Способ получения многослойного материала элемента генератора кислорода

Изобретение относится к способу получения многослойного материала активной части элемента генератора кислорода «электрод | электролит | электрод» для выделения чистого кислорода из воздуха, обладающего высокой селективностью по кислороду и низким удельным сопротивлением, стабильным при длительной эксплуатации. Заявляемый способ изготовления многослойного материала элемента генератора кислорода заключается в формировании многослойного материала «электрод | электролит | электрод», где электролитный слой получают из композита Bi2O3 - 10 мас.% Bi24B2O39 обжигом при 600°С, а электродные слои - из смешанного проводника Bi3Ru3O11 - 10-50 мас.% Bi1,6Er0,4О3 обжигом при 750°С. 3 ил.

 

Изобретение относится к способу получения многослойного материала активной части элемента генератора кислорода «электрод | электролит | электрод» для выделения чистого кислорода из воздуха, обладающего высокой селективностью по кислороду и низким удельным сопротивлением, стабильным при длительной эксплуатации.

Генератор кислорода является электрохимическим устройством для эффективного производства чистого кислорода, активная часть которого представляет собой симметричную слоистую структуру «электрод | электролит | электрод». Принцип работы такого элемента (ячейки) основан на протекании ионов кислорода через плотный слой электролита при повышенных температурах (> 600°С) под действием электрического потенциала, который прикладывают через пористые слои электродов. Для высокой селективности элемента генератора кислорода (чистоты получаемого кислорода > 99,9%) электролитный слой должен быть газоплотным, т.е. не должен пропускать молекулярный газ. Однако многие электролитные материалы не отвечают этому требованию и имеют достаточно низкую селективность. Перспективными на сегодняшний день материалами электролита являются легированные редкоземельными элементами Bi2O3 и СеО2 и материалы на основе чистого δ-Bi2O3. В качестве электродов применяются материалы с высокой смешанной кислород-ионно-электронной проводимостью, химически и термически совместимые с материалом электролита. Высокая кислород-ионная проводимость электролита и высокая смешанная проводимость электродов необходимы для низкого удельного сопротивления слоистой структуры «электрод | электролит | электрод», что является главным требованием для высокой энергоэффективности генератора кислорода.

Известен способ изготовления симметричного элемента генератора кислорода «электрод | электролит | электрод», где в качестве электролитного слоя используется стабилизированный оксид висмута (Bi1,5Y0,5)0,98Zr0,04O3+δ (BYO), а в качестве пористых электродов - композит La0,8Sr0,2MnO3 - (Bi1,5Y0,5)0,98Zr0,04O3+δ (LSM-BYO) [Tsai J. Т. et al. Effects of La0,8Sr0,2MnO3 and Ag electrodes on bismuth-oxide-based low-temperature solid electrolyte oxygen generators // Ceram. Int. 2022. V. 48. №1. P. 1132-1141]. Способ получения слоистого материала заключается в изготовлении электролита LSM с помощью шликерного (ленточного) литья, обжига при 550°С в течение 4 часов для удаления связующего и спекания при 1000°С в течение 2 часов. Методом трафаретной печати наносят слои электродов LSM - 50 масс. % BYO на обе стороны электролита с последующим обжигом при 900°С в течение 2 часов. Далее на поверхность электродов наносят дополнительный слой для токосъема из Ag методом трафаретной печати и обжигают ячейку при 850°С в течение 2 часов. Недостатками способа являются высокие значения удельного сопротивления ячейки (1,65 Ом⋅см2 при 600°С) и поляризационного сопротивления электродов (0,86 Ом⋅см2 при 600°С) и его рост при длительной эксплуатации (от 0,86 до 1,12 Ом⋅см2 при 600°С за 12 часов), необходимость в нанесении токосъемного слоя из серебра и в дополнительной стадии обжига.

