Прибор для точных измерений при помощи интерференции световых волн

Авторы патента:

Зимин В.Н.

Циммерман К.

G01B9/02 - интерферометры

G01B11/06 - для измерения толщины

М 3@86:,;

АВТОРСКОЕ СВИДЕТЕЛЬСТВО НА ИЗОБРЕТЕНИЕ

Бааса 42b, 26

ОПИСАНИЕ прибора для точных измерений при помощи интерференции световых волн.

К авторскому свидетельству Б. Н. Зимина и К. Циммермана, заявленному 15 декабря 1932 года (спр. о перв. № 120295).

0 выдаче авторского свидетельства опубликовано 30 ноября 1934 года.

Предмет изобретения.

При точных измерениях помощью иитерференции световых волн известно применение стеклянных пластинок, расположенных таким образом, что между ними образуется клиновидная прослойка воздуха. При изменении толщины этой прослойки изменяется цвет и количество интерференционных полос, что дает возможность судить о точности размеров обмеряемого предмета. В настоящем изобретении для регулирования толщины воздушной прослойки применен мерительный штифт, передвижной в осевом направлении в соответствии с размерами обмеряемого предмета.

На чертеже фиг. 1 схематически изображает предлагаемый прибор с применением микроскопа для отсчета; фиг. 2вЂ” предлагаемый прибор с отсчетом простым глазом.

Прибор состоит из двух стеклянных пластин 1 и 2, из которых первая неподвижная, а вторая подвижная и имеет опорную поверхность 4. Между пластинами 1 и 2 помещена фольга 3. Обмеряемый предмет 17 помещается на подставке 16, сдвигая при этом в осевом направлении мерительный штифт 5, помещенный в корпусе 12 прибора

Штифт 5- оказывает давление на подвижную пластинку 2, перемещая ее.

Вследствие этого всздушная прослойка между пластинами изменяется, а следовательно изменяется цвет и количество интсрференционных полос.

Для отсчета количества полос может быть применен микрометр 7 (фиг. 1) с микроскопом 6, установленным на салазках 9. Отсчет может быть произведен также простым глазом через анахроматическое стекло 13.

Для отсчета положения подставки 16 служат шкала 15 и микроскоп 14.

Прибор для точных, измерений при помощи интерференции световых волн с использованием клиновидной прослойки воздуха, образуемой между пластинами, отличающийся применением передвижного мерительного штифта 5, служащего для регулирования воздушной прослойки между пластинами 1 и 2, в соответствии с размерами обмеряемого изделия.

К авторскому свидетельству Б. Н. Зимина и К. Циммермана ра 39986

Эиеаерз и редактор А, Л. 9щкпаем

les, .Пуемвеиагриф . Тимбюеемеи," 1И, Зее. 994

Прибор для точных измерений при помощи интерференции световых волн

Устройство для неразрушающего измерения толщины диэлектрических и полупроводниковых пленок // 2102702

Интерферометрическое устройство для измерения физических параметров прозрачных слоев (варианты) // 2141621

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Способ измерения толщины листового стекла и устройство для его осуществления // 2146355

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Интерферометрическое устройство для бесконтактного измерения толщины // 2147728

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2149353

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Способ измерения оптической толщины плоскопараллельных прозрачных объектов // 2152588

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Устройство для контроля линейных размеров по принципу триангуляции // 2153647

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения // 2157509

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения и устройство для его реализации // 2158897

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2165071

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости

Двухлучевой интерферометр для измерения показателя преломления изотропных и анизотропных материалов // 2102700

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для измерения с высокой точностью показателей преломления изотропных и анизотропных материалов

Звездный интерферометр майкельсона // 2103662

Устройство для автоматизированного измерения угловых величин // 2112208

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для высокоточных измерений малых угловых перемещений в специальных геодезических работах, в точных геофизических измерениях и при производстве крупногабаритных изделий в качестве контрольно-измерительной аппаратуры

Интерферометр для контроля формы поверхности выпуклых гиперболических зеркал // 2114390

Устройство для записи голографических интерферограмм // 2119644

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к двухэкспозиционной голографической интерферометрии, и может быть использовано при исследовании вибраций объектов, в том числе вращающихся, и других процессов

Устройство для измерения поверхностных характеристик // 2124701

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройству для измерения поверхностей и профилей с помощью интерферометрии

Способ обработки сигнала кольцевого интерферометра волоконно-оптического гироскопа (варианты) // 2130587

Изобретение относится к области волоконной оптики и может быть использовано при конструировании электронного блока обработки информации волоконно-оптического гироскопа, а также других датчиков физических величин на основе кольцевого интерферометра

Интерферометр перемещения // 2139496

Изобретение относится к интерферометрам и может быть использовано для абсолютного измерения линейной длины отрезков

Микрорезонаторный волоконно-оптический датчик концентрации газов // 2142114

Изобретение относится к волоконно-оптическим автоколебательным системам на основе микромеханического резонатора, возбуждаемого светом, и может быть использовано в системах измерения различных физических величин, например, концентрации газов, температуры, давления и др

Способ измерения квазипериода дифракционного распределения излучения от узкой щели // 2145054

Изобретение относится к оптико-электронному приборостроению и может использоваться в скоростных дифрактометрах