Патент ссср 277964
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 24.IX.1966 (№ 1104551/26-25) с присоединением заявки ¹ -—Приоритет—
Опч бликовано 05.Ч1I 1.1970 Бюллетень № 25
Кл. 21g, 21/12
Комитет по делам изобретеиий и открытий при Совете Мииистров
СССР
МПК С 21g
УДК 621,039.584 (088.8) Дата опубликования описания 24,Х1,1970
Авторы изобретения H С. Лидоренко, В. М. Гусев, А. В. Чувпило, В. В. Титов, А. К. Зайцева, Е. Н. Гребешев, P. Г. Адамян, Е. Г. Жуков, H. Я. Липинецкий и В. В. Заддэ
Всесоюзный научно-исследовательский институт источников тока и
Институт атомной энергии имени И. В. Курчатова
Заявители
УС1РОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ДЕТАЛЕЙ ИОННЫМ ПУЧКОМ
Известно устрсйство для обработки деталей ионным пучком, состоящее из вакуумнои камеры, загрузочного окна с фланцем, узла подачи деталей и ионного источника.
Особенностью предлагаемого устройства является выполнение узла подачи деталей в виде натянутого между двумя барабанами непрерывного транспортера с шагом крепления деталей, равным 1/4 длины делительной окружности барабана. Ионный источник снабжен двумя окнами с дверцами, расположенными в рабочем торце камеры по обе стороны транспортера.
Это обеспечивает возможность двусторонней обработки большого количества деталей без нарушения вакуума, Устройство изсбражено па чертеже.
С рабочей стороны герметичного корпуса l расположены два скна с дверцами 2 и Х Ь каждую дверцу вмонтирован зонд 4 для измерения ионного тока. Дверцы открываются поворотом рукоя-ок 5 и б. На тыльной стороне корпуса имеется загрузочное окно, закрываемое вакуумным фланцем 7. Транспортер 8, представляющий собой цепь (лепту), натянутую между звездочками 9 и 10, снабжен подвесками 11, на ксторых крепятся кассеты с обрабатываемыми деталями. Шаг крепления деталей равен 1/4 длины делительной окружности звездочки. Длина цепи и, следовательно, количество кассет с деталями выбирают конструктивно. Максимальная длина цепи определяется продолжительностью работы источника ионов и механической надежностью конструкции.
Работает устройство следующим образом.
Транспортер 8 загружают через окно при периодическом етс перемещении. Загружать и разгружать устройство можно как до уста10 новки в вакуумыю камеру, так и непосредственно в камере.
После загрузки вакуумный фланец закрывают и откачивают камеру до необходимого вакуума. После этого пучок ионов наводят па
15 дверцу 2, устанавливают с помощью зонда 4 нужную плотность ионного тока, поворотом рукоятки 5 открывают дверцу, и пучок ионов попадает на кассету с обрабатываемыми деталями. По окончании обработки транспортер
20 передвигается на один шаг, и облучению подвергается следуюшая кассета. Периодическое перемещение кассет с деталями происходит автоматически с заданным темпом. Для обработки обратной стороны образцов дверцу 2 за25 крывают, а дверцу 3 открывают.
Описанная последовательность операций применяется в том случае, если требуется облучить лицевую сторону деталей ионами одного вещества, а тыльную сторону — ионами
30 другого вещества. Если же требуется облучить
277964
Предмет изобретения
Составитель Н. В. Алимова
Редактор Б. Б. Федотов Техред Л. Я. Левина Корректор О, И. Усова
Заказ 2239/9 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-зо, Раушская наб., д. 4/5
Типография ВДНХ СССР обе стороны деталей ионами одного и того же вещества, обе дверцы можно открыть одновременно.
Устройство для обрасотки деталей ионным пучком, состоящее из вакуумной камеры, загрузочного окна с фланцем, узла подачи деталей и ионного источника, отличающееся тем, что, с целью обеспечения возможности двусторонней обработки большого количества деталей без нарушения вакуума, узел подачи деталей выполнен в виде натянутого между двумя барабанами непрерывного транспортера с шагом крепления деталей, равным 1/4 длины делительной окружности барабана, à HOHHbIII источник снабжен двумя окнами с дверцами, расположенными в рабочем торце камеры по
l0 обе сторонь1 транспортера.