Известен способ изготовления элемента генератора кислорода «электрод | электролит | электрод», где слой электролита состоит из легированного редкоземельными элементами СеО2, а пористые слои электродов - из кобальтита лантана-стронция La0,7Sr0,3CoO3 [Meixner D. L. et al. Electrochemical oxygen separation using solid electrolyte ion transport membranes // J. Electrochem. Soc. 2002. V. 149. №9. P. D132]. Способ получения слоистого материала заключается в формировании твердого электролита с помощью шликерного литья, его обжига при 1400-1600°С и нанесения слоев из электродов La0,7Sr0,3CoO3 на электролит с помощью трафаретной печати. Недостатком способа является высокое значение удельного сопротивления (~ 0,2 Ом⋅см2 на одну ячейку генератора кислорода при 750°С).

Известен способ изготовления симметричного элемента генератора кислорода, где электролитный слой состоит из Ce0,8Sm0,2О1,9 (SDC), а пористые электроды представляют собой два слоя из композитов Ba0,5Sr0,5Co0,8Fe0,2О3-δ - Ce0,8Sm0,2О1,9 (BSCF-SDC) и BSCF-SDC-Ag [Zhou W. et al. High performance electrode for electrochemical oxygen generator cell based on solid electrolyte ion transport membrane // Electrochim. Acta. 2007. V. 52. №22. P. 6297-6303]. Способ включает в себя получение порошков SDC и BSCF из растворов соответствующих нитратов металлов, аммиака и лимонной кислоты, сушку при 80°С в течение нескольких часов с образованием гелей, сжигание гелей при 250°С и обжиг продуктов 900°С в течение 2 часов. Для формирования электролита порошок из SDC прессовали при 200 МПа и обжигали при 1350°С в течение 5 часов. Для изготовления композитного электрода порошковую смесь BSCF - 30 масс. % SDC диспергировали в растворе глицерина, этиленгликоля и изопропилового спирта с образованием коллоидной суспензии, наносили симметрично на обе стороны электролита и обжигали при 1000°С в течение 2 часов. В качестве второго слоя на обе поверхности электродов наносили смесь состава BSCF - 21 масс. % SDC - 30 масс. % Ag и проводили обжиг при 250°С в течение 2 часов. Недостатком метода является высокое значение удельного сопротивления симметричной ячейки (0,88 Ом⋅см2 при 700°С).

Известен способ изготовления элемента генератора кислорода «электрод | электролит [электрод», где электролитный слой представляет собой флюорит Dy0,08W0,04Bi0,88O2-δ (DWSB), а пористый электродный слой - композит Dy0,08W0,04Bi0,88O2-δ - La0,8Sr0,2MnO3-δ (DWSB-LSM) [Hong T. et al. An Intermediate-Temperature Oxygen Transport Membrane Based on Rare-Earth Doped Bismuth Oxide Dyo.o8Wo.o4Bio.8802-5 // J. Electrochem. Soc. 2017. V. 164. №4. P. F347-F353]. Способ включает в себя синтез фазы DWSB с помощью смешения порошков Bi2O3, Dy2O3 и WO3 в необходимом количестве, их прессования при 40 МПа и обжига при 800°С в течение 16 часов. Для формирования электродов DWSB-LSM полученный порошок DWSB смешивали с готовым порошком LSM в весовом соотношении 1:1, прессовали и обжигали при 800°С в течение 2 часов. Тонкий слой электролита DWSB (~ 12 мкм) наносили на полученный электрод и обжигали при 930°С в течение 5 часов. Второй электрод DWSB-LSM присоединяли с другой стороны электролита. Недостатками метода являются наличие дополнительного слоя Ag для лучшего токосъема, отсутствие газоплотности электролитного слоя, высокие значения удельного сопротивления ячейки (0,92 Ом⋅см2 при 650°С) и поляризационного сопротивления электродов (0,48 Ом⋅см2 при 650°С).

