. Н. Крупенникова
Техред А. А. Камышникова Корректор С. М. Сигал
Редактор Т. Иванова
Заказ 2084/16 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская иаб., д, 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 руется так, чтобы полосы равной толщины были направлены параллельно отражающим граням призм Дове. Величина угла воздушного клина регулируется таким образом, чтобы расстояние между полосами равной толщины было равно расстоянию между отражающими гранями призм. Вследствие того, что призмы Дове поворачивают изображение каждой из полос на 180, стрелки искривления полос, наблюдаемых правым и левым глазами, направлены в противоположные стороны. Такая картина воспринимается глазами, как поверхность, воспроизводящая действительный рельеф контролируемой поверхности, увеличенной во много раз, Предмет изобретения
Интерферометр для контроля качества плоских оптических поверхностей по авт. св. № 180376, отличаюшийся тем, что, с целью обеспечения одновременного контроля всей проверяемой поверхности, наблюдательная система содержит второй оптический канал с включенным в него блоком из равноотстоящих призм Доне, отражающие грани которых параллельны друг другу.
