Контактное интерференционное устройство для поверки приборов контроля линейныхразмеров

 

О П И а Л Н И Е -06346, ИЗОБРЕТЕН ИЯ

СО1еа Соле",„1;и1

Социал . :тичееиил

Рееп олии

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

l =

Зависимос от авт. с, идстс7ьства М—

"- аявлспо 24.III.1960 (№ 1326385, 25-28

3 С ПРИСОСДИИСИИС1:,(.I!:.! ХИ,ХО—

I

Приоритст—

Спуб7. ков illQ 1. t1.!971. Ь1О77ст-и1, X 19

1 .,ВТВ Оп:Ол:,кова1 пя .; ..1 ап:1я 13Л Ili.1971

71гтК 6 1.1Ü 1 .: 1)2

Комитет па долж иае5еетеииУ, и стиле-.11й при Смете 1Яии1иетГпе ссср

У. 1т(531 . 15 (IiiS.S) Ап.i O!. Bl изобрете:i:.ê

Л. С. Бабадхтанов и Я. M. Цейтлин

3аяв11те 7 b

I(OHTAKThOE И НТЕРФЕРЕНЦИОН НОЕ УСТРОЙСТВО

ДЛЯ ПОВЕРКИ ПРИБОРОВ КОНТРОЛЯ ЛИНЕЙНЫХ

РАЗМЕРОВ

Изобретение относится к контактным интсрферометрам, используемым для поверки контактных долсмикрометровых головок и приооров для измерения длины.

Известно контактное интер ференционпос устройство для поверки приборов контроля линейных размеров, содержащее корпус, расположенный на корпусе двухлучевой интерфсрометр, например интерферометр типа Ксстерса с подающим стержнем, имеющим изме- 10 рительную пятку и расположенным вдоль oiiтической оси интерферометра, подвиекнос зеркало, размещенное иа подающем стсрEI<нс, микровинт, закрепленный на корпусе, рычаг, ось которого укреплена на корпусе и один ко- 15 нец которого упирается в измсрительнуlo пятку, а другой конец которого связан с микровинтом.

Цель изооретения — повысить то гность и 20 обеспечить динамический режим поверки.

Это достигается тем, что устройство сиабжеНо механизмом бокового персмсщсния в направлении, псрпсндикулярном линии измер.ния, выполнс1 ном в виде пьезоксрамичсского 25 столбика с пневмосильфоном, кинсматичсски связанным с корпусом, и отсчстного приспособления, двумя неподвижными зеркалами, расположенными в одной плоскости с подвижным зеркалом, симметрично относительно него, и имс1ощ::1ми отражательные повсрхио т;1, иаправленныс в ту жс сторону, что и отражательная поверхность подвижного зеркала, а подающий стержень выполнен в виде пьсзокс1за ми !еского столопка, состоящего из иьсзоксрами !еск11х элементов, каждl lй 113 кот017ых. соединен между собой одноименными полюсами, при этом все положитсльныс и отриц:1тельные полюса элементов подклк1чсиы к одноименным зажимам исто ника питания.

На чертеже схематически изображено описываемое устройство.

Устройство содержит корпус (на чертеже не показан), расположенный на корпусе двухл;—

1евой интерферометр 1 типа Кестерса, по ollТПЧССКОИ ОСИ I OTOPOI О PBCI70.7OÆeÍO ПОДВИЖное зеркало 2, размещенное на подающем стержне 8, на одном конце которого закреплена измерительная пятка 4, а другой упирается в рычаг б, последний другим концом связан с микровинтом 6. Стержень 8 подвешен на плоских пружинах 7, укрепленных в коробке 8, с пяткой 4 соприкасается измерительный наконечник 9 поверяемой головки 10, укрепленной в ползуне 11, который расположен вдоль оси интерферометра. B одной плоскости с подвижным зеркалом 2 и симметрично по оое его стороны установлены неподвижные зеркала 12 и

18, связанные с регулировочными винтами 14.

1(ороока Ь с помощью плоских пружин 15

306340

3 (:о..;!!::t .лв В. Илвсова

"> J

01383 ñ! Ii<1 чс() сз 310><яп !311 1 >< оокового пс() О)! сщс««я, состоящий»з пьсзоксрямичсскогo с (олбик!1 18» пнсвмосильфона 19. I1cj)!Ict CTBHQI) IC113 31<, !!ТО Сс Б об ь I(T!1!3 Н i III) 3!3 7C . !1я III KBË > ПО!3Сp 51C)I 0 I

lI p J 100!3 3, сl OK"< л яр Ня. .ОДИТСЯ 1)б. 1 из И Бь>. ОДНОЙ цел«21 «птсрфсромстра.

УстРойс Бо P 3()o 13cT с 7(J, !О щи м 0(!P 330)t.

В «И 1,1 М И 14 Иропз|)од»1 100тпр01)К>,. 30;) Кс|. I 10

«нтсрфсромстря. Установочные псрс1!Сщсни?!