Наиболее близким является способ получения слоистого материала для генератора кислорода, предложенный в [Belousov V. V., Fedorov S. V. Perspective-Oxygen separation technology based on liquid-oxide electrochemical membranes // J. Electrochem. Soc. 2020. V. 167. №10. P. 103501]. Способ получения симметричного элемента «электрод | электролит | электрод» заключается в изготовлении композиционного электролита на основе оксида висмута Bi2O3 - 0,2 масс. % В2О3 (что соответствует Bi2O3 -17 масс. % Bi24 В2О39) обжигом при 600°С в течение 10 ч. Электроды получали твердофазным синтезом Bi2Ru2O7 из порошков Bi2O3 и RuO2 при 900°С с добавлением 1,2 масс. %) Pt. Данный способ позволяет сформировать газоплотный электролит за счет наличия в нем жидкой фазы при рабочих температурах с удельным сопротивлением ячейки 0,55 Ом⋅см2 при 750°С. Недостатками метода являются большая доля жидкости в электролите, которая смачивает электроды и увеличивает сопротивление ячейки со временем, химическое взаимодействие между Bi2O3 и Pt в электродах и высокое значение удельного сопротивления ячейки.

Задачей данного изобретения является получение многослойного материала активной части элемента генератора кислорода «электрод | электролит | электрод» для выделения чистого кислорода из воздуха, обладающего высокой селективностью по кислороду и низким удельным сопротивлением, стабильным при длительной эксплуатации.

Технический результат заключается в уменьшении удельного сопротивления ячейки генератора кислорода, поляризационного сопротивления электродов и обеспечения их стабильности при длительной эксплуатации путем формирования многослойного материала «электрод | электролит | электрод», где электролитный слой получают из композита Bi2O3 - 10 масс. % Bi24B2O39 обжигом при 600°С, а электродные слои - из смешанного проводника Bi3Ru3O11 - 10-50 масс. % Bi1,6Er0,4O3 обжигом при 750°С.

Технический результат достигается тем, что способ получения многослойного материала элемента генератора кислорода включает в себя твердофазный синтез Bi24B2O39 из Bi2O3 и Н3ВО3 при 600°С, получение композиционного слоя электролита Bi2O3 - 10 масс. %) Bi24B2O39 при 600°С, твердофазный синтез Bi3Ru3O11 из оксидов Bi2O3 и RuO2 при 750°С и Bi1,6Er0,4О3 из оксидов Bi2O3 и Bi2O3 при 800°С, получение пористых электродов Bi3Ru3O11 - 10-50 масс. % Bi1,6Er0,4О3 при 750°С и формирование многослойного материала «электрод | электролит | электрод».

Уменьшение количества Bi24B2O39 в составе электролита и использование Bi3Ru3O11 с ионным проводником Bi1,6Er0,4О3 в электродах позволяет получить низкое удельное сопротивление элемента генератора кислорода, стабильное при длительной эксплуатации.

Отличие от прототипа состоит в уменьшении количества Bi24B2O39 в составе электролита, использовании в качестве материала электродов композита со смешанной проводимостью из Bi3Ru3O11 и Bi1,6Er0,4O3 и снижении температуры обжига электродов.

