Способ изготовления пленочного термоанемометрл с защитным покрытием
Гр.;,Ост- i+Р:—
O П ИС-А.ЙИ Е
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
277424
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Заявлено 25.1т1.1969 (№ 1326834/18-10) Кл. 42о, 15
42с, 27 с присоединением заявки №
МПК 6 01р 5/12
С. Оlс
УДК 532.576.6,082..722,002.2:681..121.83:681.317.39 (088.8}
Приоритет
Опубликовано 22Х11.1970. Бюллетень ¹ 24
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР,Д,ата опубликования описания 19.Х.!970.Д: 13 TO P bI изобретения И. Я. Равич, T. Н. Торопцева, 1О. А. Поляков и Г. М. Нестерова
Заявитель
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНОГО ТЕРМОАНЕМОМЕТРА
С ЗАЩИТНЫМ ПОКРЫТИ:M
Предмет изобретения
Изобретение относится к измерительному приборостроению.
Известны пленочные термоанемометры с защитным покрытием, образованным напыленной кварцевой пленкой.
Технология напыления защитного кварцевого покрытия сложна и требует сложного об:— рудования. Инерционность пленочных термоапемометров с кварцевым покрытием превосходит инерционность аналогичных термоанемометров, не имеющих покрытия. Кроме того, кварцевое покрытие часто оказывается пористым. А инерционность термоанемометров с лаковой, например полимерной, пленкой оказывается выше инерционности, вызванной кварцевой пленкои.
Цель изобретения — разработка способа изготовления малоинерционных пленочных те!омоанемометров с защитным покрытием, возможно более простого, надежного, не требующего сложного оборудования.
Сущность предлагаемого способа заключается в следующем.
На поверхности диэлектрической подложки создают чувствительный элемент в форме тонкой пленки материала, имеющего высокий температурный коэффициент электрического сопротивления, например платины, любым известным методом (термического разложения, вакуумного напыления или гальваническим) с последующим вжиганием в подложку.
Подложк с пол1 1енно111 пленкой обрабатывают раствором в воле плп в органическом растворителе (пирпдпне. 3,Х- IIIìåòèëàöåòàìèде, N,X -диметплформампде Ii др.) соли металлов 1, II, 111, ЛI плп 31111 групп (ацетатами, ацетплацетонатамп, формиатами, оксалатамп, ка!Збонатами), например 5 — 10ор-Н!! м раствором ацетата серебра в ш1ридне, подсу10 шивают в токе сухого воздуха. После этого на поверхность наносят раствор ароматического полиимида, например 5 — -!2 j!3-ный раствор полипиромеллитамидокпслоты в дпметилформамиде, и нагревают в интервале от 20 до 300 С
15 со скоростью подъема температуры 2—
4 град/лик и выдержкой прп температурах
200 п 300 С по одном час1.
Способ изготовления пленочного термоанемОметра с зап1итн1.1м покрытпех1 II 3 Teм Об!зазования на поверхности диэлектрической подложки тонкой метал.ll«!eel 2 термического разложения, вакуумного напыления или гальваническим способом с последующим вжиганпем в подложку и нанесения на металлическую пленку защитного покрытия, отличающийся тем, что, с целью сниже30 ппя инерционности термоанемометра при од277424 Составитель С. A. Ющенко Корректор И. С. Хлыстова Редактор T. Иванова Заказ 2885/3 Тирани 480 Подписное ЦНИИПИ Комитета Во делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, 5К-35. Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 новременцом повышени и механической прочности и защищенности от коррозии и упрощения технологии, подложку с металлической пленкой обрабатывают раствором в воде илп в органическом растворителе (ппридине, Х,Nдиметилацетамиде, N,М-диметилформамиде и др.) соли металлов 1, I I, 111, Л I плп Ч111 гр чпп (ацетата ми, а цетпл а цетоп атn ми, фоРми атамп, QI 1О