СТС():1 ПЯ ) tipOII31303?t 1 )t I»I 6 )tcj>03 (> Ы 1<11 <>, «j)!! Эl 0)1 II(j) СМС!Цсl |ОТСЯ THКЖС ПОДt»t iKH0c зср кс1.1 О 2, »3)|сp HT(."льня я пятка 4 Ii

«ако«счник 9. 5!??л! !О рябочис перемещения 13

tIj) 0il313oдят с i!0)iolii bio пьсзоксрамичсскогo

СТО,!бiri<сl 1<>5, «O;1333!i НЯ СГО Э<1ЕКТРОДЬ! 11с1П!)Яitк»ос зсрка10 2, пятку 4 ii наконечник 9. От- 20

ilOCIi t C,7 bIll>! t> цс() с. >!Сlll CFIH51 II»TI:ЩССТ|3ЛЯ|ОТСЯ С ПОмощьto»tcvBJII13)IB 1i бокового псремещсии»

;.у! С)! !одячll воздм:<3 в пцевмосильфон 19 и

ЭЛСК I j>ti IССКОГО Псi!IP5liKCIIH!» Н3 ЭЛСКТ!)ОД!>! !lb(!- 23

30 3(! С К) 1) И С С !<ОГО С 1 ОЛ 0 И К с! 20. 1 I P H ЭТО М КО ()«ус вместе с «одвижным зеркалом псремс!

It 3C I C5! I3 Пя И () сl Б;IСПИИ, Пс() ПСНДИК»ЛЯ!) ПО)! . I !IlI«Ii изМСрСП!151. ПОI(сlза|11!51 ПОВСp?rct>IОЙ fOЛО|3-к«снимают с помощью «срископичсской cil- 30

СТС)! Ы.

j i/ It «С;>С)ц Lt/C!1««подвижно!.0 3Ср 1<31 с| 2 !3

«олс 3pcr»i» интсрфсромстря 1 будут псрсмсi!I 311,ñ» ипl срфсрснциальныс Ito;loci>i 0T иод««» НОГО 30рКаЛc! 2 ОтНОСИтЕЛЬНО ПОЛОС ÎT ИС- 3;)

«одв«жнык зеркал 12 и 13. Величина псрсмс«lCil«5l «ñ1 копечНикя 9 Ollpc J01»CTC5l ! ;

ПОЛ О(.

При работе интерферометря в Ослом светс вращением дисперсионной призмы иптсрферомстря выделяют требуемую длину Полны света.

П p C j, Hl T Ii 3 0 () p T C ii li 51

1СО!Ггактпос иитсрфсренц«оннос устройство для поверки Ilp»()opo« контроля лпнсЙнык

Разм POH, ЕОДС!)ЖаЩЕС 1))C, j)BCf10;10 l

Itr! КОРПУСЕ Д!?У:<ЛУ >СВОй И«тСРфСРОМСтР, ПЯПРИ)!с >:!«ГСРфсРомстР ти«<7 Kcclej)CЯ с tt )gB!or?FIrxi

CГС )ЖИС)1, И)!0!0!Ijil ИЗМCj)l!TC.IЬ«У10 .ПЯТИ> И расположенным вдоль оптической оси иптерферометра, подвижное зеркало. размещенное на

«одяющсм стер)кне, микровипт, закрепленный ца корпусе, рычаг, ось которого ук;)е«лена ня

Коj)!1) CC И ОД!iH 1:.OHCit, KOTOP 01 0 >>П IP BC ГС5! и ИЗМс,.) IITC 1 bit) 10 11»TI< >:, H 3j) >)I OÉ KOHC«KO! Ot) Oi o связан с ((!Пкровинтом, отличающееся тем, что, ; целью повышения точности и обсе«счсн;!я диНЯМ ИЧССКОГО P05!<11)t3 «OHCPI(11> OHO СПЯОЖСПО

)texBI3?133!031 бокового перемещения и iiHitpBt3Ленин, itCPIIC«3 FrK>r 751j) HOt>I 7!IHIIII «3)tcj)0НИЯ, выполненным Б виде пьсзокерамического столбика с пневмосильфоном, кипсматически связанным с корпусом, и отсчетного приспособления, двумя неподвижными зеркалами, рясположснными В ОднОЙ плОскОсти с подв?!)кны".>! зеркалом, симметрично относительно пего, и

«мсющими отражательные поверкности> иа-!

7Р BF3ËCÍHÛ0 В Т > ЖЕ СТО!) ОНУ, ЧТО И ОТ() ЯЖЯтельная повсркность подви)иного зсрка 13, B подающий стержень выполнен в виде пьсзокерями iccKot столбика, состоящего из пьсзокс;><1.>! И>!ССК;1. 310)!СНТOI), СОСДИНЕННЬ! )10)КД) СОбОЙ Одпо им сlii! I>131!! Г! Олlося ми, и;) и этОм H c lioл:>ж«гсльныс ii Отрицательныс полк>са элсмснTО:3; 1;)Д К,110 I K 07>F1 0 lr)t C II « hi (I 3 I )t H )I II>C 1 0 И «К Fi I i I i T B I l l i 51.

Р; (а, t;> Г. Гончарова .: род Е. Борисова

ll»:.втор T. A. Абрамова

За! 81! 1» )аи, 4>3(1 1!от«вснп

Ц1(((i((11 ( л; )а „;I)ОВ) т.н)>н от>>р)>Г(«!> «ри Ct>t:et<«,)(нн()сгро)) О.ГР.31:)с)(.>:.»,,(<,- >о Р;>(и>, на в !1о

C) r), I I C I . >! 1 I I I I 0" ) .! .I),t в К О ) р о >) с I>;; I I) t I I;) t! в 1 сии а,i. ча:!