Способ получения многослойного материала элемента генератора кислорода включает в себя твердофазный синтез Bi24B2O39 из порошков Bi2O3 и Н3ВО3 при 600°С в течение 10 часов, смешение порошков Bi2O3 и Bi24B2O39, их прессование при 100 МПа и обжиг при 600°С в течение 10 часов с формированием композиционного электролита Bi2O3 - 10 масс. % Bi24B2O39, твердофазный синтез Bi3Ru3O11 из оксидов Bi2O3 и RuO2 при 750°С в течение 10 часов, твердофазный синтез Bi1,6Er0,4O3 из оксидов Bi2O3 и Er2O3 при 800°С в течение 20 часов, их смешение в планетарной мельнице с добавлением порообразователя, прессование при 100 МПа и обжиг при 750°С с формированием пористых электродов Bi3Ru3O11 - 10-50 масс. % Bi1,6Er0,4О3, присоединение электродов к двум сторонам электролита с формированием слоистого материала «электрод | электролит | электрод». Электролит при комнатной температуре содержит две фазы в твердом состоянии: α-Bi2O3 и 10 масс. % Bi24B2O39 (фиг.1). При нагреве генератора кислорода происходит перитектический распад Bi24B2O39 на α-Bi2O3 и жидкую смесь Bi2O32О3 и переход α-Bi2O3→δ-Bi2O3. При рабочей температуре 750°С электролит состоит из твердых зерен δ-Bi2O3 и расплава Bi2O3 - 1,2 масс. % В2О3 по границам зерен. Такая жидкоканальная зернограничная структура обеспечивает газоплотность и отсутствие растрескивания композита, которое свойственно материалам на основе чистого δ-Bi2O3. Электроды состоят из рутената висмута Bi3Ru3O11 с высокой электронной проводимостью (~ 400 См/см) и ионопроводящего Bi1,6Er0,4О3. Введение ионного проводника Bi1,6Er0,4O3 в состав электродов позволяет увеличить количество тройных точек, где происходят окислительно-восстановительные реакции кислорода, и значительно уменьшить поляризационное и общее удельное сопротивление генератора кислорода. Кроме того, при рабочих температурах фаза Bi1,6Er0,4O3 препятствует смачиванию электродов жидкой фазой из электролита за счет образования промежуточного слоя на границе «электрод | электролит», что обеспечивает стабильность сопротивления ячейки генератора кислорода во времени.

На фиг.1. представлена диаграмма состояния Bi2O3 - В2О3, на которой отмечен состав предложенного электролита Bi2O3 - 10 масс. % Bi24B2O39 (Bi2O3 - 0,1 масс. % В2О3, линия А) в сравнении с прототипом Bi2O3 - 17 масс. % Bi24B2O39 (Bi2O3 - 0,2 масс. % В2О3, линия Б). Уменьшение количества Bi24B2O39 в составе электролита позволяет уменьшить количество жидкой фазы при рабочей температуре, которая смачивает пористые электроды и увеличивает сопротивление со временем.

На фиг.2. представлена схема структуры многослойного элемента генератора кислорода при рабочей температуре 750°С, состоящая из твердо-расплавного плотного слоя электролита δ-Bi2O3 - жидкость (Bi2O3 - 1,2 масс. % В2О3) (1), пористых слоев электродов Bi3Ru3O11 - Bi1,6Er0,4O3 (2) и сформировавшихся промежуточных многокомпонентных слоев (3), которые препятствуют смачиваю электродов жидкой фазой из электролита.

На фиг.3. показаны спектры импеданса ячеек генератора кислорода при 750°С с электродами Bi3Ru3O11 - 10 масс. % Bi1,6Er0,4О3 и Bi3Ru3O11 - 50 масс. % Bi1,6Er0,4О3 . Толщина каждого слоя элемента генератора кислорода составляла 0,5 мм. Общее удельное сопротивление ячеек составило ~ 0,14 Ом⋅см2, а поляризационное сопротивление электродов ~ 0,1 Ом⋅см2. В процессе длительных испытаний (30 часов) при 750°С удельное сопротивление полученных ячеек генератора кислорода и поляризационное сопротивление электродов не изменяется. Низкие значения сопротивлений ячеек и их стабильность в процессе длительной эксплуатации позволяют судить о перспективности полученного многослойного материала для генераторов кислорода.

Формирование композиционных электролитов на основе нестабилизированного оксида висмута с жидкоканальной зернограничной структурой позволяет сохранить высокую кислород-ионную проводимость δ-Bi2O3 (~ 2 См/см при 730-800°С), обеспечить газоплотность материала и высокую чистоту получаемого кислорода. Электроды из композитов на основе рутената висмута и стабилизированного оксида висмута обладают высокой смешанной проводимостью, препятствуют смачиванию пористых электродов жидкой фазой из электролита и обеспечивают его стабильность при длительной эксплуатации. Таким образом, многослойные структуры из этих материалов являются перспективными для использования в кислородных генераторах и выделения кислорода из воздуха.

