Способ изготовления вакуумноплотных металлокерамических узлов электровакуумныхприборов
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 31.XII.1969 (№ 1394375/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 02.II1.1971, Бюллетень № 9
Дата опубликования описания 6.1 .1971
МПК Н ОЦ 9/26
Комитет по делам изобретений и открытий при Совета Министров
СССР
УДК 621.3.032.539(088.8) Авторы изобретения
Л. Н. Прохоров и В. П. Кручинин
Заявитель
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВАКУУМНОПЛОТНЫХ
МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКИХ УЗЛОВ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ
ПРИБОРОВ
Предмет изобретения
Способ может найти применение во многих отраслях промышленности, в частности электронной, электротехнической.
Известны способы изготовления вакуумноплотных металлокерамических узлов электровакуумных приборов путем пайки металлическими припоями. Например, высокоглиноземистую керамику, широко применяемую в электровакуумном производстве, спаивают с молибденом с применением никелевотитанового припоя (температура пайки 1290 30 С). Такие металлокерамические соединения вакуумноплотны, обладают высокой механической прочностью (1380 — 2100 кг/смв), выдерживают без изменения механической прочности многократные (не менее семи раз) повторные нагревы до 1250 С.
При эксплуатации этих соединений в условиях высокого вакуума (10 в — 10 1с тор) никель, входящий в состав припоя, при нагреве испаряется и, осаждаясь на поверхности керамической детали, резко уменьшает удельное поверхностное сопротивление диэлектрика, что может привести к пробою между электродами и выводу из строя всего электровакуумного прибора.
Данный способ отличается от известного тем, что на шов спаянного узла наносят и затем оплавляют глазурь с более низкой упругостью пара, чем у припоя, смачивающую его, что позволяет повысить температуру эксплуатации узлов в условиях высокого вакуума.
Для экранизации никелевотитанового припоя можно применять, например, глазурь следующего химического состава (вес. с/0): SiOq
53, AI O 20, СаО 10, ВаО 5,5 МоО 4, Z|02 7,5.
Температура растекания такой глазури примерно 1250 С, температура начала деформации 1000 — 1100 С, упругость паров при 1000 С не должна превышать 10- — 10 в тор (для никелевотитанового припоя 10 — 10 4 тор).
Дополнительное уплотнение шва вакуумноплотной пленкой глазури резко повышает наls дежность металлокерамической конструкции.
Способ изготовления вакуумноплотных металлокерамических узлов электровакуумных приборов путем пайки металлическими припоями, отличающийся тем, что, с целью обес25 печения эксплуатации приборов в условиях высокого вакуума при повышенных температурах, на шов спаянного узла наносят и затем оплавляют глазурь, имеющую упругость пара более низкую, чем упругость пара припоя.
