Прибор для измерения прочиости и адгезии резисториых пленок

 

! и:., ю

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

27522I

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Кл. 21е, 29/12

Заявлено 29.V111.1968 (№ 1265265/26-9) с присоединением заявки ¹

МПК G 01г 27/02

УДК 621.317.332 (088.8) Приоритет

Опубликовано 03.VII.1970, Бюллетень № 22

Дата опубликования описания 29.Х.1970

Номитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения Н. С. Лидоренко, А. И. Матвеев, В, Е, Глазков и 1О. Н. Щербаков

Заявитель

ПРИБОР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПРОЧНОСТИ И АДГЕЗИИ

РЕЗИСТОРНЫХ ПЛЕНОК

Предлагаемый прибор для измерения прочности и адгезии химически инертных резисторных пленок с изолирующей подложкой может найти применение в радиотехнической промышленности при производстве резисторов, в частности для испытания резисторных электродов электрохимических управляемых сопротивлений.

В настоящее время для определения качества пленки резисторов применяют различные механические устройства и приборы, например образец, подвергающийся воздействию зпакопеременных изгибающих нагрузок, закрепляют на валу, которому сообщают возвратно-поступательное движение (см., например, авт. св. № 122327).

Предлагаемый прибор содержит электролптическую ванну, в которую помещают образец, причем образец соединен в параллель с реле максимального напряжения и источником переменного тока. Знакопеременные нагрузки создаются за счет внутренний напряжений осадка в процессе нанесения его на образец или снятия с образца. Это позволяет автоматизировать процесс проверки и повысить точность контроля. Прибор не имеет движущихся механических деталей, проще по конструкции и более надежен в работе, Прибор состоит из электролитической ванны 1 с металлическим электродом 2 и пленочным резпсторным образцом 8, источника питания 4, узла реверспрованпя 5 тока, реле 6 минимального тока, реле 7 максимального тока, источника 8 переменного тока.

Мехьпшческое нагруженпе пленки резистора производится в электролитической ванне поочередным осаждением и снятием металла с высоким внутренним напряжением. Процесс осаждения — снятия осуществляется реверси10 рованпем тока переноса. Прп этом время нанесения меньше, чем время снятия.

Контроль пленки ведется по уменьшению тока переноса (напрнмер, в 1,2 раза) в цикл нанесения плп по увеличению переменного на15 пряженпя на резистор ном электроде (например, в 1,4 раза). При изменении тока переноса илп напряжения в заданное число раз процесс испытания автоматически прекращается — качество пленки резистора определяется коли20 чеством циклов реверспрования тока до изменения свойств пленки.

Источник питания 4 цепи переноса работает

H pei!ai»ie re«eparopa напряжения. Через y3e.а реверспрованпя 6 и реле 6 минимального то25 ка он соединei1 с металлическим электродо»! (анодом) 2 и резпсторным образцом (катодом) 8. Катод соединен также с реле 7 максимального напряжения и источником 8 переменного тока, который работает в режиме гене30 ратора тока. Узел реверспрования (напрнмер, 275221 (Г, i

f 1

Составитель В. П. Пятницкий

Редактор Т. 3. Орловская Текрсд A. А, Камышникова Корректор Л. В. Юшина

Заказ 3086i19 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комигета по делам изобретений и открытий нрп Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4,5

Типография, пр. Сапунова, 2 электромагнитное реле, питаемое от рслс времени) 5 изменяет направление прокождспия тока переноса через электролитпчсскую ванну и производит отсчет количества циклов реверсирования (например, с помощью счетчика числа циклов) .

При включении прибора в работу величина падения напряжения на резисторном образце

8 недостаточна для срабатывания реле 7, а величина тока переноса велика для срабатывания реле б. С износом пленки образца 8 (выкрашивание, отслаивание, появление микротрещин) ее омическое сопротивление возрастает, что приводит к уменьшению величины тока переноса и увеличению падения напряжения на катоде. При достижении одним из параметров (током, напряжением) заданной величины процесс испытаний прекращается. Счетчик числа циклов дает количественную оценку прочности пленки.

Процесс испытаний и измереш(й максимально приближен к условиям работы резпсторной п л (.. и к и.

Прибор имеет небольшие габариты и удобен в р а боте.

Предмет изобретения

Прибор для измерения прочности и адгезии

10 резисторных пленок с изолирующей подложкой, содержащий электролитическую ванну, узел реверсирования тока со счетчиком числа циклов реверсирования, источники постоянного и переменного тока и реле минимального

15 тока, отличающийся тем, что, с целью автоматизации процесса испытаний и повышения точности результатов, испытуемый образец соединен в параллель с реле максимального напряжения и источником переменного тока.