Настоящее изобретение относится к технологии получения многослойного материала элемента генератора кислорода.

Изделия получают следующим образом.

Для синтеза Bi24B2O39 порошки Bi2O3 и Н3ВО3 смешивают в планетарной мельнице в мольном соотношении 6:1 и обжигают в печи при 600°С в течение 10 часов. Для формирования электролита полученную фазу Bi24B2O39 смешивают с Bi2O3 в планетарной мельнице в соотношении Bi2O3 - 10 масс. % Bi24B2O39, подвергают прессованию при 100 МПа и обжигают в печи при 600°С в течение 10 часов. Фазу Bi3Ru3O11 синтезируют с помощью смешения порошков Bi2O3 и RuO2 и обжига при 750°С в течение 10 часов. Для получения Bi1,6Er0,4O3 смешивают порошки Bi2O3 и Er2O3 и обжигают при 800°С в течение 20 часов. Затем Bi3Ru3O11, Bi1,6Er0,4O3 и порообразователь смешивают в планетарной мельнице в необходимом соотношении, подвергают прессованию при 100 МПа и обжигу при 750°С в течение 10 часов с формированием пористых электродов Bi3Ru3O11 - 10-50 масс. % Bi1,6Er0,4O3. Электроды присоединяют к двум сторонам электролита, получая многослойный материал Bi3Ru3O11 - 10-50 масс. % Bi1,6Er0,4O3 | Bi2O3 - 10 масс. % Bi24B2O39 | Bi3Ru3O11 - 10-50 масс. % Bi1,6Er0,4O3.

Пример 1.

1) Для синтеза Bi24B2O39 порошки квалификации «ос.ч.» Bi2O3 и Н3ВО3, взятые в мольном соотношении 6:1, смешивают с изопропиловым спиртом в массовом соотношении 1:1 в планетарной мельнице с использованием агатовых барабанов и шаров диаметром 5 мм в течение 30 мин со скоростью 200 об/мин. Полученную шихту сушат при 80°С и обжигают в печи при 600°С в течение 10 часов.

2) Для формирования электролита берут порошки Bi2O3 и Bi24B2O39 в соотношении Bi2O3 - 10 масс. % Bi24B2O39. Смесь порошков и изопропиловый спирт в массовом соотношении 1:1 смешивают в планетарной мельнице с использованием агатовых барабанов и шаров диаметром 5 мм в течение 30 мин со скоростью 200 об/мин. Полученную шихту сушат при 80°С, подвергают холодному одноосному прессованию при 100 МПа и обжигают в печи при 600°С в течение 10 часов. Электролит шлифуют вручную до толщины 0,5 мм с использованием алмазных дисков.

3) Для синтеза Bi3Ru3O11 берут порошки Bi2O3 и RuO2 квалификации «ос.ч.» в мольном соотношении 1:2. Смесь порошков и изопропиловый спирт в массовом соотношении 1:1 смешивают в планетарной мельнице с использованием агатовых барабанов и шаров диаметром 5 мм в течение 30 мин со скоростью 200 об/мин. Полученную шихту сушат при 80°С и обжигают в печи при 750°С в течение 20 часов.

4) Для синтеза Bi1,6Er0,4О3 берут порошки Bi2O3 и Er2O3 квалификации «ос.ч.» в мольном соотношении 4:1. Смесь порошков и изопропиловый спирт в массовом соотношении 1:1 перемешивают в планетарной мельнице с использованием агатовых барабанов и шаров диаметром 5 мм в течение 30 мин со скоростью 200 об/мин. Полученную шихту сушат при 80°С и обжигают в печи при 800°С в течение 20 часов.

5) Для формирования пористых электродов берут смесь порошков в соотношении Bi3Ru3O11 - 10 масс. % Bi1,6Er0,4O3 и добавляют к ней 5 масс. % крахмала. Смесь порошков и изопропиловый спирт в массовом соотношении 1:1 смешивают в планетарной мельнице с использованием агатовых барабанов и шаров диаметром 5 мм в течение 30 мин со скоростью 200 об/мин. Полученную шихту сушат при 80°С, подвергают холодному одноосному прессованию при 100 МПа и обжигают в печи при 750°С в течение 10 часов. Электроды шлифуют вручную до толщины 0,5 мм с использованием алмазных дисков.

6) Электроды присоединяют к двум сторонам электролита, получая многослойный материал Bi3Ru3O11 - 10 масс. % Bi1,6Er0,4О3 | Bi2O3 - 10 масс. % Bi24B2O39 | Bi3Ru3O11 - 10 масс. %) Bi1,6Er0,4O3.

При 750°С полученный материал имеет общее удельное сопротивление 0,135 Ом⋅см2 и поляризационное сопротивление электродов 0,096 Ом⋅см2, которые стабильны более 30 ч. Чистота получаемого кислорода с помощью генератора на основе этого материала составляет 99,99%.

Пример 2.

1) Для синтеза Bi24B2O39 порошки квалификации «ос.ч.» Bi2O3 и Н3ВО3, взятые в мольном соотношении 6:1, смешивают с изопропиловым спиртом в массовом соотношении 1:1 в планетарной мельнице с использованием агатовых барабанов и шаров диаметром 5 мм в течение 30 мин со скоростью 200 об/мин. Полученную шихту сушат при 80°С и обжигают в печи при 600°С в течение 10 часов.

2) Для формирования электролита берут порошки Bi2O3 и Bi24B2O39 в соотношении Bi2O3 - 10 масс. % Bi24B2O39. Смесь порошков и изопропиловый спирт в массовом соотношении 1:1 смешивают в планетарной мельнице с использованием агатовых барабанов и шаров диаметром 5 мм в течение 30 мин со скоростью 200 об/мин. Полученную шихту сушат при 80°С, подвергают холодному одноосному прессованию при 100 МПа и обжигают в печи при 600°С в течение 10 часов. Электролит шлифуют вручную до толщины 0,5 мм с использованием алмазных дисков.

3) Для синтеза Bi3Ru3O11 берут порошки Bi2O3 и RuO2 квалификации «ос.ч.» в мольном соотношении 1:2. Смесь порошков и изопропиловый спирт в массовом соотношении 1:1 смешивают в планетарной мельнице с использованием агатовых барабанов и шаров диаметром 5 мм в течение 30 мин со скоростью 200 об/мин. Полученную шихту сушат при 80°С и обжигают в печи при 750°С в течение 20 часов.

4) Для синтеза Bi1,6Er0,4O3 берут порошки Bi2O3 и Er2O3 квалификации «ос.ч.» в мольном соотношении 4:1. Смесь порошков и изопропиловый спирт в массовом соотношении 1:1 перемешивают в планетарной мельнице с использованием агатовых барабанов и шаров диаметром 5 мм в течение 30 мин со скоростью 200 об/мин. Полученную шихту сушат при 80°С и обжигают в печи при 800°С в течение 20 часов.

5) Для формирования пористых электродов берут смесь порошков в соотношении Bi3Ru3O11 - 50 масс. % Bi1,6Er0,4О3 и добавляют к ней 5 масс. % крахмала. Смесь порошков и изопропиловый спирт в массовом соотношении 1:1 смешивают в планетарной мельнице с использованием агатовых барабанов и шаров диаметром 5 мм в течение 30 мин со скоростью 200 об/мин. Полученную шихту сушат при 80°С, подвергают холодному одноосному прессованию при 100 МПа и обжигают в печи при 750°С в течение 10 часов. Электроды шлифуют вручную до толщины 0,5 мм с использованием алмазных дисков.

6) Электроды присоединяют к двум сторонам электролита, получая многослойный материал Bi3Ru3O11 - 50 масс. % Bi1,6Er0,4О3 | Bi2O3 - 10 масс. % Bi24B2O39 | Bi3Ru3O11 - 50 масс. % Bi1,6Er0,4O3.

При 750°С полученный материал имеет общее удельное сопротивление 0,14 Ом⋅см2 и поляризационное сопротивление электродов 0,1 Ом⋅см2, которые стабильны более 30 ч. Чистота получаемого кислорода с помощью генератора на основе этого материала составляет 99,99%.

Способ получения многослойного материала элемента генератора кислорода, включающий твердофазный синтез Bi24B2O39 из Bi2O3 и Н3ВО3 при 600°С, получение композиционного слоя электролита Bi2O3 - 10 мас.% Bi24B2O39 при 600°С, твердофазный синтез Bi3Ru3O11 из оксидов Bi2O3 и RuO2 при 750°С и Bi1,6Er0,4О3 из оксидов Bi2O3 и Er2O3 при 800°С, получение пористых электродов Bi3Ru3O11 - 10-50 мас.% Bi1,6Er0,4О3 при 750°С и формирование многослойного материала «электрод | электролит | электрод», отличающийся тем, что электролитный слой получают из композита Bi2O3 - 10 мас.% Bi24B2O39, а электродные слои - из смешанного проводника Bi3Ru3O11 - 10-50 мас.% Bi1,6Er0,4О3 обжигом при 750°С.



 

Похожие патенты:

Изобретение может быть использовано в электронике для изготовления электронных компонентов. Способ изготовления контактов к тонким трехмерным чешуйкам слоистых кристаллов включает прижим контакта к кристаллу, для этого используют матрицу с предварительно сформированными на поверхности оксидированного кремния металлическими контактными дорожками - контактами, на которой размещают чешуйку слоистого кристалла толщиной от 100 нм до 1 мкм, так чтобы обеспечить ее перекрытие с контактными дорожками, а прижим контакта к кристаллу осуществляют путем однократного прижима второй полированной пластиной оксидированного кремния чешуйки кристалла.

Изобретение относится к технологии микроэлектроники и может быть использовано при изготовлении тонкопленочных сверхпроводниковых структур. Способ изготовления тонкопленочных туннельных переходов методом раздельной литографии включает формирование первой литографией первого слоя из алюминия, нанесение резиста под вторую литографию второго слоя металла, экспозицию в литографе, проявление резиста, формирование туннельного барьера и напыление второго слоя металла.

Способ изготовления устройств с тонкопленочными сверхпроводниковыми переходами включает нанесение двух слоев резиста разной чувствительности, экспозицию в электронном литографе, проявление этих слоев резиста, напыление первого слоя нормального металла или сверхпроводника под углом к подложке, окисление для формирования туннельного барьера, напыление второго слоя пленки сверхпроводника или нормального металла под таким же углом к нормали, удаление (взрывание) резиста, напыление нижней (первой) пленки производится в первую канавку в резисте под углом к нормали, а верхняя (вторая) пленка напыляется во вторую канавку с ортогонального направления после поворота подложки на 90 градусов под таким же углом к нормали, а угол наклона выбирается в зависимости от ширины канавки и толщины верхнего резиста.

Сверхпроводящий провод содержит сверхпроводящий ламинат, в котором сверхпроводящий слой сформирован на материале основы, имеющей вид ленты, через промежуточный слой, и стабилизационный слой, покрывающий по меньшей мере часть сверхпроводящего ламината, при этом остаточное напряжение в стабилизационном слое является напряжением растяжения.

Изобретение относится к способу изготовления высокотемпературной сверхпроводящей ленты. Осуществляют осаждение буферных слоев на подложку в следующей последовательности: слой оксида алюминия, слой оксида иттрия, слой оксида магния, слой гомоэпитаксиального оксида магния и слой манганита лантана, осаждение слоя высокотемпературного сверхпроводника на буферные слои и нанесение по меньшей мере одного защитного слоя.

Использование: для изготовления сверхпроводящих материалов. Сущность изобретения заключается в том, что способ содержит укладку слоя огнеупорной подушки поверх катушки; намотку первого слоя сверхпроводящего кабеля поверх слоя огнеупорной подушки; реакционную термическую обработку сверхпроводящего кабеля на катушке; и разматывание первого слоя сверхпроводящего кабеля с катушки.

Изобретение относится к области тонкопленочной сверхпроводниковой микроэлектроники, в частности к изготовлению высокочувствительных болометров, электронных охладителей, одноэлектронных транзисторов, содержащих свободно висящий микромостик нормального металла и сверхпроводниковые переходы типа сверхпроводник-изолятор-нормальный металл (СИН), сверхпроводник-изолятор-другой сверхпроводник (СИС'), а также андреевские контакты (сверхпроводник-андреевский контакт-нормальный металл) и структуры с барьером Шоттки (сверхпроводник-барьер Шоттки-полупроводник).

Изобретение относится к криогенной технике и может быть использовано для изготовления высокотемпературных сверхпроводящих (ВТСП) проводов нового поколения. Сущность изобретения заключается в том, что способ получения высокотемпературной сверхпроводящей пленки на аморфной кварцевой подложке включает нанесение на предварительно очищенную поверхность подложки трехслойного покрытия, при этом первый слой покрытия формируют из кварца толщиной 100-400 нм методом магнетронного распыления, второй слой формируют из диоксида циркония, стабилизированного иттрием толщиной 100-300 нм, третий - из диоксида церия толщиной 150-350 нм.

Изобретение относится к области технологий получения эпитаксиальных оксидных сверхпроводящих покрытий на металлической подложке, предварительно покрытой биаксиально текстурированным оксидным слоем и буферными оксидными слоями, или на биаксиально текстурированной металлической подложке, предварительно покрытой оксидными буферными слоями, и может быть использовано для получения сверхпроводящих проводников второго поколения.

Использование: для осуществления гиперпроводимости и сверхтеплопроводности материалов. Сущность изобретения заключается в том, что используют невырожденный или слабовырожденный полупроводниковый материал, размещают на его поверхности или в его объеме электроды 1 и 2, образующие выпрямляющие контакты с материалом, такие как контакты металл-полупроводник, контакты Шоттки, при этом расстояние между электродами D выбирают не более 4Λ, D≤4Λ, где Λ - длина когерентности; размер площади контакта электрода с материалом а выбирают не более четверти длины упругой волны в материале а≤λ/4, λ=V/F, где V - скорость упругой волны в материале с частотой F=108 Гц; устанавливают и поддерживают согласованную электромагнитную связь части материала, примыкающей к электроду 1, или (и) части материала, примыкающей к электроду 2, или материала или части материала, расположенного между электродами 1 и 2, с высокочастотным (высокочастотными) (ВЧ) и (или) сверхвысокочастотным (сверхвысокочастотными) (СВЧ) замедляющим устройством (замедляющими устройствами), таким (такими) как коаксиальная линия, волноводная линия, полосковая линия, резонатор, колебательный контур, которые характеризуются резонансными частотами f в диапазоне от 106 Гц до 3⋅1015 Гц и добротностями Q≥10; материал нагревают до температуры Т, равной или превышающей температуру гиперпроводящего перехода Th, Th≤Т≤Т*; измеряют электрическое и (или) тепловое сопротивление материала между электродами и (или) эффект Мейснера; в результате электрическое сопротивление и тепловое сопротивление материала между электродами обращаются в ноль, то есть осуществляется гиперпроводимость и сверхтеплопроводность в материале между электродами 1 и 2, усиливается эффект Мейснера.
Наверх